MSK CNC TOOLS tillkännagav idag lanseringen av sin SR/RT-serieReflekterande filmtjockleksmätare, ett högprecisionsoptiskt instrument utformat för beröringsfri, icke-destruktiv tjockleksmätning av nano- till mikron-tunnfilmer. Den nya serien möter den växande efterfrågan på snabb, noggrann och repeterbar filmtjocklekstestning inom halvledar-, optik-, display- och solcellstillverkning.
Banbrytande optisk prestanda
Baserad på principen om reflektansspektrometri och interferens av reflekterat ljus från filmytor och gränssnitt, möjliggör SR/RT-serien snabb karakterisering av tunnfilmer med ett lager till flera lager. Viktiga modeller inkluderar SR-M (380–900 nm, 50 nm–40 μm intervall), SR-C (utökningsbart spektrum upp till 1650 nm, 15 nm–70 μm intervall), SR-Mapping för kartläggning av tjockleksfördelning och RT-V för reflektions-/transmissionsmätning.
Systemet uppnår en repeterbarhet på 0,02 nm (testat på 100 nm SiO₂ på kiselskivor, 30 mätningar) och en mätnoggrannhet på 0,4 % eller 2 nm (beroende på vilket som är störst). Mättiden per punkt varierar från 0,5 till 3 sekunder, vilket möjliggör högkapacitetskvalitetskontroll i linje.
Sann kontaktfri, icke-förstörande testning
Till skillnad från mekaniska stylus- eller ultraljudsmätare använder SR/RT-serien vinkelrät infallsoptik och en liten punktstorlek (från 4 μm upp till 0,5–1,5 mm) för att mäta ömtåliga filmer utan fysisk kontakt. Detta bevarar provets integritet, vilket gör den idealisk för ömtåliga halvledarskivor, optiska beläggningar, OLED/LCD-skärmar och flexibla elektroniska filmer.
Bred applikationstäckning
Den nya filmtjockleksmätaren är redo för olika branscher:
- Halvledare – Övervakning av waferfilmtjocklek, dielektriska och passiveringslager
- Optiska beläggningar – Antireflexbeläggningar (AR), högreflekterande beläggningar (HR), filter
- Tillverkning av bildskärmar – OLED, LCD och flexibla tunna filmer för bildskärmar
- Fotovoltaik – Tjocklekstestning av antireflexbeläggningar för solceller
- Glas och hårda ytbehandlingar – Arkitektoniska och bilglasfilmer
- Biomedicinsk och flexibel elektronik – Tunna polymerfilmer, substrat
Anpassningsbar och produktionsklar
SR/RT-serien stöder flexibel konfiguration – från bärbara FoU-enheter till helt integrerade inline-system. Det analytiska spektrumet kan utökas till UV (200 nm) eller NIR (1650 nm) enligt kundens krav. Avancerade kärnalgoritmer hanterar filmer från ultratunna (15 nm) till tjocka (70 μm) lager med flerskiktsupplösningskapacitet.
Kundfördelar
- Snabbare time-to-market – Mätning i realtid och hög hastighet minskar flaskhalsar vid kvalitetskontroll
- Lägre ägandekostnad – Oförstörande metod eliminerar provspill
- Förbättrat utbyte – Noggrann tjocklekskontroll säkerställer beläggningskonsistens
- Enkel integration – Kompakt design med vinkelrät infallsvinkel förenklar installationen
Tillgänglighet och support
SR/RT-serien finns tillgänglig för global leverans med fullständig teknisk dokumentation, installationsvägledning och eftermarknadssupport. Anpassade lösningar finns tillgängliga på begäran.
För mer information, besökTunnfilmstjockleksmätareeller kontaktamolly@mskcnctools.com.
Om MSK CNC-VERKTYG
MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd grundades 2015 och företaget har fortsatt att växa och utvecklas under denna period. Företaget blev ISO 9001-certifierat enligt Rheinland 2016. Det har internationellt avancerad tillverkningsutrustning såsom det tyska högklassiga femaxliga slipcentret SACCKE, det tyska sexaxliga verktygstestcentret ZOLLER och den taiwanesiska PALMARY-maskinen. Det är engagerat i att producera högkvalitativa, professionella och effektiva CNC-verktyg.
Publiceringstid: 4 juni 2026
