Отражательный толщиномер серии SR/RT – бесконтактный оптический измеритель толщины тонких пленок от нано до микрон
Обзор продукта
Наш отражательный толщиномер серии SR/RT представляет собой высокоточную бесконтактную оптическую измерительную систему, предназначенную для быстрого и неразрушающего контроля толщины тонких пленок. Основанный на принципе спектрометрии отражения и интерференции отраженного света от поверхностей и границ раздела пленок, этот прибор позволяет точно характеризовать однослойные и многослойные пленки с повторяемостью на нанометровом уровне.
Независимо от того, проверяете ли вы полупроводниковые пластины, оптические покрытия, OLED-дисплеи, антиотражающие пленки для солнечных батарей или гибкую электронику, наш измерительный прибор обеспечивает надежные, воспроизводимые и быстрые результаты — без какого-либо контакта или повреждения образца.
Основные характеристики
- Бесконтактный и неразрушающий метод – сохраняет целостность образца, идеально подходит для хрупких или дорогостоящих тонких пленок.
- Быстрое сканирование – время измерения от ≤0,5 до 3 секунд на точку, подходит для поточного производства.
- Широкий диапазон толщины – от 15 нм до 70 мкм (модель SR-C) или от 50 нм до 40 мкм (модель SR-M).
- Высокая воспроизводимость – 0,02 нм (проверено на кремниевой подложке SiO₂/Si толщиной 100 нм, 30 измерений).
- Многослойное разрешение – обеспечивает различение от одного до нескольких слоев с помощью технологии интерференции отраженного света.
- Гибкие конфигурации – выберите один из вариантов: SR-M (общего назначения), SR-C (расширенный спектр), SR-Mapping (картирование толщины) или RT-V (отражение/пропускание).
- Настраиваемый спектр – стандартный 380–1000 нм; расширяемый до УФ 200 нм или ближнего ИК 1650 нм.
- Малый размер пятна – от 4 мкм / 50 мкм до 0,5–1,5 мм для измерений в микрообластях.
- Перпендикулярное сечение – упрощенное выравнивание и точное измерение.
Серия SR/RT
Толщиномер:
На основе анализа спектра отражения, образующегося в результате интерференции отраженного света от поверхности и границы раздела тонкой пленки, можно быстро определять толщину различных диэлектрических защитных пленок, полупроводниковых тонких пленок, стеклянных покрытий и т. д.
Преимущества продукта
Решения для оптического измерения тонких пленок
Бесконтактное, неразрушающее измерение
Покрытие от однослойных до многослойных тонких пленок.
Основные алгоритмы охватывают диапазон размеров пленок, от тонких до толстых.
Гибкая конфигурация, поддержка индивидуальной настройки.
Возможности разрешения многослойных тонких пленок
На основе принципа интерференции отраженного света между верхней и нижней границами тонкопленочных слоев можно легко определить характеристики тонких пленок от однослойных до многослойных.
Основные алгоритмы охватывают диапазон размеров пленок, от тонких до толстых.
К мощным алгоритмам анализа основных параметров относятся: анализ методом быстрого преобразования Фурье (БПФ) толстых пленок и анализ методом аппроксимации кривых физических параметров тонких пленок.
Технические характеристики
| Тип инструмента | Измеритель толщины отражающей пленки | Измерительный прибор для отражения и пропускания | ||
| Модель | СР-М | SR-C | SR-Mapping | РТ-В |
| Основные функции | Коэффициент отражения, толщина пленки, n/k и т. д. | Такие параметры, как коэффициент отражения, коэффициент пропускания, толщина пленки и n/k. | ||
| Аналитический спектр | 380-900 нм | 380-1000 нм (длина волны расширена до УФ-диапазона 200 нм или 1650 нм) | ||
| Диапазон измерения толщины пленки | 50 нм-40 мкм | 15 нм-70 мкм | ||
| Время одного измерения | 0,5~3 с | ≤1 с (поддерживается настройка) | ||
| Повторяемость¹ | 0,02 нм | 0,02 нм (кремниевая пластина SiO2 толщиной 100 нм, 30 измерений) | ||
| Точность измерения | Большее из значений: 0,4% или 2 нм | |||
| Размер пятна | 4 мкм/50 мкм | 0,5-1,5 мм | ||
| Метод угла падения | Перпендикулярное сечение | |||
Характеристики продукта
Использует высокоинтенсивный галогенный источник света, охватывающий ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный спектр;
В устройстве используется высокоинтегрированная оптико-мехатронная конструкция, что обеспечивает компактные размеры и простоту в эксплуатации;
Основанный на принципе интерференции отраженного света между верхней и нижней границами тонкопленочных слоев, он позволяет легко анализировать тонкие пленки от однослойных до многослойных;
Оснащен мощными алгоритмами анализа основных параметров: анализ БПФ толстых пленок и анализ аппроксимации кривых для анализа физических параметров тонких пленок.
Применение продукции
Широко используется для измерения различных диэлектрических защитных пленок, органических тонких пленок, неорганических тонких пленок, металлических пленок, покрытий и других тонких пленок.
Почему стоит выбрать нашу серию SR/RT?
✅ Неразрушающее оптическое измерение – не требует подготовки образцов.
✅ Высокая скорость и производительность – идеально подходит для НИОКР и контроля качества на производственных линиях.
✅ Проверенные базовые алгоритмы – подходят для тонких и толстых пленок, однослойных и многослойных.
✅ Настраиваемый – Гибкие конфигурации, соответствующие вашим конкретным задачам.
✅ Глобальная поддержка – готовность к экспорту, техническая документация и послепродажное обслуживание.
Готовы модернизировать процесс измерения толщины тонких пленок? Свяжитесь с нами для получения коммерческого предложения или бесплатной оценки вашего проекта.
О нас
Профиль завода
Часто задаваемые вопросы
В1: Кто мы?
A1: Компания MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. была основана в 2015 году и с тех пор демонстрирует стабильный рост. Компания сертифицирована по стандарту ISO 9001 в Рейнланде. В наших производственных и контрольно-измерительных процессах используется передовое международное оборудование, такое как немецкие высококлассные пятиосевые шлифовальные центры SACKE, немецкая шестиосевая система измерения инструмента ZOLLER и тайваньские станки PALMARY. Наша основная миссия — поставлять долговечные, высокопроизводительные режущие инструменты с ЧПУ, отвечающие профессиональным и эффективным стандартам обработки.
В2: Вы торговая компания или производитель?
A2: Мы работаем как прямой производитель, специализируясь в основном на изготовлении твердосплавных режущих инструментов.
В3: Возможна ли доставка продукции моему экспедитору в Китае?
A3: Да, это не проблема. Если у вас уже есть экспедитор в Китае, мы скоординируем доставку на его склад или по любому другому указанному вами адресу.
Вопрос 4: Какие варианты оплаты вы предлагаете клиентам?
A4: В настоящее время мы в основном принимаем оплату банковским переводом (T/T) в качестве стандартного способа оплаты.
В5: Можете ли вы обрабатывать заказы OEM или выполнять индивидуальные заказы на продукцию?
A5: Конечно. Мы полностью поддерживаем как OEM-запросы, так и запросы на индивидуальную настройку. Кроме того, мы предлагаем услугу печати этикеток на заказ для поддержки ваших собственных брендинговых усилий.
В6: Что делает MSK предпочтительным партнером в области решений для режущего инструмента?
A6: Вот несколько ключевых преимуществ, которые отличают нас от других:
Доступное качество – Мы помогаем клиентам найти баланс между стоимостью и производительностью, предлагая надежные продукты по разумным ценам.
Оперативная связь – Наша команда отвечает на запросы и предоставляет расценки в течение 48 часов.
Неизменная надежность – Мы гарантируем 100% качество каждого продукта.
Индивидуальный подход к обслуживанию – Мы предоставляем персонализированное послепродажное обслуживание и техническую поддержку с учетом конкретных потребностей каждого клиента.










