На полупроводниковых фабриках, в научно-исследовательских лабораториях и на предприятиях по нанесению оптических покрытий точное знание толщины и оптических свойств тонких пленок имеет решающее значение, однако традиционные контактные методы могут повредить хрупкие образцы или упустить важные данные. Сегодня компания MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. объявляет о выпуске своего новейшего спектроскопического эллипсометра — неразрушающего прибора для измерения толщины, разработанного дляизмерение толщины пластиныанализ показателя преломления и характеристика многослойной структуры.
Эта новая система сочетает в себе широкий спектральный диапазон, высокую чувствительность и удобное программное обеспечение для моделирования — и все это в компактной платформе исследовательского класса. Независимо от того, нужно ли вам измерять сверхтонкие затворные оксиды, антиотражающие покрытия на солнечных элементах или сложные OLED-структуры, спектроскопический эллипсометр MSK обеспечивает надежные и воспроизводимые данные без контакта с образцом и его повреждения.
«Инженерам часто приходится прилагать усилия, чтобы найти баланс между точностью, скоростью и безопасностью образцов».об этом заявил старший менеджер по продукции компании MSK.«Наш спектроскопический эллипсометр решает эту проблему — будучи настоящим прибором для измерения толщины, он обеспечивает измерение толщины пластины и анализ оптических постоянных за считанные секунды, без риска царапин или загрязнения».
Почему стоит выбрать этот спектроскопический эллипсометр в качестве прибора для измерения толщины?
В отличие от одноволновых или механических профилометров, этот спектроскопический эллипсометр использует поляризованный свет для анализа того, как тонкая пленка изменяет состояние поляризации света. На основе этих измерений он одновременно вычисляет несколько параметров:
- Толщина пленки (от однослойной до сложных многослойных структур)
- Показатель преломления (n) и коэффициент поглощения (k)
- Оптическая ширина запрещенной зоны (Eg)
- Шероховатость поверхности
Этот универсальный прибор для измерения толщины позволяет работать с пленками различной толщины, от сверхтонких (субнанометровых) до относительно толстых, что делает его подходящим для самых разных задач, от осаждения атомных слоев до нанесения полимерных покрытий микронного масштаба.
Неразрушающее измерение толщины кремниевых пластин – критически важно для производства полупроводников.
Для производства полупроводников,измерение толщины пластиныЭто необходимо для контроля процессов осаждения, травления и химико-механической полировки. Однако механические профилометры со щупом могут царапать мягкие пленки, а оптические рефлектометры часто не обладают достаточной чувствительностью для многослойных структур.
Спектроскопический эллипсометр MSK преодолевает эти ограничения:
- Бесконтактный и неразрушающий метод – отсутствие риска повреждения пластин с рисунком или хрупких пленок.
- Высокая чувствительность – способность обнаруживать изменения толщины на уровне менее нанометра по всей пластине.
- Многослойный анализ – измерение отдельных слоев в сложных структурах (например, SiO₂/Si₃N₄/поликристаллический кремний) без перекрестных помех.
Система включает в себя автоматическую платформу для картирования, которая поддерживает пластины размером до 8 дюймов (200 мм) с точным позиционированием. Пользователи могут создавать 2D и 3D карты распределения толщины одним щелчком мыши — идеально подходит для контроля однородности процесса.
За пределами полупроводниковой отрасли: широкий спектр применения.
Этот спектроскопический эллипсометр, оптимизированный для измерения толщины пластин, используется во многих отраслях промышленности:
- Плоские панельные дисплеи – измерение толщины слоев OLED и TFT.
- Фотовольтаика – характеристика антиотражающих покрытий, прозрачных проводящих оксидов и поглощающих слоев.
- Оптические покрытия – проверка полосовых фильтров, антиотражающих слоев и зеркал с высокой отражательной способностью.
- Материаловедение – изучение тонких пленок, двумерных материалов и полимеров.
- Биосенсорика – обнаружение молекулярных слоев на функционализированных поверхностях.
Широкий спектральный диапазон прибора (от ультрафиолета до ближнего инфракрасного излучения) позволяет ему характеризовать материалы от пленок, полученных методом глубокой УФ-литографии, до инфракрасных оптических покрытий.
Продвинутое, но простое в использовании программное обеспечение: программа, которая работает на вас.
Мощный толщиномер должен быть также практичным для повседневного использования. ОСКспектроскопический эллипсометрВ комплект входит комплексное программное обеспечение для анализа, включающее в себя:
- Встроенная база данных оптических констант – более 100 материалов, включая распространенные полупроводники, диэлектрики и металлы.
- Многочисленные модели дисперсии – Коши, Селлмейера, Таука-Лоренца, B-сплайны, осцилляторы и другие.
- Многослойная установка – поддерживает до 30 слоев, включая градиентные интерфейсы и шероховатость поверхности.
- Автоматическое создание отчетов о равномерности толщины для кремниевых пластин и крупных подложек одним щелчком мыши.
- Автономное лицензирование — позволяет проводить анализ данных на отдельных компьютерах, не занимая при этом сам прибор.
Интерактивный интерфейс с пошаговыми инструкциями сокращает время обучения — новые пользователи могут выполнять стандартные измерения толщины пластин за считанные минуты.
Предназначено для научно-исследовательских и производственных сред.
Компания MSK предлагает этот спектроскопический эллипсометр в нескольких конфигурациях, чтобы удовлетворить ваши потребности:
- Настольная система – идеально подходит для научно-исследовательских лабораторий и университетских исследований.
- Конфигурация для картирования – включает высокоточный X/Y-столик для автоматического сканирования пластин.
- Настраиваемые спектральные диапазоны – от глубокого УФ-излучения (193 нм) до коротковолнового инфракрасного излучения (2500 нм)
- Варианты температурно-регулируемых платформ – для измерений на месте при температуре до 1000 °C.
В приборе используется технология двойного вращающегося компенсатора, позволяющая измерять все 16 элементов матрицы Мюллера за один сеанс измерения. Это обеспечивает более полные данные, чем у обычных эллипсометров, что особенно полезно для анизотропных или деполяризующих образцов.
Надежная работа для критически важных задач контроля качества.
В производственных условиях повторяемость результатов имеет первостепенное значение. Спектроскопический эллипсометр MSK обеспечивает исключительную стабильность благодаря:
- Полупроводниковые охлаждаемые детекторы – низкий уровень шума, высокий динамический диапазон.
- Лазерная автофокусировка – обеспечивает поддержание постоянного положения фокуса по всей поверхности образца.
- Стабильная конструкция оптического тракта — минимизирует дрейф между калибровками.
Система соответствует строгим отраслевым стандартам, и компания MSK предоставляет отчеты независимых метрологических экспертов для проверки абсолютной точности толщины стандартных образцов.
Индивидуальная настройка и поддержка – адаптированы под ваше приложение
Компания MSK понимает, что каждое применение тонких пленок уникально. Именно поэтому компания предлагает:
- Расширение спектрального диапазона на заказ – выберите полосы, соответствующие вашим материалам.
- Специализированные предметные столики – для нестандартных размеров пластин или подложек необычной формы.
- Настройка программного обеспечения — добавление конкретных моделей анализа или процедур автоматизации.
- Установка и обучение на месте – быстро освойте все необходимые навыки вашей команды.
Поскольку это высокоточный прибор, цена, указанная на странице товара, включает только предоплату. Компания MSK приглашает серьезных покупателей связаться с отделом продаж для получения точной цены, соответствующей требуемой конфигурации.
Бесплатная техническая консультация и демонстрация
Не уверены, подходит ли эллипсометрия для вашего материала? Компания MSK предлагает бесплатную техническую консультацию.
Информация о наличии и контактные данные
Новая серия спектроскопических эллипсометров доступна для заказа по всему миру уже сейчас. Чтобы запросить коммерческое предложение, получить брошюру о продукции или заказать онлайн-демонстрацию:
Email: molly@mskcnctools.com
Телефон: 0086-13602071763
Веб:www.mskcnctools.com
Компания MSK приветствует запросы от производителей полупроводников, научно-исследовательских институтов, производителей оптических покрытий и производителей солнечных батарей – от отдельных устройств до комплексных систем.
О компании MSK CNC Tools
Компания MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd., основанная в 2015 году и сертифицированная по стандарту ISO 9001, специализируется на высокоточных метрологических приборах и режущих инструментах для станков с ЧПУ. Благодаря немецкому и тайваньскому производственному оборудованию и собственной команде разработчиков, MSK обслуживает клиентов в Европе, Америке и Азии. Миссия компании – предоставлять передовые, надежные и экономически эффективные решения для характеризации материалов и механической обработки.
Дата публикации: 10 апреля 2026 г.
