MSK CNC TOOLSは本日、SR/RTシリーズの発売を発表しました。反射型膜厚計ナノメートルからミクロンサイズの薄膜の非接触・非破壊厚さ測定用に設計された高精度光学機器です。この新シリーズは、半導体、光学、ディスプレイ、太陽光発電などの製造分野における、高速、高精度、かつ再現性の高い膜厚測定に対する高まる需要に応えるものです。
画期的な光学性能
反射分光法の原理と、膜表面および界面からの反射光の干渉に基づき、SR/RTシリーズは単層から多層までの薄膜を迅速に特性評価できます。主なモデルには、SR-M（380～900 nm、50 nm～40 μmの範囲）、SR-C（最大1650 nmまで拡張可能なスペクトル、15 nm～70 μmの範囲）、膜厚分布マッピング用のSR-Mapping、および反射/透過測定用のRT-Vがあります。
本システムは、0.02 nmの再現性（シリコンウェハ上の100 nm厚のSiO₂膜で30回測定）と、0.4%または2 nm（いずれか大きい方）の測定精度を実現しています。1点あたりの測定時間は0.5～3秒で、ハイスループットなインライン品質管理が可能です。
真の非接触・非破壊検査
機械式スタイラスや超音波ゲージとは異なり、SR/RTシリーズは垂直入射光学系と小さなスポットサイズ（4μmから0.5～1.5mmまで）を採用し、物理的な接触なしに繊細な薄膜を測定します。これにより試料の損傷を防ぎ、壊れやすい半導体ウェハ、光学コーティング、OLED/LCDディスプレイ、フレキシブル電子フィルムなどの測定に最適です。
幅広い用途に対応
この新しい膜厚計は、様々な産業分野で活用できる準備が整っています。
- 半導体 – ウェーハ膜厚モニタリング、誘電体層およびパッシベーション層
- 光学コーティング – 反射防止（AR）コーティング、高反射（HR）コーティング、フィルター
- ディスプレイ製造 – OLED、LCD、フレキシブルディスプレイ薄膜
- 太陽光発電 – 太陽電池の反射防止コーティング厚さ試験
- ガラスおよび硬質コーティング – 建築用および自動車用ガラスフィルム
- 生体医療・フレキシブルエレクトロニクス – 薄膜ポリマーフィルム、基板
カスタマイズ可能で、すぐに製品化可能
SR/RTシリーズは、ポータブルな研究開発ユニットから完全統合型インラインシステムまで、柔軟な構成に対応しています。分析スペクトルは、お客様のご要望に応じてUV（200 nm）またはNIR（1650 nm）まで拡張可能です。高度なコアアルゴリズムにより、超薄膜（15 nm）から厚膜（70 μm）まで、多層構造の分解能で分析できます。
顧客メリット
- 市場投入までの時間短縮 – リアルタイムかつ高速な測定により、品質管理のボトルネックを解消
- 所有コストの削減 – 非破壊検査法によりサンプル廃棄物がなくなる
- 歩留まりの向上 – 正確な厚さ制御により、コーティングの一貫性を確保
- 簡単な統合 – 垂直入射のコンパクト設計により、セットアップが簡単
利用可能性とサポート
SR/RTシリーズは、技術資料、設置ガイド、アフターサービスを含め、世界各国への出荷に対応しています。ご要望に応じてカスタマイズソリューションもご提供可能です。
詳細については、こちらをご覧ください。薄膜厚さ計または連絡molly@mskcnctools.com.
MSK CNC TOOLSについて
MSK（天津）国際貿易有限公司は2015年に設立され、以来着実に成長・発展を遂げてきました。2016年にはラインラントISO 9001認証を取得し、ドイツのSACCKE社製ハイエンド5軸研削盤、ドイツのZOLLER社製6軸工具試験機、台湾のPALMARY社製工作機械など、国際的に先進的な製造設備を保有しています。当社は、ハイエンドでプロフェッショナルかつ効率的なCNC工具の製造に尽力しています。
投稿日時：2026年6月4日
