El nuevo medidor de espesor de película reflectante de la serie SR/RT ofrece una medición rápida y no destructiva a nivel nanométrico.

Rendimiento óptico revolucionario

Basándose en el principio de espectrometría de reflectancia e interferencia de la luz reflejada en superficies e interfaces de películas, la serie SR/RT permite la caracterización rápida de películas delgadas, desde monocapas hasta multicapas. Los modelos clave incluyen el SR-M (380–900 nm, rango de 50 nm–40 μm), el SR-C (espectro ampliable hasta 1650 nm, rango de 15 nm–70 μm), el SR-Mapping para mapeo de distribución de espesor y el RT-V para medición de reflexión/transmisión.

El sistema alcanza una repetibilidad de 0,02 nm (probado en 100 nm de SiO₂ sobre oblea de silicio, 30 mediciones) y una precisión de medición del 0,4 % o 2 nm (el que sea mayor). El tiempo de medición por punto oscila entre 0,5 y 3 segundos, lo que permite un control de calidad en línea de alto rendimiento.

Ensayos verdaderamente sin contacto y no destructivos.

A diferencia de los palpadores mecánicos o ultrasónicos, la serie SR/RT utiliza óptica de incidencia perpendicular y un tamaño de punto pequeño (de 4 μm a 0,5–1,5 mm) para medir películas delicadas sin contacto físico. Esto preserva la integridad de la muestra, lo que la hace ideal para obleas semiconductoras frágiles, recubrimientos ópticos, pantallas OLED/LCD y películas electrónicas flexibles.