Jauge d'épaisseur de film réfléchissant série SR/RT – Testeur d'épaisseur optique sans contact pour films minces de l'ordre du nano au micron
Présentation du produit
Notre appareil de mesure d'épaisseur par réflexion de la série SR/RT est un système de mesure optique sans contact de haute précision, conçu pour le contrôle rapide et non destructif de l'épaisseur des films minces. Basé sur le principe de la spectrométrie de réflectance et des interférences de la lumière réfléchie par les surfaces et interfaces des films, cet instrument caractérise avec précision les films monocouches et multicouches avec une répétabilité nanométrique.
Que vous inspectiez des plaquettes de semi-conducteurs, des revêtements optiques, des écrans OLED, des films antireflets pour cellules solaires ou des composants électroniques flexibles, notre appareil de mesure offre des résultats fiables, reproductibles et rapides, sans jamais toucher ni endommager votre échantillon.
Caractéristiques principales
- Sans contact et non destructif – Préserve l’intégrité de l’échantillon, idéal pour les films minces fragiles ou de grande valeur.
- Numérisation rapide – Temps de mesure de ≤0,5 à 3 secondes par point, adapté à la production en ligne.
- Large gamme d'épaisseurs – De 15 nm à 70 μm (modèle SR-C) ou de 50 nm à 40 μm (modèle SR-M).
- Répétabilité élevée – 0,02 nm (testé sur une plaquette SiO₂/Si de 100 nm, 30 mesures).
- Résolution multicouche – Résout les problèmes de superposition de couches simples et multiples grâce à la technologie d'interférence de la lumière réfléchie.
- Configurations flexibles – Choisissez parmi SR-M (usage général), SR-C (spectre étendu), SR-Mapping (cartographie d'épaisseur) ou RT-V (réflexion/transmission).
- Spectre personnalisable – Standard 380–1000 nm ; extensible à l'UV 200 nm ou au NIR 1650 nm.
- Taille du spot réduite – De 4 µm / 50 µm jusqu'à 0,5–1,5 mm pour les mesures de micro-surfaces.
- Incidence perpendiculaire – Alignement simplifié et mesure précise.
Série SR/RT
Jauge d'épaisseur :
En se basant sur l'analyse du spectre de réflexion formé par l'interférence de la lumière réfléchie par la surface et l'interface du film mince, il permet une caractérisation rapide de l'épaisseur de divers films protecteurs diélectriques, films minces semi-conducteurs, revêtements de verre, etc.
Avantages du produit
Solutions de mesure de couches minces optiques
Mesure sans contact et non destructive
Couverture allant des films minces monocouches aux films minces multicouches
Les algorithmes de base couvrent les couches minces et les couches épaisses.
Configuration flexible, prise en charge de la personnalisation
Capacités de résolution des couches minces multicouches
En se basant sur le principe d'interférence de la lumière réfléchie entre les interfaces supérieure et inférieure des couches minces, les caractéristiques des couches minces monocouches et multicouches peuvent être facilement déterminées.
Les algorithmes de base couvrent les couches minces et les couches épaisses.
Les puissants algorithmes d'analyse de base comprennent : l'analyse FFT des couches épaisses et l'analyse d'ajustement de courbe des paramètres physiques des couches minces.
Spécifications techniques
| Type d'instrument | jauge d'épaisseur de film réfléchissant | Instrument de mesure de la réflexion et de la transmission | ||
| Modèle | SR-M | SR-C | Cartographie SR | RT-V |
| Fonctions de base | Réflectivité, épaisseur du film, n/k, etc. | Des paramètres tels que la réflectivité, la transmittance, l'épaisseur du film et le rapport n/k | ||
| Spectre analytique | 380-900 nm | 380-1000 nm (longueur d'onde étendue à l'UV 200 nm ou 1650 nm) | ||
| Plage de mesure de l'épaisseur du film | 50 nm-40 μm | 15 nm-70 μm | ||
| Temps de mesure unique | 0,5 à 3 s | ≤1s (personnalisation prise en charge) | ||
| Répétabilité¹ | 0,02 nm | 0,02 nm (plaquette de silicium SiO2 de 100 nm, 30 mesures) | ||
| Précision de mesure | La plus grande des valeurs suivantes : 0,4 % ou 2 nm | |||
| Taille du spot | 4 µm/50 µm | 0,5-1,5 mm | ||
| Méthode de l'angle d'incidence | Incidence perpendiculaire | |||
Caractéristiques du produit
Utilise une source lumineuse à lampe halogène haute intensité, couvrant le spectre ultraviolet-visible jusqu'au proche infrarouge ;
Utilise une conception opto-mécatronique hautement intégrée, ce qui permet d'obtenir une taille compacte et une utilisation facile ;
Basé sur le principe de l'interférence de la lumière réfléchie entre les interfaces supérieure et inférieure des couches minces, il analyse facilement les films minces monocouches et multicouches ;
Doté de puissants algorithmes d'analyse de base : analyse FFT des films épais et analyse d'ajustement de courbe pour analyser les paramètres physiques des films minces.
Applications du produit
Largement utilisé pour la mesure de divers films protecteurs diélectriques, films minces organiques, films minces inorganiques, films métalliques, revêtements et autres films minces.
Pourquoi choisir notre série SR/RT ?
✅ Mesure optique non destructive – Aucune préparation d'échantillon requise.
✅ Rapide et à haut débit – Idéal pour la R&D et le contrôle qualité des lignes de production.
✅ Algorithmes de base éprouvés – Couvrent les films minces à épais, monocouches à multicouches.
✅ Personnalisable – Configurations flexibles pour s'adapter à votre application spécifique.
✅ Assistance mondiale – Prêt pour l'exportation, avec documentation technique et service après-vente.
Prêt à moderniser votre processus de mesure d'épaisseur de couches minces ? Contactez-nous pour obtenir un devis ou une évaluation gratuite de votre application.
À propos de nous
Profil de l'usine
FAQ
Q1 : Qui sommes-nous ?
A1 : Fondée en 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology Co., Ltd. connaît depuis une croissance soutenue. Certifiée ISO 9001 par Rheinland, l’entreprise utilise des équipements de pointe internationaux pour la fabrication et le contrôle qualité, notamment des centres d’usinage 5 axes haut de gamme SACKE (Allemagne), un système de mesure d’outils 6 axes ZOLLER (Allemagne) et des machines-outils PALMARY (Taïwan). Sa mission principale est de fournir des outils de coupe CNC performants et durables, répondant aux exigences d’usinage les plus strictes.
Q2 : Êtes-vous une société commerciale ou un fabricant ?
A2 : Nous opérons en tant que fabricant direct, avec un accent particulier sur la production d'outils de coupe en carbure.
Q3 : Est-il possible de livrer les produits à mon transitaire basé en Chine ?
A3 : Oui, aucun problème. Si vous avez déjà un transitaire en Chine, nous organiserons la livraison à son entrepôt ou à toute autre adresse que vous nous indiquerez.
Q4 : Quelles options de paiement proposez-vous à vos clients ?
A4 : Actuellement, nous acceptons principalement le T/T (virement télégraphique) comme méthode de paiement standard.
Q5 : Pouvez-vous gérer les commandes OEM ou les exigences relatives aux produits personnalisés ?
A5 : Absolument. Nous prenons pleinement en charge les demandes de fabrication à façon et de personnalisation. De plus, nous proposons un service d’impression d’étiquettes personnalisées pour vous accompagner dans vos efforts de branding.
Q6 : Qu’est-ce qui fait de MSK un partenaire privilégié pour les solutions d’outils de coupe ?
A6 : Voici plusieurs avantages clés qui nous distinguent :
Qualité abordable – Nous aidons nos clients à trouver le juste équilibre entre coût et performance en leur proposant des produits fiables à des prix raisonnables.
Communication rapide – Notre équipe répond aux demandes de renseignements et fournit des devis sous 48 heures.
Fiabilité constante – Nous garantissons chaque produit à 100 %.
Assistance sur mesure – Nous fournissons un service après-vente et des conseils techniques personnalisés en fonction des besoins spécifiques de chaque client.
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