En las fábricas de semiconductores, los laboratorios de I+D y las instalaciones de recubrimiento óptico, conocer el espesor exacto y las propiedades ópticas de las películas delgadas es fundamental; sin embargo, los métodos de contacto tradicionales pueden dañar muestras delicadas o perder datos cruciales. Hoy, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd. anuncia su último elipsómetro espectroscópico, un instrumento de medición de espesor no destructivo diseñado paramedición del espesor de la oblea, análisis del índice de refracción y caracterización de pilas multicapa.
Este nuevo sistema combina un amplio rango espectral, alta sensibilidad y un software de modelado intuitivo, todo ello en una plataforma compacta de grado de investigación. Tanto si necesita medir óxidos de puerta ultrafinos, recubrimientos antirreflectantes en células solares o estructuras OLED complejas, el elipsómetro espectroscópico de MSK proporciona datos fiables y repetibles sin necesidad de entrar en contacto con la muestra ni dañarla.
“Los ingenieros a menudo tienen dificultades para equilibrar la precisión, la velocidad y la seguridad de las muestras”.dijo un gerente sénior de productos de MSK.“Nuestro elipsómetro espectroscópico resuelve ese problema: como instrumento de medición de espesor real, proporciona mediciones del espesor de la oblea y análisis de constantes ópticas en segundos, sin riesgo alguno de rayaduras o contaminación.”
¿Por qué elegir este elipsómetro espectroscópico como instrumento de medición de espesores?
A diferencia de los perfiladores mecánicos o de una sola longitud de onda, este elipsómetro espectroscópico utiliza luz polarizada para analizar cómo una película delgada modifica el estado de polarización de la luz. A partir de esa medición, calcula simultáneamente múltiples parámetros:
- Espesor de la película (desde una sola capa hasta apilamientos multicapa complejos)
- Índice de refracción (n) y coeficiente de extinción (k)
- banda prohibida óptica (Eg)
- rugosidad superficial
Como instrumento versátil para medir espesores, permite medir desde espesores ultrafinos (subnanómetros) hasta películas relativamente gruesas, lo que lo hace adecuado para todo tipo de aplicaciones, desde la deposición de capas atómicas hasta recubrimientos de polímeros a escala micrométrica.
Medición no destructiva del espesor de las obleas: fundamental para la producción de semiconductores.
Para la fabricación de semiconductores,medición del espesor de la obleaEs fundamental controlar los procesos de deposición, grabado y CMP. Sin embargo, los perfilómetros mecánicos de palpador pueden rayar las películas blandas, y los reflectómetros ópticos a menudo carecen de sensibilidad para las estructuras multicapa.
El elipsómetro espectroscópico de MSK supera estas limitaciones:
- Sin contacto y no destructivo: sin riesgo de dañar las obleas con patrones o las películas delicadas.
- Alta sensibilidad: capaz de detectar variaciones de espesor subnanométricas en toda la oblea.
- Análisis multicapa: mide capas individuales en apilamientos complejos (por ejemplo, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) sin interferencias.
El sistema incluye una etapa de mapeo automático que admite obleas de hasta 8 pulgadas (200 mm) con posicionamiento preciso. Los usuarios pueden generar mapas de distribución de espesor en 2D y 3D con un solo clic, lo que resulta ideal para el monitoreo de la uniformidad del proceso.
Más allá de los semiconductores: Amplia gama de aplicaciones
Si bien está optimizado para la medición del espesor de las obleas, este elipsómetro espectroscópico resulta útil para muchas industrias:
- Pantallas planas: medición del grosor de las capas OLED y TFT.
- Energía fotovoltaica: caracterización de recubrimientos antirreflectantes, óxidos conductores transparentes y capas absorbentes.
- Recubrimientos ópticos: verificar filtros de paso de banda, capas antirreflectantes y espejos de alta reflectividad.
- Ciencia de los materiales: estudio de películas delgadas, materiales 2D y polímeros.
- Biodetección: detección de capas moleculares en superficies funcionalizadas.
El amplio rango espectral del instrumento (desde el ultravioleta hasta el infrarrojo cercano) le permite caracterizar materiales que van desde películas de litografía ultravioleta profunda hasta recubrimientos ópticos infrarrojos.
Avanzado pero fácil de usar: un software que funciona para ti.
Un instrumento potente para medir el espesor también debe ser práctico para el uso diario. MSKelipsómetro espectroscópicoIncluye un software de análisis completo que incluye:
- Base de datos predefinida de constantes ópticas: más de 100 materiales, incluidos semiconductores, dieléctricos y metales comunes.
- Múltiples modelos de dispersión: Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osciladores y más.
- Montaje multicapa: admite hasta 30 capas, incluyendo interfaces graduadas y rugosidad superficial.
- Mapeo con un solo clic: genera automáticamente informes de uniformidad de espesor para obleas y sustratos grandes.
- Licencia sin conexión: permite el análisis de datos en ordenadores independientes sin ocupar el instrumento.
La interfaz guiada e interactiva reduce el tiempo de capacitación: los nuevos usuarios pueden realizar mediciones rutinarias del espesor de las obleas en cuestión de minutos.
Diseñado para entornos de investigación y producción.
MSK ofrece este elipsómetro espectroscópico en múltiples configuraciones para adaptarse a sus necesidades:
- Sistema de sobremesa: perfecto para laboratorios de I+D e investigación universitaria.
- Configuración de mapeo: incluye una etapa X/Y de alta precisión para el escaneo automatizado de obleas.
- Rangos espectrales personalizables: desde el ultravioleta profundo (193 nm) hasta el infrarrojo de onda corta (2500 nm).
- Opciones de plataforma con control de temperatura: para mediciones in situ de hasta 1000 °C.
El instrumento utiliza tecnología de compensador de doble rotación, que mide los 16 elementos de la matriz de Mueller en una sola adquisición. Esto proporciona datos más completos que los elipsómetros convencionales, lo que resulta especialmente útil para muestras anisotrópicas o despolarizantes.
Rendimiento fiable para un control de calidad crítico.
En entornos de producción, la repetibilidad lo es todo. El elipsómetro espectroscópico de MSK ofrece una estabilidad excepcional gracias a:
- Detectores refrigerados por semiconductores: bajo nivel de ruido, alto rango dinámico.
- Enfoque automático láser: mantiene una posición focal constante en toda la muestra.
- Diseño de trayectoria óptica estable: minimiza la deriva entre calibraciones.
El sistema cumple con los rigurosos estándares de la industria, y MSK proporciona informes de metrología de terceros para verificar la precisión absoluta del espesor en muestras estándar.
Personalización y soporte: adaptados a su aplicación.
MSK entiende que cada aplicación de película delgada es única. Por eso la empresa ofrece:
- Extensiones de rango espectral personalizadas: elija las bandas que coincidan con sus materiales.
- Plataformas de muestreo especializadas: para obleas de tamaños no estándar o sustratos de formas irregulares.
- Personalización del software: añadir modelos de análisis específicos o rutinas de automatización.
- Instalación y formación in situ: ponga a su equipo al día rápidamente.
Dado que se trata de un instrumento de alta precisión, el precio que aparece en la página del producto corresponde únicamente a un depósito. MSK invita a los compradores interesados a contactar con el equipo de ventas para obtener un presupuesto exacto según la configuración que necesiten.
Consulta técnica y demostración gratuitas
¿No está seguro de si la elipsometría es adecuada para su material? MSK ofrece una consulta técnica gratuita.
Disponibilidad e información de contacto
La nueva serie de elipsómetros espectroscópicos está disponible de inmediato para pedidos internacionales. Para solicitar un presupuesto, recibir un folleto informativo o programar una demostración en línea en directo:
Email: molly@mskcnctools.com
Teléfono: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK recibe con agrado consultas de fábricas de semiconductores, institutos de investigación, fabricantes de recubrimientos ópticos y productores de células solares, desde unidades individuales hasta sistemas múltiples.
Acerca de las herramientas CNC de MSK
Fundada en 2015 y con certificación ISO 9001, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. se especializa en instrumentos de metrología de alta precisión y herramientas de corte CNC. Con equipos de fabricación alemanes y taiwaneses y un equipo de I+D especializado, MSK presta servicios a clientes en Europa, América y Asia. La misión de la empresa es proporcionar soluciones avanzadas, fiables y rentables para la caracterización y el mecanizado de materiales.
Fecha de publicación: 10 de abril de 2026
