U novu calibru di spessore di film riflettente di a serie SR/RT furnisce una misurazione rapida è non distruttiva à livellu nanometricu

Prestazioni Ottiche Rivoluzionarie

Basatu annantu à u principiu di a spettrometria di riflettanza è l'interferenza di a luce riflessa da e superfici è l'interfacce di i filmi, a serie SR/RT permette una caratterizazione rapida di filmi sottili da un solu stratu à più strati. I mudelli chjave includenu SR-M (380-900 nm, gamma 50 nm-40 μm), SR-C (spettru estensibile finu à 1650 nm, gamma 15 nm-70 μm), SR-Mapping per a mappatura di a distribuzione di u spessore è RT-V per a misurazione di riflessione/trasmissione.

U sistema ghjunghje à una ripetibilità di 0,02 nm (testatu nantu à 100 nm SiO₂ nantu à una cialda di siliciu, 30 misurazioni) è una precisione di misurazione di 0,4% o 2 nm (u più grande di i dui). U tempu di misurazione per puntu varieghja da 0,5 à 3 secondi, permettendu un cuntrollu di qualità in linea à altu rendimentu.

Veri testi senza cuntattu è senza distruzzione

À u cuntrariu di i stili meccanichi o di i calibri à ultrasoni, a serie SR/RT usa ottiche à incidenza perpendiculare è una piccula dimensione di spot (da 4 μm finu à 0,5-1,5 mm) per misurà filmi delicati senza alcun cuntattu fisicu. Questu priserva l'integrità di u campione, rendendulu ideale per wafer di semiconduttori fragili, rivestimenti ottici, display OLED/LCD è filmi elettronichi flessibili.