次世代表面測定:MSKのステップ測定装置がナノメートルプロファイリングの新基準を確立

業界がより微細な形状とより厳しい公差へと向かうにつれ、従来の表面形状測定器では、解像度、速度、使いやすさのいずれかを選択せざるを得ない状況に陥ることがよくあります。MSK CNC Toolsは本日、最新の製品を発表しました。ステップインストゥルメント―接触式スタイラス表面形状測定器。このStep社製測定器は、従来の妥協点を解消するために設計されました。半導体製造工場、太陽電池パネル製造ライン、MEMS研究、精密光学機器製造向けに開発されたこの装置は、複雑な操作を必要とせずに、実験室レベルの再現性を製造現場にもたらします。

「エンジニアに必要なのは信頼できるデータであって、頭痛の種ではない。」MSKのシニア製品マネージャーはこう述べた。「当社のステップ測定器は、卓越したステップ高さの再現性と直感的なワークフローを兼ね備えているため、校正に費やす時間を短縮し、プロセスの改善に多くの時間を費やすことができます。」

ステップ計測器が従来のプロファイラーよりも優れている理由

反射率の高い表面や粗い表面では測定が難しい光学式測定法とは異なり、Step測定器はダイヤモンド製のスタイラスを用いて表面の凹凸を物理的に追跡します。この接触式測定法により、素材の色や質感に関わらず、段差の高さ、表面粗さ、3D形状を直接的かつ再現性高く測定できます。

このステップ式計測器を際立たせる主な利点:

  • ステップ高さの再現性は比類のないものです
    ナノメートルスケールの高度な工程においても、この装置は卓越した一貫性を発揮します。これは、半導体製造における成膜、エッチング、薄膜応力のモニタリングにとって非常に重要です。
  • 堅牢なシングルアーチ設計
    剛性の高いシングルアーチフレームは、周囲の振動や温度変化の影響を最小限に抑え、作業現場やクリーンルームなど、混雑した環境下でも安定した測定を保証します。
  • 高速スキャン、妥協なし
    独自のダイレクトドライブ方式により、解像度を損なうことなくデータ取得速度が向上します。ユーザーは、長時間のスキャンでも、より短時間で微細なディテールを捉えることができます。
  • 繊細な材料向けの低力測定
    オプションの低力センサーを使用すれば、Step装置はフォトレジスト、医療用コーティング、マイクロ流体チャネルなどの柔らかい表面を優しくスキャンし、損傷を与えることなく正確なプロファイルを取得できます。
  • Vision64ソフトウェア – よりスマートに、より速く、より簡単に
    64ビット並列処理ソフトウェアは、3D地形データをほぼ瞬時に読み込みます。自動フィルタリング、合否判定基準、および複数領域解析により、手作業が削減され、推測に頼る必要がなくなります。

ステップインストゥルメントが即座に価値を発揮する場面

半導体ウェハー処理

エッチング深さの均一性から、タッチスクリーン上の薄膜応力やITO膜厚まで、Step装置は製造エンジニアが重要なパラメータを迅速に検証するのに役立ちます。ウェハ全体にわたる自動多点テストにより、高い歩留まりと再加工コストの削減が実現します。

太陽電池の銀グリッドライン解析

単結晶および多結晶太陽電池パネルは、導電性の銀グリッド線に依存しています。Step社製の測定器は、グリッド線の高さ、幅、および導通性を精密に測定することで、メーカーがエネルギー変換効率を維持しながら、高価な銀ペーストの使用量を最適化できるようにします。

医療機器および自動車機器向け表面粗さ

整形外科用インプラント(ハイドロキシアパタイトコーティング)、精密機械部品、航空宇宙部品には、厳密な表面粗さ制御が求められます。Step社製の測定器は、カスタマイズ可能な許容限界値による迅速な表面粗さ解析を提供し、研究開発と品質管理の両方をサポートします。

MEMSおよびマイクロ流体

Step装置は、広い垂直範囲と低負荷スキャンにより、変形させることなく、背の高い微細構造や壊れやすいフォトレジスト層の形状を測定できます。これは、マイクロチャネル、カンチレバー、ラボオンチップデバイスの検証に不可欠です。

実社会での生産性向上を目指して設計されています

Step計測器には、時間を節約し、エラーを減らすための機能が満載されています。

  • 自動チップ位置合わせ – 手動で調整することなく、プローブを数秒で交換できます。システムが自動的に位置合わせを行うため、一般的な誤差の原因が解消されます。
  • あらゆる作業に対応する単一センサー – 低荷重測定と広範囲測定の間でセンサーを交換する必要はありません。1つのセンサーで両方の測定が可能です。
  • 電動ステージ(オプション) – 自動化されたX-Yステージと回転ステージにより、ハンズフリーで複数箇所の測定が可能になり、大量品質管理におけるスループットが向上します。
  • Vision64 Automation – 数回のクリックで測定ルーチンを設定し、合否判定基準を適用し、レポートを生成できます。生産環境に最適です。

価格、在庫状況、および今後の手順

Step計測器は、MSK CNC Tools社より即納可能です。各システムはお客様のご要望(プローブの種類、ステージオプション、ソフトウェアモジュールなど)に合わせて構成されるため、製品ページに表示されている価格は手付金のみです。正確な価格については、MSK社までお問い合わせください。

お見積もりや製品パンフレットをご希望の場合は、下記までご連絡ください。

Step楽器に同梱されているもの:
✔ Vision64 運用・分析ソフトウェア
✔ 標準スタイラスプローブ(お客様指定)
✔ キャリブレーションアーティファクト
✔ 防振キット

半導体製造工場、研究機関、太陽光発電メーカー向けには、数量割引価格をご用意しております。


投稿日時:2026年4月3日

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