Yarı iletken üretim tesislerinde, Ar-Ge laboratuvarlarında ve optik kaplama tesislerinde, ince filmlerin tam kalınlığını ve optik özelliklerini bilmek kritik öneme sahiptir; ancak geleneksel temas yöntemleri hassas numunelere zarar verebilir veya önemli verilerin kaybolmasına neden olabilir. Bugün, MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd., tahribatsız kalınlık ölçümü için tasarlanmış en yeni spektroskopik elipsometresini duyuruyor.gofret kalınlığı ölçümüKırılma indisi analizi ve çok katmanlı yapı karakterizasyonu.
Bu yeni sistem, geniş bir spektral aralığı, yüksek hassasiyeti ve kullanıcı dostu modelleme yazılımını kompakt, araştırma sınıfı bir platformda birleştiriyor. İster ultra ince geçit oksitlerini, ister güneş pillerindeki yansıma önleyici kaplamaları veya karmaşık OLED katmanlarını ölçmeniz gereksin, MSK'nın spektroskopik elipsometresi, numunenize temas etmeden veya zarar vermeden güvenilir ve tekrarlanabilir veriler sunar.
"Mühendisler genellikle hassasiyet, hız ve numune güvenliği arasında denge kurmakta zorlanırlar."MSK'nın kıdemli bir ürün yöneticisi şöyle dedi.“Spektroskopik elipsometremiz bu sorunu çözüyor; gerçek bir kalınlık ölçme cihazı olarak, çizilme veya kirlenme riski olmadan, saniyeler içinde gofret kalınlığı ölçümü ve optik sabit analizi sağlıyor.”
Kalınlık ölçme cihazınız olarak neden bu spektroskopik elipsometreyi seçmelisiniz?
Tek dalga boylu veya mekanik profil ölçüm cihazlarından farklı olarak, bu spektroskopik elipsometre, ince bir filmin ışığın polarizasyon durumunu nasıl değiştirdiğini analiz etmek için polarize ışık kullanır. Bu ölçümden yola çıkarak, birden fazla parametreyi eş zamanlı olarak hesaplar:
- Film kalınlığı (tek katmandan karmaşık çok katmanlı yığınlara kadar)
- Kırılma indisi (n) ve sönüm katsayısı (k)
- Optik bant aralığı (Eg)
- Yüzey pürüzlülüğü
Çok yönlü bir kalınlık ölçme cihazı olarak, ultra ince (nanometre altı) filmlerden nispeten kalın filmlere kadar kalınlıkları ölçebilmekte; bu da onu atomik katman biriktirmeden mikron ölçekli polimer kaplamalara kadar her şey için uygun hale getirmektedir.
Tahribatsız Yonga Kalınlığı Ölçümü – Yarı İletken Üretimi İçin Kritik Öneme Sahip
Yarı iletken üretiminde,gofret kalınlığı ölçümüKaplama, aşındırma ve CMP süreçlerini kontrol etmek esastır. Bununla birlikte, mekanik uçlu profil ölçüm cihazları yumuşak filmleri çizebilir ve optik reflektometreler genellikle çok katmanlı yapılar için yeterli hassasiyete sahip değildir.
MSK'nın spektroskopik elipsometresi bu sınırlamaların üstesinden geliyor:
- Temassız ve tahribatsız – desenli plakalara veya hassas filmlere zarar verme riski yok.
- Yüksek hassasiyet – plaka üzerindeki nanometre altı kalınlık değişimlerini algılayabilme özelliği
- Çok katmanlı analiz – karmaşık yığınlardaki (örneğin, SiO₂/Si₃N₄/poli-Si) tek tek katmanları çapraz etkileşim olmadan ölçer.
Sistem, 8 inç (200 mm) çapa kadar olan plakaları hassas konumlandırma ile destekleyen otomatik bir haritalama aşaması içerir. Kullanıcılar tek bir tıklamayla 2B ve 3B kalınlık dağılım haritaları oluşturabilir; bu da proses homojenliğinin izlenmesi için idealdir.
Yarı İletkenlerin Ötesinde: Geniş Uygulama Alanı
Özellikle gofret kalınlığı ölçümü için optimize edilmiş olsa da, bu spektroskopik elipsometre birçok sektörde kullanılmaktadır:
- Düz panel ekranlar – OLED ve TFT katman kalınlıklarının ölçülmesi
- Fotovoltaikler – yansıma önleyici kaplamaların, şeffaf iletken oksitlerin ve soğurucu katmanların karakterizasyonu
- Optik kaplamalar – bant geçiren filtreleri, yansıma önleyici katmanları ve yüksek yansıtıcılığa sahip aynaları doğrulayın.
- Malzeme bilimi – ince filmlerin, 2 boyutlu malzemelerin ve polimerlerin incelenmesi.
- Biyosensörleme – işlevselleştirilmiş yüzeylerdeki moleküler katmanları tespit etme
Cihazın geniş spektral aralığı (ultraviyoleden yakın kızılötesine kadar), derin ultraviyole litografi filmlerinden kızılötesi optik kaplamalara kadar çeşitli malzemelerin karakterizasyonuna olanak tanır.
Gelişmiş Ama Kullanımı Kolay: Size Uygun Yazılımlar
Güçlü bir kalınlık ölçme cihazının aynı zamanda günlük kullanım için de pratik olması gerekir. MSK'nın...spektroskopik elipsometreKapsamlı analiz yazılımı ile birlikte gelir ve şu özelliklere sahiptir:
- Önceden oluşturulmuş optik sabit veri tabanı – yaygın yarı iletkenler, dielektrikler ve metaller de dahil olmak üzere 100'den fazla malzeme.
- Çeşitli dağılım modelleri – Cauchy, Sellmeier, Tauc-Lorentz, B-spline, osilatörler ve daha fazlası
- Çok katmanlı bağlantı – kademeli arayüzler ve yüzey pürüzlülüğü dahil olmak üzere 30 kata kadar katmanı destekler.
- Tek tıklamayla haritalama – gofretler ve büyük alt tabakalar için kalınlık homojenliği raporlarını otomatik olarak oluşturur.
- Çevrimdışı lisanslama – cihazı meşgul etmeden ayrı bilgisayarlarda veri analizi yapılmasına olanak tanır.
Yönlendirmeli, etkileşimli arayüz eğitim süresini kısaltır; yeni kullanıcılar dakikalar içinde rutin wafer kalınlığı ölçümünü gerçekleştirebilirler.
Araştırma ve Üretim Ortamları için Tasarlanmıştır
MSK, ihtiyaçlarınıza uygun olarak bu spektroskopik elipsometreyi çeşitli konfigürasyonlarda sunmaktadır:
- Masaüstü sistem – Ar-Ge laboratuvarları ve üniversite araştırmaları için mükemmel.
- Haritalama yapılandırması – otomatik wafer taraması için yüksek hassasiyetli X/Y tablasını içerir.
- Özelleştirilebilir spektral aralıklar – derin UV'den (193nm) kısa dalga kızılötesine (2500nm) kadar.
- Sıcaklık kontrollü tabla seçenekleri – 1000°C'ye kadar yerinde ölçümler için
Bu cihaz, tüm 16 Mueller matris elemanını tek bir ölçümde ölçen çift döner kompansatör teknolojisini kullanır. Bu, geleneksel elipsometrelere göre daha zengin veriler sağlar; özellikle anizotropik veya depolarize edici örnekler için kullanışlıdır.
Kritik Kalite Kontrolü için Güvenilir Performans
Üretim ortamlarında tekrarlanabilirlik her şeydir. MSK'nın spektroskopik elipsometresi, aşağıdakiler sayesinde olağanüstü kararlılık sunar:
- Yarı iletken soğutmalı dedektörler – düşük gürültü, yüksek dinamik aralık
- Lazer otomatik odaklama – numune boyunca tutarlı odak konumunu korur.
- Kararlı optik yol tasarımı – kalibrasyonlar arasındaki sapmayı en aza indirir.
Sistem, titiz endüstri standartlarını karşılamaktadır ve MSK, standart numuneler üzerinde mutlak kalınlık doğruluğunu doğrulamak için üçüncü taraf metroloji raporları sağlamaktadır.
Özelleştirme ve Destek – Uygulamanıza Uyarlanmış
MSK, her ince film uygulamasının benzersiz olduğunu anlıyor. Bu nedenle şirket şunları sunuyor:
- Özel spektral aralık uzantıları – malzemelerinize uygun bantları seçin.
- Özel numune alma platformları – standart dışı gofret boyutları veya alışılmadık şekilli alt tabakalar için
- Yazılım özelleştirmesi – belirli analiz modelleri veya otomasyon rutinleri ekleme
- Yerinde kurulum ve eğitim – ekibinizi hızla işe alıştırın.
Bu yüksek hassasiyetli bir cihaz olduğundan, ürün sayfasında gösterilen fiyat yalnızca bir ön ödemedir. MSK, ciddi alıcıları, ihtiyaç duydukları konfigürasyona göre kesin bir fiyat teklifi almak için satış ekibiyle iletişime geçmeye davet eder.
Ücretsiz Teknik Danışmanlık ve Demo
Malzemeniz için elipsometrinin uygun olup olmadığından emin değil misiniz? MSK ücretsiz teknik danışmanlık hizmeti sunmaktadır.
Müsaitlik ve İletişim Bilgileri
Yeni spektroskopik elipsometre serisi, dünya çapında siparişlere hemen açılmıştır. Fiyat teklifi istemek, ürün broşürü almak veya canlı çevrimiçi demo ayarlamak için:
Email: molly@mskcnctools.com
Telefon: 0086-13602071763
Web:www.mskcnctools.com
MSK, tek ünitelerden çoklu sistemlere kadar yarı iletken üretim tesislerinden, araştırma enstitülerinden, optik kaplama üreticilerinden ve güneş pili üreticilerinden gelen talepleri memnuniyetle karşılamaktadır.
MSK CNC Aletleri Hakkında
2015 yılında kurulan ve ISO 9001 sertifikasına sahip MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd., yüksek hassasiyetli metroloji cihazları ve CNC kesme takımları konusunda uzmanlaşmıştır. Alman ve Tayvan menşeli üretim ekipmanları ve özel bir Ar-Ge ekibiyle MSK, Avrupa, Amerika ve Asya'daki müşterilerine hizmet vermektedir. Şirketin misyonu, malzeme karakterizasyonu ve işleme için gelişmiş, güvenilir ve uygun maliyetli çözümler sunmaktır.
Yayın tarihi: 10 Nisan 2026
