Ny reflekterende filmtykkelsesmåler i SR/RT-serien gir rask og ikke-destruktiv nanonivåmåling

MSK CNC TOOLS annonserte i dag lanseringen av sin SR/RT-serieReflekterende filmtykkelsesmåler, et høypresisjonsoptisk instrument utviklet for berøringsfri, ikke-destruktiv tykkelsesmåling av tynne nano- til mikronfilmer. Den nye serien adresserer den økende etterspørselen etter rask, nøyaktig og repeterbar filmtykkelsestesting innen halvleder-, optikk-, skjerm- og solcelleproduksjon.

Banebrytende optisk ytelse

Basert på prinsippet om reflektansspektrometri og interferens av reflektert lys fra filmoverflater og grensesnitt, muliggjør SR/RT-serien rask karakterisering av tynne filmer med ett lag til flerlag. Viktige modeller inkluderer SR-M (380–900 nm, 50 nm–40 μm område), SR-C (utvidbart spektrum opptil 1650 nm, 15 nm–70 μm område), SR-Mapping for kartlegging av tykkelsesfordeling og RT-V for måling av refleksjon/transmisjon.

Systemet oppnår en repeterbarhet på 0,02 nm (testet på 100 nm SiO₂ på silisiumskive, 30 målinger) og en målenøyaktighet på 0,4 % eller 2 nm (det som er størst). Måletiden per punkt varierer fra 0,5 til 3 sekunder, noe som muliggjør høykapasitets inline kvalitetskontroll.

Ekte kontaktfri, ikke-destruktiv testing

I motsetning til mekaniske stylus- eller ultralydmålere bruker SR/RT-serien vinkelrett innfallsoptikk og en liten punktstørrelse (fra 4 μm opptil 0,5–1,5 mm) for å måle delikate filmer uten fysisk kontakt. Dette bevarer prøvens integritet, noe som gjør den ideell for skjøre halvlederskiver, optiske belegg, OLED/LCD-skjermer og fleksible elektroniske filmer.

Bred dekning av bruksområder

Den nye filmtykkelsesmåleren er klar for ulike bransjer:

  • Halvleder – Overvåking av waferfilmtykkelse, dielektriske lag og passiveringslag
  • Optiske belegg – Antireflekterende (AR), høyreflekterende (HR) belegg, filtre
  • Skjermproduksjon – OLED, LCD og fleksible tynne filmer for skjermer
  • Fotovoltaikk – Tykkelsestesting av antirefleksbelegg på solceller
  • Glass og harde belegg – Arkitektoniske og bilbaserte glassfilmer
  • Biomedisinsk og fleksibel elektronikk – Tynne polymerfilmer, substrater

Tilpassbar og produksjonsklar

SR/RT-serien støtter fleksibel konfigurasjon – fra bærbare FoU-enheter til fullt integrerte inline-systemer. Det analytiske spekteret kan utvides til UV (200 nm) eller NIR (1650 nm) etter kundens behov. Avanserte kjernealgoritmer håndterer filmer fra ultratynne (15 nm) til tykke (70 μm) lag med flerlagsoppløsningskapasitet.

Kundefordeler

  • Raskere time-to-market – Høyhastighetsmåling i sanntid reduserer flaskehalser i kvalitetskontrollen
  • Lavere eierkostnader – Ikke-destruktiv metode eliminerer prøveavfall
  • Forbedret utbytte – Nøyaktig tykkelseskontroll sikrer beleggkonsistens
  • Enkel integrering – Kompakt design med vinkelrett innfall forenkler oppsettet

Tilgjengelighet og støtte

SR/RT-serien er tilgjengelig for global forsendelse med fullstendig teknisk dokumentasjon, installasjonsveiledning og kundestøtte etter salg. Tilpassede løsninger er tilgjengelige på forespørsel.

For mer informasjon, vennligst besøkTykkelsesmåler for tynn filmeller kontaktmolly@mskcnctools.com.


Om MSK CNC-VERKTØY

MSK (Tianjin) International Trading CO., Ltd ble etablert i 2015, og selskapet har fortsatt å vokse og utvikle seg i denne perioden. Selskapet ble Rheinland ISO 9001-sertifisert i 2016. Det har internasjonalt avansert produksjonsutstyr som det tyske SACCKE high-end femaksede slipesenteret, det tyske ZOLLER seksaksede verktøytestsenteret og Taiwans PALMARY maskinverktøy. Det er forpliktet til å produsere avanserte, profesjonelle og effektive CNC-verktøy.

om oss

Publisert: 04.06.2026

Send meldingen din til oss:

Skriv meldingen din her og send den til oss