Máy đo biên dạng bề mặt bằng đầu dò độ chính xác cao | Thiết bị đo bước nanomet cho chất bán dẫn
Hướng dẫn đặt hàng
Do tính chất đặc biệt của sản phẩm, giá hiển thị trên trang là giá đặt cọc, không phải giá thực tế. Vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để được báo giá chính xác.
Các đơn đặt hàng trực tiếp mà không liên hệ trước sẽ không được giao! Cảm ơn sự hợp tác của quý khách! Để biết thêm thông tin sản phẩm, vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để nhận tài liệu giới thiệu sản phẩm.
Máy đo biên dạng bề mặt bằng đầu dò độ chính xác cao – Đo chiều cao bước và độ nhám bề mặt ở mức nanomet
Máy đo độ nhám bề mặt kiểu tiếp xúc này là một thiết bị đo lường chính xác được thiết kế để đo độ phân giải cao chiều cao bậc thang, độ nhám bề mặt và địa hình 3D. Sử dụng đầu dò kim cương quét nhẹ nhàng bề mặt mẫu, hệ thống theo dõi chính xác các đỉnh và đáy siêu nhỏ để cung cấp dữ liệu đáng tin cậy, có thể lặp lại cho môi trường kiểm soát chất lượng, nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất.
Cách thức hoạt động
Nguyên lý đo dựa trên phương pháp tiếp xúc bằng đầu dò. Khi đầu dò di chuyển trên bề mặt, độ dịch chuyển theo phương thẳng đứng của nó sẽ tuân theo hình dạng bề mặt. Chuyển động này được chuyển đổi thành tín hiệu điện thông qua một cầu đo, tạo ra tín hiệu đầu ra điều biến biên độ tỷ lệ thuận với độ dịch chuyển. Sau khi khuếch đại, chỉnh lưu nhạy pha và lọc nâng cao (bao gồm lọc nhiễu và lọc gợn sóng), hệ thống sẽ xuất ra tín hiệu sạch, ổn định – không bị nhiễu bên ngoài và ảnh hưởng của gợn sóng – đảm bảo phân tích độ nhám và chiều cao bậc thang với độ chính xác cao.
Các ứng dụng chính
Đo lường tấm bán dẫn
MEMS và cấu trúc vi mô
Độ dày màng mỏng và lớp phủ
Phân tích bề mặt tế bào quang điện
Thiết bị quang học chính xác và thiết bị y tế
Ưu điểm của sản phẩm:
Hiệu năng ổn định, truyền tải nhanh, hiệu chuẩn tự động, đo lường chính xác, phản hồi nhanh và giám sát thời gian thực.
Hiệu năng ổn định, thiết kế dành cho máy tính để bàn.
Thiết kế máy tính để bàn mang tính cách mạng này đạt được sự cân bằng giữa hiệu năng cao, dễ sử dụng và tiết kiệm chi phí.
Thiết kế nhỏ gọn và đáng tin cậy
Cấu hình phần cứng được tối ưu hóa, cấu trúc nhỏ gọn, độ chính xác và ổn định khi kiểm tra được cải thiện, cùng hiệu suất cao.
Chất liệu cao cấp, bền bỉ và sử dụng lâu dài.
Sản phẩm có chất lượng gia công tinh xảo, tay nghề cao, hiệu quả vượt trội và tuổi thọ lâu dài.
Thông tin sản phẩm
Tổng quan sản phẩm: Máy đo biên dạng bước Step (Máy phân tích bước) sở hữu thiết kế để bàn mang tính cách mạng, kết hợp công nghệ và thiết kế hàng đầu trong ngành để đạt được sự cân bằng giữa hiệu suất cao, dễ sử dụng và tiết kiệm chi phí, đồng thời cải thiện khả năng kiểm soát quy trình từ nghiên cứu và phát triển đến kiểm soát chất lượng.
Thiết bị đạt được độ lặp lại tuyệt vời ở mức 4A (0,4nm) và tốc độ quét tăng 40%, hỗ trợ công nghệ đo địa hình bề mặt ở cấp độ nano trong các ngành công nghiệp như vi điện tử, chất bán dẫn, màn hình cảm ứng, năng lượng mặt trời, đèn LED độ sáng cao, y tế và khoa học vật liệu.
Đặc điểm thiết bị
Hiệu suất vượt trội, độ chính xác về chiều cao bậc thang dưới 4A
Thiết kế tiên tiến, phụ kiện toàn diện và phần mềm vận hành và phân tích được tối ưu hóa cho phép thiết bị Step đạt được hiệu suất nâng cao và độ chính xác vượt trội về chiều cao bậc thang.
Thiết kế vòm đơn mang lại sự ổn định vượt trội khi quét.
Thiết kế dạng vòm đơn giúp thiết bị Step mạnh mẽ hơn, giảm thiểu ảnh hưởng của tiếng ồn xung quanh. Đầu dò quét của thiết bị Step cho phép quét đồng thời với phạm vi chiều dọc lớn và lực thấp.
Nâng cấp "Thiết bị điện tử thông minh" giúp cải thiện độ chính xác và độ ổn định của phép đo.
Công nghệ "Điện tử thông minh" được nâng cấp của thiết bị đo bước, sử dụng bộ xử lý tiên tiến, giúp giảm mức độ nhiễu, tạo nên một hệ thống mạnh mẽ hơn, có khả năng đo chiều cao bậc thang <10nm.
Cấu hình phần cứng được tối ưu hóa giúp giảm thời gian thu thập dữ liệu đến 40%.
Sử dụng bàn quét dẫn động trực tiếp độc đáo, thời gian đo được tăng tốc 40% trong khi vẫn duy trì hiệu suất hàng đầu trong ngành. Công nghệ xử lý song song 64 bit Vision64 của Step Instruments hoàn tất và xử lý các tệp dữ liệu 3D lớn trong thời gian ngắn hơn.
Phần mềm xử lý dữ liệu đồng bộ 64-bit Vision64 giúp tăng tốc độ phân tích dữ liệu lên gấp mười lần.
Vision64 là phần mềm xử lý và phân tích song song 64 bit của Step Instruments, cho phép tải dữ liệu địa hình 3D nhanh hơn và áp dụng các bộ lọc cũng như phân tích cơ sở dữ liệu đa vùng nhanh hơn.
Giao diện người dùng Vision64 trực quan giúp sử dụng dễ dàng hơn.
Phần mềm Vision64 cung cấp giao diện người dùng trực quan và đơn giản, kết hợp kiến trúc thông minh và các chức năng tự động hóa có thể tùy chỉnh để thu thập và phân tích dữ liệu nhanh chóng và toàn diện. Vision64 của Step Instruments giúp đơn giản hóa và tăng tốc đáng kể hoạt động và phân tích dữ liệu.
Hệ thống căn chỉnh đầu dò tự động giúp thay thế đầu dò dễ dàng.
Bộ đầu dò tự căn chỉnh của thiết bị Step cho phép người dùng thay đổi giữa các đầu dò khác nhau một cách nhanh chóng và dễ dàng, loại bỏ các rủi ro tiềm ẩn trong quá trình chuyển đổi.
Nhiều loại đầu dò khác nhau
Step Instrument cung cấp nhiều loại đầu dò với kích thước và hình dạng khác nhau để đáp ứng hầu hết mọi nhu cầu ứng dụng. Step Instrument có quy trình thay thế đầu dò nhanh chóng và đơn giản hơn.
Thiết kế cảm biến đơn
Cung cấp lực tác động thấp và phạm vi quét rộng trên một mặt phẳng duy nhất.
Đảm bảo kiểm thử thông lượng cao
Thiết bị Step cho phép thiết lập và thực hiện nhanh chóng, dễ dàng các chế độ đo đa mẫu tự động để xác minh độ dày chính xác của màng mỏng trên toàn bộ bề mặt wafer với độ lặp lại vượt trội. Việc giám sát hiệu quả này giúp tiết kiệm thời gian và tiền bạc quý giá bằng cách tăng năng suất thử nghiệm.
Các trường hợp ứng dụng
Kiểm tra màng mỏng - Đảm bảo năng suất cao
Trong sản xuất chất bán dẫn, việc giám sát chặt chẽ tính đồng nhất tỷ lệ lắng đọng và khắc, ứng suất màng mỏng và đo độ dày màng mỏng ITO trên các tấm màn hình cảm ứng có thể tiết kiệm đáng kể thời gian và tiền bạc. Sự không đồng nhất hoặc ứng suất quá mức trong màng mỏng có thể dẫn đến năng suất thấp và hiệu suất sản phẩm hoàn thiện kém. Thiết bị Step cho phép thiết lập và thực hiện dễ dàng và nhanh chóng các chương trình kiểm tra đa điểm tự động để xác minh độ dày chính xác của màng mỏng trên tấm wafer xuống đến mức nanomet. Khả năng tái tạo cao của thiết bị Step cung cấp cho các kỹ sư khả năng kiểm tra độ dày và ứng suất màng mỏng chính xác để điều chỉnh quá trình khắc và lắng đọng một cách chính xác nhằm đạt được kết quả tối ưu.
Kiểm tra độ nhám bề mặt - Đảm bảo hiệu suất
Thiết bị Step thích hợp cho việc đánh giá độ nhám bề mặt thường xuyên của các chi tiết máy chính xác trong nhiều ngành công nghiệp, bao gồm ô tô, hàng không vũ trụ và thiết bị y tế. Ví dụ, độ nhám của lớp phủ hydroxyapatite ở mặt sau của cấy ghép chỉnh hình có thể ảnh hưởng đến độ bám dính và hiệu quả sau khi cấy ghép. Phân tích độ nhám bề mặt nhanh chóng bằng thiết bị Step có thể xác định xem quá trình sản xuất tinh thể có đáp ứng được kỳ vọng hay không và liệu các thiết bị cấy ghép có đáp ứng các yêu cầu sản phẩm hay không. Sử dụng các tiêu chí đạt/không đạt của cơ sở dữ liệu Vision64, các bộ phận quản lý chất lượng có thể dễ dàng xác định xem các thiết bị cấy ghép có cần được làm lại hay cần đảm bảo chất lượng hay không.
Phân tích đường dây truyền tải điện mặt trời - Giảm chi phí sản xuất
Trong thị trường năng lượng mặt trời, thiết bị Step lý tưởng để đo các kích thước quan trọng của các đường lưới bạc dẫn điện trên các tấm pin mặt trời silicon đơn tinh thể và đa tinh thể. Chiều cao, chiều rộng và độ liên tục của các đường bạc có liên quan mật thiết đến khả năng dẫn điện của pin mặt trời. Lý tưởng nhất là quá trình sản xuất nên sử dụng bạc một cách hợp lý để đạt được khả năng dẫn điện tốt hơn mà không lãng phí bạc đắt tiền. Thiết bị Step thực hiện điều này thông qua phân tích phần mềm, báo cáo các kích thước quan trọng của các đường lưới bạc để xác định chính xác các thành phần cần thiết cho khả năng dẫn điện. Các phương pháp phân tích dữ liệu và tính năng tự động hóa của Vision64 góp phần tự động hóa quy trình xác minh này.
Công nghệ vi lưu - Phát hiện thiết kế và hiệu suất
Thiết bị Step là một máy đo biên dạng đầu dò có khả năng đo các vật liệu nhạy sáng với độ chính xác ở mức angstrom trên phạm vi chiều dọc lớn (lên đến 1 mm). Các nhà nghiên cứu trong ngành công nghệ MEMS và vi lưu chất có thể sử dụng thiết bị Step để kiểm tra chất lượng nhằm đảm bảo các bộ phận đáp ứng các thông số kỹ thuật. Chức năng đo lực thấp NLite+ chạm nhẹ vào vật liệu nhạy sáng để đo các bậc thang và độ nhám theo chiều dọc.
Thông số kỹ thuật
| Công nghệ đo lường | Công nghệ lập hồ sơ đầu dò |
| Chức năng đo lường | Đo lường biên dạng bề mặt 2D |
| Đo 3D tùy chọn/ | |
| Xem mẫu | Độ phóng đại có thể lựa chọn, trường nhìn từ 1 đến 4mm. |
| Cảm biến đầu dò | Cảm biến quán tính thấp (LIS3) |
| Áp suất đầu dò | Sử dụng cảm biến LIS3: 1 đến 15mg |
| Lực thấp (Tùy chọn) | Sử dụng cảm biến lực thấp N-Lite+: 0,03 đến 15mg |
| Tùy chọn thăm dò | Phạm vi lựa chọn bán kính cong của đầu dò: 50nm đến 25μm; |
| Đầu dò tỷ lệ chiều cao trên đường kính (HAR): 10μm*2μm và 200μm*20μm; | |
| Có thể đặt làm đầu ngón tay theo yêu cầu. | |
| Mẫu giai đoạn X/Y | Dịch chuyển XY thủ công: 100mm (4 inch) |
| Dịch chuyển XY bằng động cơ: 150mm (6 inch) | |
| Mẫu bệ xoay | Điều chỉnh bằng tay, xoay 360°; |
| Có động cơ: Xoay 360°; | |
| Hệ thống máy tính | Bộ xử lý đa nhân 64-bit, hệ điều hành Windows* 7.0; Màn hình phẳng 23 inch tùy chọn. |
| Phần mềm | Phần mềm vận hành và phân tích Vision64; |
| Phần mềm đo ứng suất: Độ võng của dầm консоль; | |
| Phần mềm khâu vết thương: Phần mềm quét hình ảnh 3D | |
| Thiết bị giảm chấn rung | Có khả năng giảm chấn |
| Phạm vi chiều dài quét | 55mm (2 inch) |
| Số điểm dữ liệu trên mỗi lần quét | Lên đến 120.000 điểm dữ liệu |
| Độ dày mẫu tối đa | 50mm (2 inch) |
| Kích thước tối đa của tấm wafer | 200mm (8 inch) |
| Khả năng tái tạo chiều cao bậc thang | <4A1σ trên bước 1μm |
| Phạm vi thẳng đứng | 1mm (0,039 inch) |
| Độ phân giải dọc | Cường độ dòng điện tối đa 1A (ở phạm vi chiều dọc 6,55μm) |
| Điện áp đầu vào | 100 - 240 VAC, 50 - 60Hz |
| Phạm vi nhiệt độ | Phạm vi nhiệt độ hoạt động: 20 đến 25°C (68 đến 77°F) |
| Phạm vi độ ẩm | ≤80%, Không ngưng tụ |
| Kích thước và trọng lượng hệ thống | 455mm (chiều rộng) x 550mm (chiều sâu) x 370mm (chiều cao) |
| (Chiều rộng 179 inch x Chiều sâu 22,6 inch x Chiều cao 14,5 inch); | |
| 34 kg (75 lbs); | |
| Kích thước sản phẩm: 550mm Dài x 585mm Rộng x 445mm Cao (216in. Dài x 23in. Rộng x 175in. Cao); | |
| 217 kg (48 lbs) |
Về chúng tôi
Hồ sơ nhà máy
Tại sao nên chọn chúng tôi?
Câu hỏi thường gặp
Câu 1: Chúng tôi là ai?
A1: Được thành lập vào năm 2015, Công ty TNHH Công nghệ Cắt gọt MSK (Thiên Tân) đã liên tục phát triển và đạt chứng nhận ISO 9001 của vùng Rheinland.
Với các trung tâm mài năm trục cao cấp SACCKE của Đức, trung tâm kiểm tra dụng cụ sáu trục ZOLLER của Đức, máy PALMARY của Đài Loan và các thiết bị sản xuất tiên tiến quốc tế khác, chúng tôi cam kết sản xuất các dụng cụ CNC cao cấp, chuyên nghiệp và hiệu quả.
Câu 2: Bạn là công ty thương mại hay nhà sản xuất?
A2: Chúng tôi là nhà máy sản xuất dụng cụ cacbua.
Câu 3: Bạn có thể gửi sản phẩm đến đại lý giao nhận của chúng tôi tại Trung Quốc không?
A3: Vâng, nếu quý khách có người giao nhận hàng tại Trung Quốc, chúng tôi rất sẵn lòng gửi sản phẩm đến cho người đó.
Câu 4: Những hình thức thanh toán nào được chấp nhận?
A4: Thông thường chúng tôi chấp nhận thanh toán bằng chuyển khoản ngân hàng (T/T).
Câu 5: Bạn có nhận đơn đặt hàng OEM không?
A5: Có, chúng tôi nhận sản xuất theo đơn đặt hàng (OEM) và tùy chỉnh sản phẩm, đồng thời cũng cung cấp dịch vụ in nhãn.
Câu 6: Tại sao bạn nên chọn chúng tôi?
A61) Kiểm soát chi phí - mua sản phẩm chất lượng cao với giá cả phù hợp.
2) Phản hồi nhanh chóng - trong vòng 48 giờ, đội ngũ nhân viên chuyên nghiệp sẽ cung cấp báo giá và giải đáp mọi thắc mắc của bạn.
3) Chất lượng cao - Công ty luôn chứng minh bằng sự chân thành rằng các sản phẩm mình cung cấp đều đạt chất lượng cao 100%.
4) Dịch vụ hậu mãi và hướng dẫn kỹ thuật - Công ty cung cấp dịch vụ hậu mãi và hướng dẫn kỹ thuật theo yêu cầu và nhu cầu của khách hàng.
