MSK CNC TOOLS hat heute die Markteinführung seiner SR/RT-Serie bekannt gegeben.Reflexionsfilmdickenmessgerät, ein hochpräzises optisches Instrument zur berührungslosen und zerstörungsfreien Dickenmessung von Nano- bis Mikrometerdünnschichten. Die neue Produktreihe erfüllt die steigende Nachfrage nach schnellen, genauen und reproduzierbaren Schichtdickenmessungen in der Halbleiter-, Optik-, Display- und Photovoltaikfertigung.
Bahnbrechende optische Leistung
Basierend auf dem Prinzip der Reflexionsspektrometrie und der Interferenz von reflektiertem Licht an Filmoberflächen und Grenzflächen ermöglicht die SR/RT-Serie die schnelle Charakterisierung von ein- bis mehrlagigen Dünnschichten. Zu den wichtigsten Modellen gehören der SR-M (380–900 nm, 50 nm–40 μm), der SR-C (erweiterbares Spektrum bis 1650 nm, 15 nm–70 μm), der SR-Mapping zur Dickenverteilungsmessung und der RT-V zur Reflexions-/Transmissionsmessung.
Das System erreicht eine Wiederholgenauigkeit von 0,02 nm (getestet an 100 nm SiO₂ auf einem Siliziumwafer, 30 Messungen) und eine Messgenauigkeit von 0,4 % bzw. 2 nm (je nachdem, welcher Wert größer ist). Die Messzeit pro Punkt liegt zwischen 0,5 und 3 Sekunden und ermöglicht so eine effiziente Inline-Qualitätskontrolle.
Echte berührungslose, zerstörungsfreie Prüfung
Im Gegensatz zu mechanischen Tastschnittgeräten oder Ultraschallmessgeräten nutzt die SR/RT-Serie eine Optik mit senkrechtem Einfall und einen kleinen Messfleck (von 4 μm bis 0,5–1,5 mm), um empfindliche Schichten berührungslos zu messen. Dadurch bleibt die Probenintegrität erhalten, was die Serie ideal für empfindliche Halbleiterwafer, optische Beschichtungen, OLED/LCD-Displays und flexible Elektronikfolien macht.
Breites Anwendungsspektrum
Das neue Filmdickenmessgerät ist für diverse Branchen geeignet:
- Halbleiter – Waferfilmdickenüberwachung, dielektrische und Passivierungsschichten
- Optische Beschichtungen – Antireflex- (AR), hochreflektierende (HR) Beschichtungen, Filter
- Displayherstellung – OLED-, LCD- und flexible Display-Dünnschichten
- Photovoltaik – Dickenmessung der Antireflexionsbeschichtung von Solarzellen
- Glas & Hartbeschichtungen – Architektur- und Automobilglasfolien
- Biomedizinische und flexible Elektronik – Dünne Polymerfilme, Substrate
Anpassbar und produktionsfertig
Die SR/RT-Serie ermöglicht flexible Konfigurationen – von tragbaren F&E-Einheiten bis hin zu vollständig integrierten Inline-Systemen. Das Analysespektrum kann kundenspezifisch auf UV (200 nm) oder NIR (1650 nm) erweitert werden. Fortschrittliche Kernalgorithmen verarbeiten Schichten von ultradünn (15 nm) bis dick (70 μm) und bieten dabei eine Mehrschichtauflösung.
Kundenvorteile
- Schnellere Markteinführung – Echtzeit-Hochgeschwindigkeitsmessung reduziert Engpässe in der Qualitätskontrolle
- Geringere Betriebskosten – Zerstörungsfreies Verfahren vermeidet Probenverlust
- Verbesserte Ausbeute – Präzise Schichtdickenkontrolle gewährleistet gleichmäßige Beschichtung.
- Einfache Integration – Kompaktes Design mit senkrechtem Einfallswinkel vereinfacht die Einrichtung
Verfügbarkeit und Support
Die SR/RT-Serie ist weltweit lieferbar und wird mit vollständiger technischer Dokumentation, Installationsanleitung und Kundendienst geliefert. Kundenspezifische Lösungen sind auf Anfrage erhältlich.
Weitere Informationen finden Sie unterDünnschichtdickenmessgerätoder kontaktieren Sie unsmolly@mskcnctools.com.
Über MSK CNC-WERKZEUGE
MSK (Tianjin) International Trading Co., Ltd. wurde 2015 gegründet und hat sich seitdem kontinuierlich weiterentwickelt. Das Unternehmen erhielt 2016 die Rheinland-ISO-9001-Zertifizierung. Es verfügt über international fortschrittliche Fertigungsanlagen, darunter ein deutsches High-End-Fünf-Achs-Schleifzentrum von SACCKE, ein deutsches Sechs-Achs-Werkzeugprüfzentrum von ZOLLER und eine Werkzeugmaschine von PALMARY aus Taiwan. Das Unternehmen hat sich der Herstellung hochwertiger, professioneller und effizienter CNC-Werkzeuge verschrieben.
Veröffentlichungsdatum: 04.06.2026
