Високопрецизен профилер на површини со пенкало | Нанометарски чекорен инструмент за полупроводници

Предности на производот:

Стабилни перформанси, брз пренос, автоматска калибрација, точно мерење, брз одговор и следење во реално време.

Стабилни перформанси, дизајн на работна површина.

Револуционерниот дизајн на работната површина постигнува рамнотежа помеѓу високи перформанси, леснотија на користење и економичност.

Компактен и сигурен дизајн

Оптимизирана конфигурација на хардвер, компактна структура, подобрена точност и стабилност на тестирањето и висока ефикасност.

Супериорни материјали, издржливи и долготрајни.

Извонредна изработка, занаетчиска изработка, висока ефикасност и долг работен век.

Информации за производот

Преглед на производот: Профилометарот со сонда (чекорен анализатор) на чекорниот инструмент се одликува со револуционерен дизајн на работна површина, комбинирајќи водечка технологија и дизајн во индустријата за да се постигне рамнотежа помеѓу високи перформанси, леснотија на користење и економичност, со подобрена контрола на процесот, од истражување и развој до контрола на квалитетот.

Уредот постигнува одлична повторување при 4A (0,4nm) и зголемување на брзината на скенирање од 40%, поддржувајќи технологија за мерење на површинска топографија на наноразмер во индустрии како што се микроелектроника, полупроводници, екрани на допир, сончева енергија, LED диоди со висока осветленост, медицина и наука за материјали.

Карактеристики на опремата

Неспоредливи перформанси, репродуктивност на висината на скалите под 4A

Иновативниот дизајн, сеопфатната дополнителна опрема и оптимизираниот софтвер за работа и анализа му овозможуваат на инструментот Step да постигне подобрени перформанси и супериорна репродукција на висината на чекорот.

Дизајн со еден лак за револуционерна стабилност на скенирањето

Дизајнот со еден лак го прави инструментот Step поробусен, минимизирајќи го влијанието на амбиенталниот шум. Скенирачките сонди на инструментот Step овозможуваат истовремено скенирање со голем вертикален опсег и мала сила.

Надградена „паметна електроника“ за подобрена точност и стабилност на мерењето

Надградената „Smart Electronics“ на инструментот за чекори, која користи напреден процесор, ги намалува нивоата на бучава, што го прави помоќен систем способен за мерење на висина на чекори <10 nm.

Оптимизираната конфигурација на хардверот го намалува времето за собирање податоци за 40%

Користејќи единствена фаза за скенирање со директен погон, времето на мерење е забрзано за 40%, додека се одржуваат водечките перформанси во индустријата. 64-битната паралелна обработка Vision64 на инструментот Step ги комплетира и обработува големите 3D датотеки со податоци за пократко време.

64-битниот софтвер за синхрона обработка на податоци Vision64 ја зголемува брзината на анализа на податоци десеткратно.

Vision64 е 64-битен софтвер за паралелно процесирање и анализа на инструментот Step, кој овозможува побрзо вчитување на 3D топографски податоци и побрза примена на филтри и анализа на базата на податоци со повеќе региони.

Интуитивен кориснички интерфејс Vision64 за полесна употреба.

Софтверот Vision64 обезбедува интуитивен и поедноставен кориснички интерфејс, комбинирајќи интелигентна архитектура и функции за автоматизација што се прилагодуваат за брзо и сеопфатно собирање и анализа на податоци. Vision64 на Step Instruments значително го поедноставува и забрзува работењето и анализата на податоците.

Систем за автоматско порамнување на врвовите за лесна промена на сондата

Самопорамнувачкиот склоп на сонда на инструментот Step им овозможува на корисниците брзо и лесно да менуваат помеѓу различни сонди, елиминирајќи ги потенцијалните ризици за време на процесот на промена.

Широк спектар на модели на сонди

Чекорниот инструмент нуди широк спектар на големини и форми на сонди за да ги задоволи практично сите потреби на апликацијата. Чекорниот инструмент се одликува со побрз и поедноставен процес на промена на сонда.

Дизајн со еден сензор

Обезбедува мала сила и широк опсег на скенирање на една рамнина.

Обезбедување тестирање со висок проток

Инструментот Step овозможува брзо и лесно поставување и извршување на автоматски режими на мерење со повеќе примероци за да се потврди прецизната дебелина на тенките филмови низ целата површина на плочката со супериорна повторување. Ова ефикасно следење заштедува драгоцено време и пари со зголемување на протокот на тестирање.

Случаи на примена

Тестирање на тенок филм - Обезбедување високи приноси

Во производството на полупроводници, ригорозното следење на униформноста на односот на таложење и јорганизирање, напрегањето на тенките филмови и мерењето на дебелината на тенкиот филм од ITO на панелите на допир може да заштеди значително време и пари. Нехомогеноста или прекумерното напрегање во тенкиот филм може да доведе до ниски приноси и лоши перформанси на готовиот производ. Инструментот Step овозможува лесно и брзо поставување и извршување на автоматизирани програми за тестирање во повеќе точки за да се потврди прецизната дебелина на тенки филмови од плочки до нанометарско ниво. Силната репродуктивност на инструментот Step им обезбедува на инженерите прецизно тестирање на дебелината на тенок филм и напрегање за прецизно прилагодување на јорганизирањето и таложењето за оптимални резултати.

Инспекција на грубоста на површината - Обезбедување на перформанси

Инструментот Step е погоден за рутинска проценка на грубоста на површината на прецизни машински делови во многу индустрии, вклучувајќи автомобилска, воздухопловна и медицински помагала. На пример, грубоста на хидроксиапатитниот слој на задната страна на ортопедските импланти може да влијае на адхезијата и ефикасноста по имплантацијата. Брзата анализа на грубоста на површината со помош на инструментот Step може да утврди дали производството на кристали ги исполнува очекувањата и дали имплантите ги исполнуваат барањата на производот. Користејќи ги критериумите за поминување/неуспех на базата на податоци Vision64, одделенијата за управување со квалитет лесно можат да утврдат дали имплантите треба да се преработат или да се обезбеди нивниот квалитет.

Анализа на линиите на сончевата мрежа - Намалување на трошоците за производство

На пазарот на соларна енергија, инструментот Step е идеален за мерење на критичните димензии на спроводливите сребрени мрежести линии на монокристални и поликристални силициумски соларни панели. Висината, ширината и континуитетот на сребрените линии се тесно поврзани со спроводливоста на енергијата на сончевата ќелија. Идеално, производството треба соодветно да го користи среброто за да се постигне подобра спроводливост без трошење скапо сребро. Инструментот Step го постигнува ова преку софтверска анализа, пријавувајќи ги критичните димензии на сребрените мрежести линии за да се утврдат прецизните компоненти потребни за спроводливост. Методите за анализа на податоци и функциите за автоматизација на Vision64 придонесуваат за автоматизирање на овој процес на верификација.

Микрофлуидичка технологија - Дизајн и перформанси на детекција

Инструментот „Степ“ е профилометар со сонда способен за мерење на фотосензитивни материјали со репродуктивност на ниво на ангстрем во голем вертикален опсег (до 1 mm). Истражувачите во индустриите за MEMS и микрофлуидна технологија можат да го користат инструментот „Степ“ за квалификациско тестирање за да се осигурат дека деловите ги исполнуваат спецификациите. Функцијата за мерење со мала сила NLite+ лесно го допира фотосензитивниот материјал за да ги измери вертикалните чекори и грубоста.