Νέος μετρητής πάχους ανακλαστικής μεμβράνης σειράς SR/RT παρέχει γρήγορη, μη καταστροφική μέτρηση νανοστάθμης

Πρωτοποριακή οπτική απόδοση

Βασισμένη στην αρχή της φασματομετρίας ανάκλασης και της παρεμβολής του ανακλώμενου φωτός από επιφάνειες και διεπαφές φιλμ, η σειρά SR/RT επιτρέπει τον ταχύ χαρακτηρισμό λεπτών φιλμ από μία έως πολλαπλές στρώσεις. Τα βασικά μοντέλα περιλαμβάνουν το SR-M (380–900 nm, εύρος 50 nm–40 μm), το SR-C (επεκτάσιμο φάσμα έως 1650 nm, εύρος 15 nm–70 μm), το SR-Mapping για χαρτογράφηση κατανομής πάχους και το RT-V για μέτρηση ανάκλασης/μετάδοσης.

Το σύστημα επιτυγχάνει επαναληψιμότητα 0,02 nm (δοκιμασμένο σε 100nm SiO₂ σε πλακίδιο πυριτίου, 30 μετρήσεις) και ακρίβεια μέτρησης 0,4% ή 2 nm (όποιο από τα δύο είναι μεγαλύτερο). Ο χρόνος μέτρησης ανά σημείο κυμαίνεται από 0,5 έως 3 δευτερόλεπτα, επιτρέποντας έλεγχο ποιότητας υψηλής απόδοσης εντός της γραμμής.

Αληθινές δοκιμές χωρίς επαφή, χωρίς καταστροφές

Σε αντίθεση με τη μηχανική γραφίδα ή τα υπερηχητικά όργανα μέτρησης, η σειρά SR/RT χρησιμοποιεί οπτικά κάθετης πρόσπτωσης και μικρό μέγεθος κηλίδας (από 4 μm έως 0,5–1,5 mm) για τη μέτρηση ευαίσθητων μεμβρανών χωρίς καμία φυσική επαφή. Αυτό διατηρεί την ακεραιότητα του δείγματος, καθιστώντας την ιδανική για εύθραυστα πλακίδια ημιαγωγών, οπτικές επιστρώσεις, οθόνες OLED/LCD και εύκαμπτες ηλεκτρονικές μεμβράνες.