高精度スタイラス式表面形状測定器｜半導体向けナノメートルステップ測定器

製品の利点：

安定した性能、高速伝送、自動校正、高精度測定、迅速な応答、リアルタイム監視。

安定した性能、デスクトップデザイン。

この革新的なデスクトップデザインは、高性能、使いやすさ、そしてコスト効率のバランスを実現しています。

コンパクトで信頼性の高いデザイン

最適化されたハードウェア構成、コンパクトな構造、向上したテスト精度と安定性、そして高い効率性。

優れた素材を使用し、耐久性と長寿命を実現しています。

精巧な仕上がり、優れた職人技、高い効率性、そして長い耐用年数。

製品情報

製品概要：Step Instrument社のプローブプロファイロメーター（ステップアナライザー）は、革新的な卓上型デザインを採用し、業界をリードする技術とデザインを組み合わせることで、高性能、使いやすさ、コスト効率のバランスを実現し、研究開発から品質管理に至るまで、プロセス制御を向上させます。

この装置は、4A（0.4nm）において優れた再現性を実現し、走査速度を40%向上させており、マイクロエレクトロニクス、半導体、タッチスクリーン、太陽エネルギー、高輝度LED、医療、材料科学などの産業におけるナノスケール表面形状測定技術を支える。

機器の特徴

比類なき性能、4A以下のステップ高さ再現性

革新的な設計、豊富な付属品、最適化された操作・解析ソフトウェアにより、ステップ測定器は性能向上と優れた段差高さ再現性を実現します。

画期的なスキャン安定性を実現するシングルアーチ設計

シングルアーチ設計により、Step機器はより堅牢になり、周囲の騒音の影響を最小限に抑えます。Step機器のスキャンプローブは、広い垂直範囲と低負荷スキャンを同時に実現します。

測定精度と安定性を向上させるための「スマートエレクトロニクス」のアップグレード

ステップ計測器のアップグレードされた「スマートエレクトロニクス」は、高度なプロセッサを採用することでノイズレベルを低減し、10nm未満のステップ高さを測定できる、より強力なシステムとなっています。

ハードウェア構成の最適化により、データ取得時間を40%短縮

独自のダイレクトドライブ式スキャンステージを採用することで、業界トップクラスの性能を維持しながら、測定時間を40%短縮しました。Step Instrumentsの64ビット並列処理Vision64は、大容量の3Dデータファイルをより短時間で処理します。

64ビット版Vision64同期データ処理ソフトウェアは、データ分析速度を10倍に向上させます。

Vision64は、Step機器の64ビット並列処理操作および解析ソフトウェアであり、3D地形データの高速読み込み、フィルタの高速適用、および複数領域データベース解析を可能にします。

直感的なVision64ユーザーインターフェースで、より簡単に使用できます。

Vision64ソフトウェアは、直感的でシンプルなユーザーインターフェースを提供し、インテリジェントなアーキテクチャとカスタマイズ可能な自動化機能を組み合わせることで、迅速かつ包括的なデータ収集と分析を実現します。Step Instruments社のVision64は、操作とデータ分析を大幅に簡素化し、高速化します。

プローブ交換が容易な自動チップ位置合わせシステム

Step Instrumentの自動位置合わせプローブアセンブリにより、ユーザーは異なるプローブ間を迅速かつ容易に交換でき、交換作業中の潜在的なリスクを排除できます。

幅広いプローブモデル

Step Instrumentは、ほぼすべての用途ニーズに対応できるよう、幅広いプローブサイズと形状を提供しています。また、プローブ交換プロセスがより迅速かつ簡単に行えるのも特長です。

シングルセンサー設計

単一平面上で、低負荷かつ広範囲なスキャンを実現します。

高スループットテストの確保

Step計測器は、自動マルチサンプル測定モードの迅速かつ容易なセットアップと実行を可能にし、ウェーハ表面全体にわたる薄膜の正確な厚さを優れた再現性で検証します。この効率的なモニタリングにより、テストスループットが向上し、貴重な時間とコストを節約できます。

応用事例

薄膜試験 - 高歩留まりの確保

半導体製造において、タッチスクリーンパネル上の成膜およびエッチング比の均一性、薄膜応力、ITO薄膜厚さの測定を厳密に監視することで、時間とコストを大幅に節約できます。薄膜の不均一性や過剰な応力は、歩留まりの低下や最終製品の性能低下につながります。Step Instrumentsは、自動多点試験プログラムを簡単かつ迅速に設定・実行し、ウェハ薄膜の正確な厚さをナノメートルレベルまで検証することを可能にします。Step Instrumentsの高い再現性により、エンジニアは正確な薄膜厚さおよび応力試験結果を得ることができ、エッチングと成膜を最適に調整できます。

表面粗さ検査 - 性能の確保

Step社製測定器は、自動車、航空宇宙、医療機器など、多くの産業分野における精密機械部品の日常的な表面粗さ評価に適しています。例えば、整形外科用インプラントの裏面に施されたハイドロキシアパタイトコーティングの表面粗さは、インプラント装着後の接着性や有効性に影響を与える可能性があります。Step社製測定器を用いた迅速な表面粗さ分析により、結晶の製造が期待どおりに行われているか、インプラントが製品要件を満たしているかを判断できます。Vision64データベースの合否判定基準を用いることで、品質管理部門はインプラントの再加工が必要か、あるいは品質保証が必要かを容易に判断できます。

太陽光発電グリッドライン分析 - 製造コストの削減

太陽光発電市場において、Step装置は単結晶シリコンおよび多結晶シリコン太陽電池パネル上の導電性銀グリッドラインの重要な寸法を測定するのに最適です。銀ラインの高さ、幅、および連続性は、太陽電池のエネルギー伝導率に密接に関係しています。理想的には、高価な銀を無駄にすることなく、より優れた導電性を実現するために、銀を適切に利用する必要があります。Step装置は、ソフトウェア解析によってこれを実現し、銀グリッドラインの重要な寸法を報告することで、導電性に必要な正確な部品を特定します。Vision64のデータ分析手法と自動化機能は、この検証プロセスの自動化に貢献します。

マイクロ流体技術 - 設計と性能の検出

Step Instrumentは、感光性材料の表面形状をオングストロームレベルの再現性で、広い垂直範囲（最大1 mm）にわたって測定できるプローブ型表面形状計です。MEMSおよびマイクロ流体技術業界の研究者は、Step Instrumentを品質試験に使用して、部品が仕様を満たしていることを確認することができます。低荷重測定機能NLite+は、感光性材料に軽く触れるだけで、垂直方向の段差と表面粗さを測定します。