SR/RT 시리즈 반사형 박막 두께 측정기 - 나노~마이크론 박막용 비접촉식 광학 두께 측정기
제품 개요
당사의 SR/RT 시리즈 반사형 박막 두께 측정기는 박막의 두께를 빠르고 비파괴적으로 측정하도록 설계된 고정밀 비접촉식 광학 측정 시스템입니다. 박막 표면 및 계면에서 반사된 빛의 간섭을 이용한 반사 분광법 원리를 기반으로, 이 장비는 나노미터 수준의 반복 정밀도로 단층막부터 다층막까지 정확하게 두께를 측정할 수 있습니다.
반도체 웨이퍼, 광학 코팅, OLED 디스플레이, 태양 전지 반사 방지 필름 또는 플렉서블 전자 제품을 검사하든 관계없이 당사의 측정기는 샘플에 손대거나 손상시키지 않고도 신뢰할 수 있고 반복 가능하며 신속한 결과를 제공합니다.
주요 특징
- 비접촉 및 비파괴 방식 – 시료의 손상을 방지하여 깨지기 쉽거나 고가의 박막 시료 분석에 이상적입니다.
- 빠른 스캔 – 측정 시간은 지점당 0.5초 이하에서 3초까지로, 인라인 생산에 적합합니다.
- 폭넓은 두께 범위 – 15nm ~ 70μm(SR-C 모델) 또는 50nm ~ 40μm(SR-M 모델).
- 높은 재현성 – 0.02 nm (100nm SiO₂/Si 웨이퍼에서 30회 측정).
- 다중 레이어 해상도 – 반사광 간섭 기술을 통해 단일 레이어부터 다중 레이어까지 분해능을 확보합니다.
- 다양한 구성 가능 – SR-M(범용), SR-C(확장 스펙트럼), SR-Mapping(두께 매핑) 또는 RT-V(반사/투과) 중에서 선택하세요.
- 맞춤형 스펙트럼 – 표준 380~1000nm, 자외선 200nm 또는 근적외선 1650nm까지 확장 가능.
- 작은 측정 영역 크기 – 4µm/50µm에서 최대 0.5~1.5mm까지 미세 영역 측정이 가능합니다.
- 수직 입사 – 간편한 정렬 및 정확한 측정.
SR/RT 시리즈
두께 측정기:
박막 표면과 계면에서 반사된 빛의 간섭으로 형성된 반사 스펙트럼 분석을 기반으로, 다양한 유전체 보호막, 반도체 박막, 유리 코팅 등의 두께를 신속하게 측정할 수 있다.
제품 장점
광학 박막 측정 솔루션
비접촉식, 비파괴 측정
단층 박막부터 다층 박막까지 적용 가능
핵심 알고리즘은 박막부터 후막까지 모든 막을 포괄합니다.
유연한 구성, 사용자 정의 지원
다층 박막 해상도 기능
박막층의 상부와 하부 계면 사이에서 반사된 빛의 간섭 원리를 이용하면 단층 박막부터 다층 박막까지의 특성을 쉽게 구분할 수 있다.
핵심 알고리즘은 박막부터 후막까지 모든 막을 포괄합니다.
핵심 분석 알고리즘에는 후막의 FFT 분석과 박막 물리적 매개변수의 곡선 맞춤 분석이 포함됩니다.
기술 사양
| 기기 종류 | 반사 필름 두께 측정기 | 반사 및 투과 측정 기기 | ||
| 모델 | SR-M | SR-C | SR 매핑 | RT-V |
| 기본 기능 | 반사율, 필름 두께, n/k 등 | 반사율, 투과율, 필름 두께 및 n/k와 같은 매개변수 | ||
| 분석 스펙트럼 | 380-900nm | 380-1000nm (파장은 자외선 200nm 또는 1650nm까지 확장됨) | ||
| 필름 두께 측정 범위 | 50nm-40μm | 15nm-70μm | ||
| 단일 측정 시간 | 0.5~3초 | ≤1초 (맞춤 설정 지원) | ||
| 반복성¹ | 0.02nm | 0.02nm (100nm SiO2 실리콘 웨이퍼, 30회 측정) | ||
| 측정 정확도 | 0.4% 또는 2nm 중 더 큰 값 | |||
| 스팟 사이즈 | 4um/50um | 0.5-1.5mm | ||
| 입사각 방법 | 수직 입사 | |||
제품 특징
고강도 할로겐 램프 광원을 사용하여 자외선-가시광선에서 근적외선 스펙트럼까지 커버합니다.
고도로 통합된 광-메카트로닉 설계를 채택하여 컴팩트한 크기와 손쉬운 작동을 구현했습니다.
박막층의 상부와 하부 계면 사이에서 반사된 빛의 간섭 원리를 기반으로 하여 단층 박막부터 다층 박막까지 쉽게 분석할 수 있습니다.
후막의 FFT 분석 및 박막의 물리적 매개변수를 분석하는 곡선 맞춤 분석 등 강력한 핵심 분석 알고리즘을 탑재했습니다.
제품 적용 분야
다양한 유전체 보호막, 유기 박막, 무기 박막, 금속 박막, 코팅 및 기타 박막의 측정에 널리 사용됩니다.
SR/RT 시리즈를 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?
✅ 비파괴 광학 측정 – 시료 준비가 필요 없습니다.
✅ 빠르고 처리량이 높아 연구 개발 및 생산 라인 품질 관리에 이상적입니다.
✅ 검증된 핵심 알고리즘 – 박막부터 후막까지, 단층부터 다층까지 모두 지원.
✅ 맞춤 설정 가능 – 특정 용도에 맞게 유연하게 구성할 수 있습니다.
✅ 글로벌 지원 – 수출 준비 완료, 기술 문서 및 사후 서비스 제공.
박막 두께 측정 공정을 업그레이드할 준비가 되셨습니까? 견적 또는 무료 적용 평가를 위해 저희에게 연락하십시오.
회사 소개
공장 프로필
자주 묻는 질문
Q1: 우리는 누구인가요?
A1: MSK(톈진) 절삭 기술 유한회사는 2015년에 설립되어 이후 꾸준한 성장을 이어왔습니다. 당사는 라인란트 ISO 9001 인증을 획득했습니다. 제조 및 검사 공정에는 독일 SACKE의 고급 5축 연삭 센터, 독일 ZOLLER의 6축 공구 측정 시스템, 대만 PALMARY 공작기계 등 첨단 국제 표준 장비를 활용합니다. 당사의 핵심 사명은 전문적이고 효율적인 가공 기준을 충족하는 내구성이 뛰어나고 고성능의 CNC 절삭 공구를 공급하는 것입니다.
Q2: 귀사는 무역 회사입니까, 아니면 제조업체입니까?
A2: 당사는 초경 절삭 공구 생산을 주력으로 하는 직접 제조업체로 운영됩니다.
Q3: 중국에 있는 제 운송업체로 제품을 배송하는 것이 가능할까요?
A3: 네, 문제없습니다. 중국에 이미 운송업체가 있으시면 해당 업체 창고 또는 고객님께서 지정하신 다른 주소로 배송을 조율해 드리겠습니다.
Q4: 고객에게 어떤 결제 옵션을 제공하시나요?
A4: 현재 저희는 주로 T/T(전신환)를 표준 결제 방식으로 사용하고 있습니다.
Q5: OEM 주문이나 맞춤형 제품 요구 사항을 처리할 수 있습니까?
A5: 물론입니다. OEM 및 맞춤 제작 요청 모두를 적극적으로 지원합니다. 또한, 고객님의 브랜딩 노력을 지원하기 위해 맞춤 라벨 인쇄 서비스도 제공하고 있습니다.
Q6: MSK가 절삭 공구 솔루션 분야에서 선호되는 파트너인 이유는 무엇입니까?
A6: 다음은 저희를 차별화하는 몇 가지 주요 장점입니다.
합리적인 가격에 뛰어난 품질 제공 – 당사는 고객이 비용과 성능의 균형을 맞출 수 있도록 신뢰할 수 있는 제품을 합리적인 가격에 제공합니다.
신속한 소통 – 저희 팀은 48시간 이내에 문의에 답변하고 견적을 제공합니다.
변함없는 신뢰성 – 당사는 모든 제품에 대해 100% 품질 보증을 약속합니다.
맞춤형 지원 – 당사는 각 고객의 특정 요구 사항에 따라 맞춤형 사후 서비스와 기술 지침을 제공합니다.
