အလွှာပါးအုပ်ထားသော ကာဗိုက်ကိရိယာများတွင် အောက်ပါအားသာချက်များရှိသည်။
(၁) မျက်နှာပြင်အလွှာ၏ အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းသည် အလွန်မာကျောမှုနှင့် ယိုယွင်းပျက်စီးမှုဒဏ်ခံနိုင်စွမ်း မြင့်မားသည်။ အပေါ်ယံလွှာမပါသော ဘိလပ်မြေကာဗိုက်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက အပေါ်ယံလွှာပါသော ဘိလပ်မြေကာဗိုက်သည် ပိုမိုမြင့်မားသော ဖြတ်တောက်မှုအမြန်နှုန်းများကို အသုံးပြုနိုင်စေပြီး ထို့ကြောင့် လုပ်ငန်းစဉ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်၊ သို့မဟုတ် တူညီသော ဖြတ်တောက်မှုအမြန်နှုန်းတွင်ပင် ကိရိယာသက်တမ်းကို များစွာတိုးမြှင့်ပေးနိုင်သည်။
(၂) အုပ်ထားသောပစ္စည်းနှင့် ပြုပြင်ထားသောပစ္စည်းအကြား ပွတ်တိုက်မှုကိန်းဂဏန်းသည် နည်းပါးသည်။ အုပ်မထားသော ဘိလပ်မြေကာဗိုက်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက အုပ်ထားသော ဘိလပ်မြေကာဗိုက်၏ ဖြတ်တောက်အားသည် အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ လျော့နည်းသွားပြီး ပြုပြင်ထားသော မျက်နှာပြင်အရည်အသွေး ပိုကောင်းသည်။
(၃) ကောင်းမွန်သော ဘက်စုံစွမ်းဆောင်ရည်ကြောင့်၊ အပေါ်ယံလွှာအုပ်ထားသော ကာဗိုက်ဓားသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော စွယ်စုံရမှုနှင့် ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော အသုံးချမှုအတိုင်းအတာရှိသည်။ ဘိလပ်မြေကာဗိုက်အပေါ်ယံလွှာ၏ အသုံးအများဆုံးနည်းလမ်းမှာ အပူချိန်မြင့် ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (HTCVD) ဖြစ်သည်။ ပလာစမာဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (PCVD) ကို ဘိလပ်မြေကာဗိုက်၏ မျက်နှာပြင်ကို အပေါ်ယံလွှာအုပ်ရန် အသုံးပြုသည်။
ဘိလပ်မြေကာဗိုက် ကြိတ်စက်များ၏ အပေါ်ယံလွှာအမျိုးအစားများ-
အသုံးအများဆုံး အပေါ်ယံလွှာ ပစ္စည်းသုံးမျိုးမှာ တိုက်တေနီယမ် နိုက်ထရိုက် (TiN)၊ တိုက်တေနီယမ် ကာဗွန်နိုက်ထရိုက် (TiCN) နှင့် တိုက်တေနီယမ် အလူမီနိုက် (TiAIN) တို့ ဖြစ်သည်။
တိုက်တေနီယမ် နိုက်ထရိုက် အပေါ်ယံလွှာသည် ကိရိယာမျက်နှာပြင်၏ မာကျောမှုနှင့် ယိုယွင်းပျက်စီးမှုဒဏ်ကို တိုးမြင့်စေပြီး ပွတ်တိုက်မှုကိန်းကို လျှော့ချပေးကာ အနားစွန်းများ စုပုံလာခြင်းကို လျှော့ချပေးကာ ကိရိယာ၏သက်တမ်းကို တိုးချဲ့ပေးပါသည်။ တိုက်တေနီယမ် နိုက်ထရိုက် အပေါ်ယံလွှာပါ ကိရိယာများသည် အလွိုင်းနည်းသံမဏိနှင့် သံမဏိတို့ကို ပြုပြင်ရန်အတွက် သင့်လျော်ပါသည်။
တိုက်တေနီယမ်ကာဗွန်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာ၏ မျက်နှာပြင်သည် မီးခိုးရောင်ဖြစ်ပြီး တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာထက် မာကျောမှုပိုမိုမြင့်မားပြီး ယိုယွင်းပျက်စီးမှုဒဏ်ခံနိုင်ရည် ပိုကောင်းပါသည်။ တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက တိုက်တေနီယမ်ကာဗွန်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာကိရိယာကို ပိုမိုမြင့်မားသော အစာကျွေးနှုန်းနှင့် ဖြတ်တောက်နှုန်း (တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာထက် ၄၀% နှင့် ၆၀% အသီးသီးပိုမိုမြင့်မားသည်) ဖြင့် ပြုပြင်နိုင်ပြီး အလုပ်ခွင်ပစ္စည်းဖယ်ရှားနှုန်း ပိုမိုမြင့်မားပါသည်။ တိုက်တေနီယမ်ကာဗွန်နိုက်ထရိုက်အပေါ်ယံလွှာကိရိယာများသည် အလုပ်ခွင်ပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ပြုပြင်နိုင်သည်။
တိုက်တေနီယမ် အလူမီနိုက် အပေါ်ယံလွှာသည် မီးခိုးရောင် သို့မဟုတ် အနက်ရောင်ဖြစ်သည်။ ၎င်းကို အဓိကအားဖြင့် ဘိလပ်မြေကာဗိုက် ကိရိယာအောက်ခြေ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ ဖြတ်တောက်ခြင်းအပူချိန် 800 ℃ ရောက်ရှိသည့်အခါတွင် ၎င်းကို ဆက်လက်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ ၎င်းသည် မြန်နှုန်းမြင့် ခြောက်သွေ့စွာ ဖြတ်တောက်ခြင်းအတွက် သင့်လျော်သည်။ ခြောက်သွေ့စွာ ဖြတ်တောက်စဉ်အတွင်း ဖြတ်တောက်သည့်နေရာတွင် အပိုင်းအစများကို ဖိသိပ်ထားသောလေဖြင့် ဖယ်ရှားနိုင်သည်။ တိုက်တေနီယမ် အလူမီနိုက်သည် မာကျောသောသံမဏိ၊ တိုက်တေနီယမ်အလွိုင်း၊ နီကယ်အခြေခံအလွိုင်း၊ သွန်းသံနှင့် ဆီလီကွန်မြင့်မားသော အလူမီနီယမ်အလွိုင်းကဲ့သို့သော ကြွပ်ဆတ်သောပစ္စည်းများကို လုပ်ဆောင်ရန်အတွက် သင့်လျော်သည်။
ဘိလပ်မြေကာဗိုက် ကြိတ်စက်၏ အပေါ်ယံလွှာ လိမ်းခြင်း-
ကိရိယာအပေါ်ယံလွှာနည်းပညာ၏ တိုးတက်မှုကို နာနိုအပေါ်ယံလွှာ၏ လက်တွေ့ကျမှုတွင်လည်း ထင်ဟပ်စေသည်။ ကိရိယာအခြေခံပစ္စည်းပေါ်တွင် နာနိုမီတာများစွာထူသော ပစ္စည်းအလွှာရာပေါင်းများစွာကို အပေါ်ယံလွှာအုပ်ခြင်းကို နာနိုအပေါ်ယံလွှာဟုခေါ်သည်။ နာနိုအပေါ်ယံလွှာပစ္စည်း၏ အမှုန်အမွှားတစ်ခုစီ၏ အရွယ်အစားသည် အလွန်သေးငယ်သောကြောင့် အမှုန်နယ်နိမိတ်သည် အလွန်ရှည်လျားပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ခိုင်ခံ့မှုနှင့် ကျိုးပဲ့လွယ်မှုတို့ရှိသည်။
နာနိုအလွှာ၏ Vickers မာကျောမှုသည် HV2800 မှ 3000 အထိရောက်ရှိနိုင်ပြီး မိုက်ခရွန်ပစ္စည်းများထက် ဟောင်းနွမ်းမှုခံနိုင်ရည်ကို 5% မှ 50% အထိ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေသည်။ အစီရင်ခံစာများအရ လက်ရှိတွင် တိုက်တေနီယမ်ကာဗိုက်နှင့် တိုက်တေနီယမ်ကာဗွန်နိုက်ထရိုက် အလွှာအမျိုးမျိုးဖြင့် အလွှာ ၆၂ လွှာနှင့် TiAlN-TiAlN/Al2O3 နာနိုအလွှာ ၄၀၀ ကို တီထွင်ထုတ်လုပ်ထားပြီးဖြစ်သည်။
အထက်ဖော်ပြပါ မာကျောသော အပေါ်ယံလွှာများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက မြန်နှုန်းမြင့်သံမဏိပေါ်တွင် အုပ်ထားသော ဆာလဖိုက် (MoS2၊ WS2) ကို ပျော့ပျောင်းသော အပေါ်ယံလွှာဟုခေါ်ပြီး အဓိကအားဖြင့် မြင့်မားသောအစွမ်းသတ္တိရှိသော အလူမီနီယမ်သတ္တုစပ်များ၊ တိုက်တေနီယမ်သတ္တုစပ်များနှင့် ရှားပါးသတ္တုအချို့ကို ဖြတ်တောက်ရာတွင် အသုံးပြုသည်။
လိုအပ်ချက်တစ်စုံတစ်ရာရှိပါက MSK သို့ ဆက်သွယ်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့သည် စံအရွယ်အစားကိရိယာများကို အချိန်တိုအတွင်း ပေးဆောင်ရန်နှင့် ဖောက်သည်များအတွက် စိတ်ကြိုက်ကိရိယာများကို ပေးဆောင်ရန် ဂရုတစိုက်ရှိပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၁ ခုနှစ်၊ စက်တင်ဘာလ ၂၂ ရက်
