SR/RTシリーズ反射型膜厚計 – ナノメートルからミクロンサイズの薄膜に対応する非接触式光学式膜厚計
製品概要
当社のSR/RTシリーズ反射型膜厚計は、薄膜の迅速かつ非破壊的な厚さ測定のために設計された、高精度な非接触式光学測定システムです。反射分光法と、膜表面および界面からの反射光の干渉原理に基づき、この装置は単層から多層までの膜をナノメートルレベルの再現性で正確に測定します。
半導体ウェハー、光学コーティング、OLEDディスプレイ、太陽電池反射防止膜、フレキシブルエレクトロニクスなど、どのような検査対象であっても、当社のゲージはサンプルに触れたり損傷を与えたりすることなく、信頼性が高く、再現性があり、迅速な結果を提供します。
主な機能
- 非接触・非破壊 – サンプルの完全性を損なうことなく、壊れやすい薄膜や高価な薄膜に最適です。
- 高速スキャン – 1点あたりの測定時間は0.5秒から3秒以下で、インライン生産に適しています。
- 幅広い膜厚範囲 – 15 nmから70 μmまで（モデルSR-C）、または50 nmから40 μmまで（モデルSR-M）。
- 高い再現性 – 0.02 nm（100nm SiO₂/Siウェハで30回測定）。
- 多層解像度 – 反射光干渉技術により、単層から多層までの解像度を実現します。
- 柔軟な構成 – SR-M（汎用）、SR-C（広帯域スペクトル）、SR-Mapping（厚みマッピング）、またはRT-V（反射/透過）から選択できます。
- カスタマイズ可能なスペクトル – 標準は380～1000 nm。UV 200 nmまたはNIR 1650 nmまで拡張可能。
- 微小スポットサイズ – 4 µm / 50 µm から 0.5～1.5 mm まで、微小領域測定に対応。
- 垂直入射 – 位置合わせが簡単になり、正確な測定が可能になります。
SR/RTシリーズ
厚さゲージ：
薄膜表面および界面からの反射光の干渉によって形成される反射スペクトルの解析に基づき、各種誘電体保護膜、半導体薄膜、ガラスコーティングなどの厚さを迅速に特性評価することが可能です。
製品の利点
光学薄膜測定ソリューション
非接触・非破壊測定
単層から多層の薄膜まで対応
コアアルゴリズムは薄膜から厚膜までを網羅している。
柔軟な構成が可能で、カスタマイズにも対応しています。
多層薄膜解像度機能
薄膜層の上下界面における反射光の干渉原理に基づけば、単層から多層までの薄膜の特性を容易に解明することができる。
コアアルゴリズムは薄膜から厚膜までを網羅している。
強力なコア解析アルゴリズムには、厚膜のFFT解析や薄膜の物理パラメータの曲線フィッティング解析などが含まれます。
技術仕様
| 機器の種類 | 反射膜厚計 | 反射・透過測定装置 | ||
| モデル | SR-M | SR-C | SRマッピング | RT-V |
| 基本機能 | 反射率、膜厚、n/kなど | 反射率、透過率、膜厚、n/kなどのパラメータ | ||
| 分析スペクトル | 380～900nm | 380～1000nm（波長範囲は紫外線200nmまたは1650nmまで拡張） | ||
| 膜厚測定範囲 | 50nm～40μm | 15nm～70μm | ||
| 単一測定時間 | 0.5～3秒 | ≤1秒（カスタマイズ対応） | ||
| 再現性¹ | 0.02nm | 0.02nm（100nm厚のSiO2シリコンウェハ、30回の測定） | ||
| 測定精度 | 0.4%または2nmのいずれか大きい方 | |||
| スポットサイズ | 4μm/50μm | 0.5～1.5mm | ||
| 入射角法 | 垂直入射 | |||
製品の特徴
紫外線から可視光、近赤外線までのスペクトルをカバーする高輝度ハロゲンランプ光源を採用しています。
高度に統合された光メカトロニクス設計を採用することで、小型化と操作の容易化を実現しています。
薄膜層の上下界面における反射光干渉の原理に基づき、単層から多層までの薄膜を容易に解析できる。
強力なコア解析アルゴリズムを搭載：厚膜のFFT解析と、薄膜の物理パラメータを解析するための曲線フィッティング解析。
製品用途
各種誘電体保護膜、有機薄膜、無機薄膜、金属膜、コーティング、その他の薄膜の測定に広く用いられています。
なぜ当社のSR/RTシリーズを選ぶべきなのか？
✅ 非破壊光学測定 – サンプル準備は不要です。
✅ 高速かつ高スループット – 研究開発および生産ラインの品質管理に最適です。
✅ 実績のあるコアアルゴリズム – 薄膜から厚膜、単層から多層まで対応。
✅ カスタマイズ可能 – お客様の特定の用途に合わせて柔軟に構成できます。
✅ グローバルサポート – 輸出準備完了、技術文書およびアフターサービス付き。
薄膜厚さ測定プロセスのアップグレードをご検討ですか？お見積もりや無料のアプリケーション評価については、お気軽にお問い合わせください。
私たちについて
工場概要
よくある質問
Q1：私たちは誰ですか？
A1：MSK（天津）切削技術有限公司は2015年に設立され、以来着実に成長を続けています。当社はラインランドISO 9001認証を取得しています。製造および検査プロセスには、ドイツのSACKE社製ハイエンド5軸研削盤、ドイツのZOLLER社製6軸工具測定システム、台湾のPALMARY社製工作機械など、先進的な国際規格の設備を使用しています。当社の使命は、プロフェッショナルかつ効率的な加工基準を満たす、耐久性と高性能を兼ね備えたCNC切削工具を提供することです。
Q2：貴社は商社ですか、それとも製造業者ですか？
A2：当社は直接製造業者として、超硬切削工具の製造を主な事業としています。
Q3：中国に拠点を置く私の貨物運送業者に製品を配送することは可能ですか？
A3：はい、問題ありません。中国に既に貨物輸送業者をお持ちでしたら、弊社がその業者の倉庫、またはお客様が指定されたその他の住所への配送を手配いたします。
Q4：お客様にはどのような支払い方法を提供していますか？
A4：現在、弊社では主にT/T（電信送金）を標準的な支払い方法として受け付けております。
Q5：OEM注文やカスタマイズ製品のご要望に対応できますか？
A5：もちろんです。OEMおよびカスタマイズのご要望に全面的に対応いたします。さらに、お客様のブランド構築を支援するため、カスタムラベル印刷サービスもご提供しております。
Q6：MSKが切削工具ソリューションのパートナーとして選ばれる理由は何ですか？
A6：当社を他社と差別化する主な利点は以下のとおりです。
手頃な価格で高品質を実現 – 当社は、信頼性の高い製品をリーズナブルな価格で提供することで、お客様がコストと性能のバランスを取れるようサポートします。
迅速なコミュニケーション – 当社チームは48時間以内にお問い合わせに対応し、お見積もりをご提示いたします。
一貫した信頼性 – 当社はすべての製品に対し、100%の品質保証をお約束します。
お客様一人ひとりのニーズに合わせたサポート – お客様それぞれの具体的なニーズに基づき、パーソナライズされたアフターサービスと技術指導を提供いたします。
