Компания MSK CNC TOOLS сегодня объявила о выпуске серии SR/RT.Толщиномер отражающей пленкиЭто высокоточный оптический прибор, предназначенный для бесконтактного, неразрушающего измерения толщины тонких пленок нано- и микронного размера. Новая серия отвечает растущему спросу на быстрое, точное и воспроизводимое измерение толщины пленок в полупроводниковой, оптической, дисплейной и фотоэлектрической промышленности.
Прорывные оптические характеристики
Основанная на принципе спектрометрии отражения и интерференции отраженного света от поверхностей и границ раздела пленок, серия SR/RT позволяет быстро характеризовать тонкие пленки от однослойных до многослойных. Ключевые модели включают SR-M (диапазон 380–900 нм, 50 нм–40 мкм), SR-C (расширенный спектр до 1650 нм, диапазон 15 нм–70 мкм), SR-Mapping для картирования распределения толщины и RT-V для измерения отражения/пропускания.
Система обеспечивает повторяемость 0,02 нм (проверено на 100-нм SiO₂ на кремниевой подложке, 30 измерений) и точность измерения 0,4% или 2 нм (в зависимости от того, какое значение больше). Время измерения на одну точку составляет от 0,5 до 3 секунд, что позволяет осуществлять высокопроизводительный контроль качества в режиме реального времени.
Настоящий бесконтактный, неразрушающий контроль.
В отличие от механических щупов или ультразвуковых датчиков, серия SR/RT использует оптику с перпендикулярным падением света и малый размер пятна (от 4 мкм до 0,5–1,5 мм) для измерения тонких пленок без физического контакта. Это сохраняет целостность образца, что делает его идеальным для хрупких полупроводниковых пластин, оптических покрытий, OLED/LCD-дисплеев и гибких электронных пленок.
Широкий спектр применения
Новый толщиномер готов к применению в различных отраслях промышленности:
- Полупроводники – контроль толщины пленочного слоя на подложке, диэлектрические и пассивирующие слои.
- Оптические покрытия – антибликовые (AR), высокоотражающие (HR) покрытия, фильтры
- Производство дисплеев – OLED, LCD и гибкие тонкие пленки для дисплеев.
- Фотовольтаика – тестирование толщины антиотражающего покрытия солнечных элементов
- Стекло и твердые покрытия – архитектурные и автомобильные пленки для стекла
- Биомедицинская и гибкая электроника – тонкие полимерные пленки, подложки
Настраиваемый и готовый к производству
Серия SR/RT поддерживает гибкую конфигурацию — от портативных научно-исследовательских установок до полностью интегрированных поточных систем. Аналитический спектр может быть расширен до УФ (200 нм) или ближнего ИК (1650 нм) в соответствии с требованиями заказчика. Усовершенствованные базовые алгоритмы позволяют обрабатывать пленки толщиной от сверхтонких (15 нм) до толстых (70 мкм) слоев с возможностью многослойного разрешения.
Преимущества для клиентов
- Ускоренный вывод продукции на рынок – высокоскоростные измерения в режиме реального времени сокращают узкие места в контроле качества.
- Снижение эксплуатационных расходов – неразрушающий метод исключает потери образцов.
- Повышенная производительность – точный контроль толщины обеспечивает однородность покрытия.
- Простая интеграция – компактная конструкция с перпендикулярным расположением упрощает установку.
Доступность и поддержка
Серия SR/RT доступна для международной поставки с полным комплектом технической документации, инструкциями по установке и послепродажной поддержкой. Индивидуальные решения доступны по запросу.
Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетитеИзмеритель толщины тонкой пленкиили свяжитесьmolly@mskcnctools.com.
О компании MSK CNC TOOLS
Компания MSK (Tianjin) International Trading CO.,Ltd была основана в 2015 году и с тех пор продолжает расти и развиваться. В 2016 году компания прошла сертификацию ISO 9001 в Рейнланде. Она располагает передовым международным производственным оборудованием, таким как немецкий высокопроизводительный пятиосевой шлифовальный центр SACCKE, немецкий шестиосевой центр тестирования инструментов ZOLLER и тайваньский станок PALMARY. Компания стремится производить высококачественные, профессиональные и эффективные станки с ЧПУ.
Дата публикации: 04.06.2026
