SR/RT-Serie Reflexionsfilmdickenmessgerät – Berührungsloses optisches Dickenmessgerät für Nano- bis Mikrometerdünnschichten
Produktübersicht
Unser Reflexionsfilmdickenmessgerät der Serie SR/RT ist ein hochpräzises, berührungsloses optisches Messsystem zur schnellen und zerstörungsfreien Dickenmessung dünner Schichten. Basierend auf dem Prinzip der Reflexionsspektrometrie und der Interferenz von reflektiertem Licht an Filmoberflächen und Grenzflächen charakterisiert dieses Gerät ein- bis mehrlagige Filme mit Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich.
Ob Sie Halbleiterwafer, optische Beschichtungen, OLED-Displays, Antireflexionsfolien für Solarzellen oder flexible Elektronik prüfen – unser Messgerät liefert zuverlässige, wiederholbare und schnelle Ergebnisse, ohne Ihre Probe zu berühren oder zu beschädigen.
Hauptmerkmale
- Berührungslos und zerstörungsfrei – Erhält die Integrität der Probe, ideal für empfindliche oder hochwertige Dünnschichten.
- Schnelles Scannen – Messzeit von ≤0,5 bis 3 Sekunden pro Punkt, geeignet für die Inline-Produktion.
- Breiter Dickenbereich – Von 15 nm bis 70 μm (Modell SR-C) oder 50 nm bis 40 μm (Modell SR-M).
- Hohe Wiederholgenauigkeit – 0,02 nm (getestet auf einem 100 nm SiO₂/Si-Wafer, 30 Messungen).
- Mehrschichtauflösung – Löst einzelne bis mehrere Schichten mittels reflektierter Lichtinterferenztechnologie auf.
- Flexible Konfigurationen – Wählen Sie zwischen SR-M (Allzweck), SR-C (erweitertes Spektrum), SR-Mapping (Dickenmessung) oder RT-V (Reflexion/Transmission).
- Anpassbares Spektrum – Standard 380–1000 nm; erweiterbar auf UV 200 nm oder NIR 1650 nm.
- Kleine Spotgröße – Von 4 µm / 50 µm bis zu 0,5–1,5 mm für Mikroflächenmessungen.
- Senkrechter Einfall – Vereinfachte Ausrichtung und präzise Messung.
SR/RT-Serie
Dickenmessgerät:
Basierend auf der Analyse des Reflexionsspektrums, das durch die Interferenz von reflektiertem Licht von der Oberfläche und der Grenzfläche des Dünnfilms entsteht, ermöglicht es eine schnelle Charakterisierung der Dicke verschiedener dielektrischer Schutzschichten, Halbleiterdünnschichten, Glasbeschichtungen usw.
Produktvorteile
Optische Dünnschichtmesslösungen
Berührungslose, zerstörungsfreie Messung
Abdeckung von einschichtigen bis zu mehrschichtigen Dünnschichten
Die Kernalgorithmen decken sowohl Dünnschichten als auch Dickschichten ab.
Flexible Konfiguration, unterstützt Anpassung
Auflösungsvermögen von Mehrschicht-Dünnschichten
Auf der Grundlage des Prinzips der Interferenz von reflektiertem Licht zwischen der oberen und unteren Grenzfläche von Dünnschichtschichten lassen sich die Eigenschaften von einschichtigen bis mehrschichtigen Dünnschichten leicht bestimmen.
Die Kernalgorithmen decken sowohl Dünnschichten als auch Dickschichten ab.
Zu den leistungsstarken Kernanalysealgorithmen gehören: FFT-Analyse dicker Schichten und Kurvenanpassungsanalyse physikalischer Parameter dünner Schichten.
Technische Spezifikationen
| Instrumententyp | Reflexionsfilmdickenmessgerät | Reflexions- und Transmissionsmessgerät | ||
| Modell | SR-M | SR-C | SR-Mapping | RT-V |
| Grundfunktionen | Reflexionsgrad, Filmdicke, n/k usw. | Parameter wie Reflexionsgrad, Transmissionsgrad, Schichtdicke und n/k | ||
| Analytisches Spektrum | 380-900 nm | 380-1000 nm (Wellenlänge erweitert bis UV 200 nm oder 1650 nm) | ||
| Messbereich der Filmdicke | 50 nm–40 μm | 15 nm–70 μm | ||
| Einzelmesszeit | 0,5–3 Sekunden | ≤1s (Anpassung möglich) | ||
| Wiederholbarkeit¹ | 0,02 nm | 0,02 nm (100 nm SiO2-Siliziumwafer, 30 Messungen) | ||
| Messgenauigkeit | Der größere Wert von 0,4 % oder 2 nm | |||
| Spotgröße | 4µm/50µm | 0,5–1,5 mm | ||
| Einfallswinkelmethode | Senkrechter Einfall | |||
Produktmerkmale
Verwendet eine Halogenlampe mit hoher Intensität als Lichtquelle, die das ultraviolett-sichtbare bis nahinfrarote Spektrum abdeckt;
Verwendet ein hochintegriertes opto-mechatronisches Design, was zu einer kompakten Größe und einfachen Bedienung führt;
Ausgehend vom Prinzip der Interferenz von reflektiertem Licht an der oberen und unteren Grenzfläche von Dünnschichtschichten ermöglicht es die einfache Analyse von ein- bis mehrschichtigen Dünnschichten;
Ausgestattet mit leistungsstarken Kernanalysealgorithmen: FFT-Analyse dicker Schichten und Kurvenanpassungsanalyse zur Analyse der physikalischen Parameter dünner Schichten.
Produktanwendungen
Weit verbreitet zur Messung verschiedener dielektrischer Schutzschichten, organischer Dünnschichten, anorganischer Dünnschichten, Metallschichten, Beschichtungen und anderer Dünnschichten.
Warum sollten Sie sich für unsere SR/RT-Serie entscheiden?
✅ Zerstörungsfreie optische Messung – Keine Probenvorbereitung erforderlich.
✅ Schnell und mit hohem Durchsatz – Ideal für Forschung und Entwicklung sowie die Qualitätskontrolle in der Produktion.
✅ Bewährte Kernalgorithmen – Deckt dünne bis dicke Schichten, ein- bis mehrlagige Schichten ab.
✅ Anpassbar – Flexible Konfigurationen, die auf Ihre spezifische Anwendung zugeschnitten sind.
✅ Weltweiter Support – Exportbereit, mit technischer Dokumentation und Kundendienst.
Sie möchten Ihren Prozess zur Dünnschichtdickenmessung optimieren? Kontaktieren Sie uns für ein Angebot oder eine kostenlose Anwendungsanalyse.
Über uns
Werksprofil
Häufig gestellte Fragen
Frage 1: Wer sind wir?
A1: MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. wurde 2015 gegründet und verzeichnet seitdem ein stetiges Wachstum. Das Unternehmen ist nach Rheinland ISO 9001 zertifiziert. Unsere Fertigungs- und Prüfprozesse basieren auf modernster internationaler Ausrüstung, darunter deutsche SACKE-Fünf-Achs-Schleifzentren, ein deutsches ZOLLER-Sechs-Achs-Werkzeugmesssystem und taiwanesische PALMARY-Werkzeugmaschinen. Unser Hauptanliegen ist die Lieferung langlebiger, leistungsstarker CNC-Schneidwerkzeuge, die professionellen und effizienten Bearbeitungsstandards entsprechen.
Frage 2: Sind Sie ein Handelsunternehmen oder ein Hersteller?
A2: Wir agieren als direkter Hersteller mit Schwerpunkt auf der Produktion von Hartmetall-Schneidwerkzeugen.
Frage 3: Ist es möglich, die Produkte an meinen Spediteur in China zu liefern?
A3: Ja, das ist kein Problem. Falls Sie bereits einen Spediteur in China haben, koordinieren wir die Lieferung an dessen Lager oder eine andere von Ihnen angegebene Adresse.
Frage 4: Welche Zahlungsmöglichkeiten bieten Sie Ihren Kunden an?
A4: Aktuell akzeptieren wir hauptsächlich T/T (telegrafische Überweisung) als unsere Standardzahlungsmethode.
Frage 5: Können Sie OEM-Aufträge oder kundenspezifische Produktanforderungen bearbeiten?
A5: Selbstverständlich. Wir unterstützen sowohl OEM- als auch kundenspezifische Anfragen. Darüber hinaus bieten wir einen individuellen Etikettendruckservice an, um Ihre Markenstrategie zu unterstützen.
Frage 6: Was macht MSK zum bevorzugten Partner für Lösungen im Bereich Schneidwerkzeuge?
A6: Hier sind einige entscheidende Vorteile, die uns auszeichnen:
Bezahlbare Qualität – Wir helfen unseren Kunden, Kosten und Leistung in Einklang zu bringen, indem wir zuverlässige Produkte zu vernünftigen Preisen anbieten.
Schnelle Kommunikation – Unser Team beantwortet Anfragen und erstellt Angebote innerhalb von 48 Stunden.
Konstante Zuverlässigkeit – Wir stehen mit einer 100%igen Qualitätsgarantie hinter jedem Produkt.
Maßgeschneiderte Unterstützung – Wir bieten einen individuellen Kundendienst und technische Beratung, die auf die spezifischen Bedürfnisse jedes Kunden zugeschnitten sind.
