Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд, судалгаа, хөгжүүлэлтийн лабораториуд болон оптик бүрхүүлийн үйлдвэрүүдэд нимгэн хальсны яг зузаан болон оптик шинж чанарыг мэдэх нь чухал боловч уламжлалт холбоо барих аргууд нь эмзэг дээжийг гэмтээх эсвэл чухал өгөгдлийг алдахад хүргэдэг. Өнөөдөр MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd нь ...-д зориулан бүтээсэн эвдэхгүй зузаан хэмжих хэрэгсэл болох хамгийн сүүлийн үеийн спектроскопийн эллипсометрээ зарлалаа.вафлийн зузааны хэмжилт, хугарлын индексийн шинжилгээ болон олон давхаргат стекийн шинж чанар.
Энэхүү шинэ систем нь өргөн спектрийн хүрээ, өндөр мэдрэмж, хэрэглэгчдэд ээлтэй загварчлалын програм хангамжийг нэгтгэсэн бөгөөд энэ бүхэн нь авсаархан, судалгааны зэрэглэлийн платформ дээр суурилсан болно. Та хэт нимгэн хаалганы исэл, нарны зай дээрх тусгал эсрэг бүрхүүл эсвэл нарийн төвөгтэй OLED стекийг хэмжих шаардлагатай эсэхээс үл хамааран MSK-ийн спектроскопийн эллипсометр нь таны дээжтэй холбоо барих эсвэл гэмтээхгүйгээр найдвартай, давтагдах боломжтой өгөгдлийг өгдөг.
"Инженерүүд нарийвчлал, хурд, дээжийн аюулгүй байдлыг тэнцвэржүүлэхэд ихэвчлэн бэрхшээлтэй байдаг."гэж MSK-ийн ахлах бүтээгдэхүүний менежер хэлэв."Манай спектроскопийн эллипсометр нь жинхэнэ зузаан хэмжих хэрэгсэл болохын хувьд хэдхэн секундын дотор зураас эсвэл бохирдол үүсэх эрсдэлгүйгээр хавтангийн зузааныг хэмжих, оптик тогтмолын шинжилгээ хийх боломжийг олгодог."
Яагаад энэ спектроскопийн эллипсометрийг зузаан хэмжих хэрэгсэл болгон сонгох ёстой вэ?
Ганц долгионы урттай эсвэл механик профайлеруудаас ялгаатай нь энэхүү спектроскопийн эллипсометр нь нимгэн хальс нь гэрлийн туйлшралын төлөвийг хэрхэн өөрчилж байгааг шинжлэхийн тулд туйлширсан гэрлийг ашигладаг. Энэхүү хэмжилтээс харахад олон параметрийг нэгэн зэрэг тооцоолдог:
- Кино зузаан (нэг давхаргаас олон давхаргат нарийн төвөгтэй давхарга хүртэл)
- Хугарлын илтгэгч (n) ба устах коэффициент (k)
- Оптик зурвасын зай (Жишээ нь)
- Гадаргуугийн барзгаржилт
Олон талын хэрэглээтэй зузаан хэмжих хэрэгсэл болохын хувьд энэ нь хэт нимгэн (нано доогуур)-аас харьцангуй зузаан хальс хүртэлх зузааныг хэмждэг тул атомын давхаргын тунадаснаас эхлээд микрон хэмжээний полимер бүрхүүл хүртэл бүх зүйлд тохиромжтой.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд чухал ач холбогдолтой - Үл эвдэх зориулалттай вафлийн зузааныг хэмжих нь
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хувьд,вафлийн зузааны хэмжилттунадасжуулалт, сийлбэр болон CMP процессуудыг хянах нь чухал юм. Гэсэн хэдий ч механик зүүт профиль нь зөөлөн хальсыг зурж чаддаг бөгөөд оптик тусгал хэмжигч нь олон давхаргат стекүүдэд мэдрэг чанаргүй байдаг.
MSK-ийн спектроскопийн эллипсометр нь эдгээр хязгаарлалтыг даван туулдаг:
- Хүрэлцдэггүй ба эвдэхгүй – хээтэй вафли эсвэл эмзэг хальсыг гэмтээх эрсдэлгүй
- Өндөр мэдрэмжтэй - хавтангийн зузааны нанометрээс бага хэлбэлзлийг илрүүлэх чадвартай
- Олон давхаргат шинжилгээ – нарийн төвөгтэй стек дэх (жишээ нь, SiO₂/Si₃N₄/poly₄) давхаргуудыг харилцан яриагүйгээр хэмждэг
Систем нь 8 инч (200 мм) хүртэлх хэмжээтэй вафлигуудыг нарийн байрлалтайгаар дэмждэг автомат зураглалын үе шатыг агуулдаг. Хэрэглэгчид нэг товшилтоор 2 хэмжээст болон 3 хэмжээст зузааны тархалтын газрын зургийг үүсгэж чаддаг бөгөөд энэ нь үйл явцын жигд байдлыг хянах хамгийн тохиромжтой.
Хагас дамжуулагчаас гадна: Өргөн хэрэглээний хүрээ
Энэхүү спектроскопийн эллипсометр нь хавтангийн зузааныг хэмжихэд оновчтой боловч олон салбарт үйлчилдэг:
- Хавтгай самбартай дэлгэцүүд – OLED болон TFT давхаргын зузааныг хэмждэг
- Фотовольтайк – тусгал эсрэг бүрхүүл, тунгалаг дамжуулагч исэл, шингээгч давхаргыг тодорхойлдог
- Оптик бүрхүүл – зурвасын дамжуулалтын шүүлтүүр, тусгал эсэргүүцэх стек болон өндөр тусгалтай тольнуудыг шалгах
- Материалын шинжлэх ухаан – нимгэн хальс, 2 хэмжээст материал, полимерүүдийг судалдаг
- Био мэдрэгч – функциональ гадаргуу дээрх молекулын давхаргыг илрүүлэх
Энэхүү багажны өргөн спектрийн хүрээ (хэт ягаан туяанаас ойрын хэт улаан туяа хүртэл) нь гүн хэт ягаан туяаны литографийн хальснаас эхлээд хэт улаан туяаны оптик бүрхүүл хүртэлх материалыг тодорхойлох боломжийг олгодог.
Дэвшилтэт хэрнээ ашиглахад хялбар: Танд тохирох програм хангамж
Хүчирхэг зузаан хэмжих хэрэгсэл нь өдөр тутмын хэрэглээнд тохиромжтой байх ёстой. MSK'sспектроскопийн эллипсометрдараах онцлог шинж чанартай цогц дүн шинжилгээний програм хангамжтай ирдэг:
- Урьдчилан бэлтгэсэн оптик тогтмол мэдээллийн сан - нийтлэг хагас дамжуулагч, диэлектрик болон металл зэрэг 100 гаруй материал
- Олон тархалтын загварууд – Коши, Селлмейер, Таук-Лоренц, В-сплайн, осцилляторууд болон бусад
- Олон давхаргат угсралт – тэгшлэгдсэн интерфейс болон гадаргуугийн барзгаржилт зэрэг 30 хүртэлх давхаргыг дэмждэг
- Нэг товшилтоор зураглал хийх – вафли болон том суурь материалын зузааны жигд байдлын тайланг автоматаар үүсгэдэг
- Офлайн лиценз – хэрэгслийг холбохгүйгээр тусдаа компьютер дээр өгөгдөл шинжлэх боломжийг олгодог
Удирдлагатай, интерактив интерфэйс нь сургалтын хугацааг багасгадаг - шинэ хэрэглэгчид хэдхэн минутын дотор ердийн хавтангийн зузааны хэмжилтийг хийж чадна.
Судалгаа, үйлдвэрлэлийн орчинд зориулагдсан
MSK нь таны хэрэгцээнд нийцүүлэн олон тохиргоотой энэхүү спектроскопийн эллипсометрийг санал болгож байна:
- Ширээний систем – судалгаа, хөгжүүлэлтийн лаборатори болон их сургуулийн судалгаанд төгс тохирно
- Зураглалын тохиргоо - автомат вафлийн сканнердах өндөр нарийвчлалтай X/Y үе шатыг багтаасан
- Тохируулж болох спектрийн хүрээ – гүн хэт ягаан туяанаас (193 нм) богино долгионы хэт улаан туяа (2500 нм) хүртэл
- Температурын хяналттай үе шатны сонголтууд – 1000°C хүртэлх температурт газар дээр нь хэмжилт хийх зориулалттай
Энэхүү багаж нь хос эргэлдэгч компенсаторын технологийг ашигладаг бөгөөд энэ нь Мюллерийн матрицын бүх 16 элементийг нэг удаагийн хэмжилтээр хэмждэг. Энэ нь уламжлалт эллипсометрээс илүү баялаг өгөгдөл өгдөг бөгөөд энэ нь ялангуяа анизотроп эсвэл деполяризаци хийдэг дээжинд маш хэрэгтэй.
Чухал чанарын хяналтын найдвартай гүйцэтгэл
Үйлдвэрлэлийн орчны хувьд давтагдах байдал бол бүх зүйл юм. MSK-ийн спектроскопийн эллипсометр нь дараах зүйлсийн ачаар онцгой тогтвортой байдлыг хангадаг.
- Хагас дамжуулагч хөргөлттэй мэдрэгч – бага дуу чимээ, өндөр динамик хүрээ
- Лазерын автофокус - дээжийн дагуу фокусын тогтвортой байрлалыг хадгалдаг
- Тогтвортой оптик замын загвар - тохируулгын хоорондох зөрүүг багасгадаг
Систем нь салбарын хатуу стандартыг хангасан бөгөөд MSK нь стандарт дээж дээрх зузааны үнэмлэхүй нарийвчлалыг баталгаажуулахын тулд гуравдагч талын хэмжилзүйн тайланг гаргадаг.
Тохируулга ба дэмжлэг – Таны аппликейшнд тохируулан
MSK нь нимгэн хальсан хэрэглээ бүр өвөрмөц гэдгийг ойлгодог. Тийм ч учраас тус компани дараахь зүйлийг санал болгодог.
- Спектрийн хүрээний өргөтгөлүүдийг захиалгаар хийх - материалдаа тохирох туузыг сонгоно уу
- Стандарт бус хэмжээтэй эсвэл хачин хэлбэртэй суурь материалын хувьд тусгай дээжийн үе шатууд
- Програм хангамжийн тохиргоо - тодорхой шинжилгээний загварууд эсвэл автоматжуулалтын горимуудыг нэмэх
- Газар дээр нь суурилуулах, сургалт явуулах - багийнхаа ажлыг хурдан шуурхай болгох
Энэ нь өндөр нарийвчлалтай багаж хэрэгсэл тул бүтээгдэхүүний хуудсан дээр заасан үнэ нь зөвхөн урьдчилгаа төлбөр юм. MSK нь ноцтой худалдан авагчдыг шаардлагатай тохиргоондоо үндэслэн яг үнийн санал авахын тулд борлуулалтын багтай холбоо барихыг урьж байна.
Үнэгүй техникийн зөвлөгөө ба демо
Эллипсометр таны материалд тохирох эсэхийг мэдэхгүй байна уу? MSK нь үнэ төлбөргүй техникийн зөвлөгөө өгдөг.
Бэлэн байдал болон холбоо барих мэдээлэл
Шинэ спектроскопийн эллипсометрийн цуврал нь дэлхийн захиалгад шууд бэлэн боллоо. Үнийн санал авах, бүтээгдэхүүний товхимол хүлээн авах эсвэл онлайн шууд үзүүлбэр зохион байгуулахын тулд:
Email: molly@mskcnctools.com
Утас: 0086-13602071763
Вэб:www.mskcnctools.com
MSK нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд, судалгааны хүрээлэнгүүд, оптик бүрхүүл үйлдвэрлэгчид болон нарны зай үйлдвэрлэгчдээс нэг нэгжээс эхлээд олон систем хүртэлх хүсэлтийг хүлээн авдаг.
MSK CNC хэрэгслүүдийн тухай
2015 онд байгуулагдсан, ISO 9001 гэрчилгээтэй MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. нь өндөр нарийвчлалтай хэмжилзүйн багаж хэрэгсэл болон CNC зүсэх багаж хэрэгсэлд мэргэшсэн. Герман, Тайванийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, тусгайлан боловсруулсан судалгаа, хөгжүүлэлтийн багтай MSK нь Европ, Америк, Ази даяарх хэрэглэгчдэд үйлчилдэг. Тус компанийн эрхэм зорилго бол материалын шинж чанар, боловсруулалтын дэвшилтэт, найдвартай, зардал багатай шийдлүүдийг хангах явдал юм.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 4-р сарын 10
