O novo medidor de espesor de película reflectante da serie SR/RT ofrece unha medición rápida e non destrutiva a nanonivel

Rendemento óptico innovador

Baseada no principio da espectrometría de reflectancia e a interferencia da luz reflectida polas superficies e interfaces das películas, a serie SR/RT permite a caracterización rápida de películas delgadas dunha ou varias capas. Os modelos clave inclúen o SR-M (rango de 380–900 nm, 50 nm–40 μm), o SR-C (espectro extensible ata 1650 nm, rango de 15 nm–70 μm), o SR-Mapping para o mapeo da distribución de espesores e o RT-V para a medición da reflexión/transmisión.

O sistema consegue unha repetibilidade de 0,02 nm (probada en 100 nm de SiO₂ nunha oblea de silicio, 30 medicións) e unha precisión de medición do 0,4 % ou 2 nm (o que sexa maior). O tempo de medición por punto oscila entre 0,5 e 3 segundos, o que permite un control de calidade en liña de alto rendemento.

Ensaios verdadeiros sen contacto e non destrutivos

A diferenza dos punteiros mecánicos ou dos medidores ultrasónicos, a serie SR/RT emprega óptica de incidencia perpendicular e un tamaño de punto pequeno (de 4 μm ata 0,5–1,5 mm) para medir películas delicadas sen ningún contacto físico. Isto preserva a integridade da mostra, o que a fai ideal para obleas de semicondutores fráxiles, revestimentos ópticos, pantallas OLED/LCD e películas electrónicas flexibles.