Perfilômetro de Superfície de Alta Precisão por Ponta de Prova | Instrumento de Degrau Nanométrico para Semicondutores
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Perfilômetro de superfície de alta precisão com ponta de contato – Medição de altura de degrau e rugosidade superficial em nanômetros
Este perfilômetro de contato é um instrumento de metrologia de precisão projetado para medições de alta resolução de altura de degrau, rugosidade superficial e topografia 3D. Utilizando uma ponta de diamante que escaneia suavemente a superfície da amostra, o sistema rastreia com precisão picos e vales microscópicos, fornecendo dados confiáveis e repetíveis para controle de qualidade, P&D e ambientes de produção.
Como funciona
O princípio de medição baseia-se num método de contacto com uma ponta de prova. À medida que a ponta de prova se move sobre a superfície, o seu deslocamento vertical acompanha o perfil da superfície. Este movimento é convertido num sinal elétrico através de uma ponte de medição, produzindo uma saída modulada em amplitude proporcional ao deslocamento. Após amplificação, retificação sensível à fase e filtragem avançada (incluindo filtros de ruído e ondulação), o sistema emite um sinal limpo e estável — livre de interferências externas e efeitos de ondulação — garantindo uma análise de rugosidade e altura de degraus de alta precisão.
Principais aplicações
Metrologia de wafers semicondutores
MEMS e microestruturas
espessura de película fina e revestimento
Perfilagem da superfície de células solares
Óptica de precisão e dispositivos médicos
Vantagens do produto:
Desempenho estável, transmissão rápida, calibração automática, medição precisa, resposta rápida e monitoramento em tempo real.
Desempenho estável, design para desktop.
O design revolucionário para desktops alcança um equilíbrio entre alto desempenho, facilidade de uso e custo-benefício.
Design compacto e confiável
Configuração de hardware otimizada, estrutura compacta, precisão e estabilidade de teste aprimoradas e alta eficiência.
Materiais de qualidade superior, duráveis e de longa duração.
Acabamento primoroso, habilidade artesanal, alta eficiência e longa vida útil.
Informações do produto
Visão geral do produto: O perfilômetro de sonda Step Instrument (analisador de degraus) apresenta um design de bancada revolucionário, combinando tecnologia e design líderes do setor para alcançar um equilíbrio entre alto desempenho, facilidade de uso e custo-benefício, com controle de processo aprimorado desde P&D até controle de qualidade.
O dispositivo alcança excelente repetibilidade em 4A (0,4nm) e um aumento de 40% na velocidade de varredura, dando suporte à tecnologia de medição de topografia de superfície em nanoescala em setores como microeletrônica, semicondutores, telas sensíveis ao toque, energia solar, LEDs de alto brilho, medicina e ciência dos materiais.
Características do equipamento
Desempenho incomparável, reprodutibilidade da altura do degrau abaixo de 4A
Design inovador, acessórios abrangentes e software de operação e análise otimizado permitem que o instrumento Step alcance desempenho aprimorado e reprodutibilidade superior da altura do degrau.
Design de arco único para estabilidade de varredura inovadora
O design de arco único torna o instrumento Step mais robusto, minimizando o impacto do ruído ambiente. As sondas de varredura do instrumento Step permitem uma ampla faixa vertical e varredura simultânea com baixa força.
Componentes eletrônicos inteligentes aprimorados para maior precisão e estabilidade nas medições.
O instrumento Step possui um sistema eletrônico "Smart Electronics" aprimorado, que utiliza um processador avançado, reduzindo os níveis de ruído e tornando-o um sistema mais potente, capaz de medir alturas de degrau inferiores a 10 nm.
Configuração de hardware otimizada reduz o tempo de aquisição de dados em 40%.
Utilizando um exclusivo estágio de digitalização com acionamento direto, o tempo de medição é acelerado em 40%, mantendo o desempenho líder do setor. O processamento paralelo de 64 bits Vision64 da Step Instruments processa e completa grandes arquivos de dados 3D em menos tempo.
O software de processamento de dados síncrono Vision64 de 64 bits aumenta a velocidade de análise de dados em dez vezes.
O Vision64 é o software de processamento paralelo e análise de 64 bits da Step Instruments, que permite um carregamento mais rápido de dados topográficos 3D e uma aplicação mais ágil de filtros e análises de bancos de dados multirregionais.
Interface de usuário intuitiva do Vision64 para facilitar o uso.
O software Vision64 oferece uma interface de usuário intuitiva e simplificada, combinando arquitetura inteligente e funções de automação personalizáveis para coleta e análise de dados rápidas e abrangentes. O Vision64 da Step Instruments simplifica e acelera significativamente a operação e a análise de dados.
Sistema automático de alinhamento da ponta para facilitar a troca da sonda.
O conjunto de sondas com alinhamento automático do instrumento Step permite que os usuários troquem de sondas de forma rápida e fácil, eliminando riscos potenciais durante o processo de troca.
Ampla gama de modelos de sondas
A Step Instrument oferece uma ampla gama de tamanhos e formatos de sondas para atender praticamente todas as necessidades de aplicação. A Step Instrument apresenta um processo de troca de sondas mais rápido e simples.
Design de sensor único
Proporciona baixa força e uma ampla faixa de varredura em um único plano.
Garantindo testes de alto rendimento
O instrumento Step permite a configuração e execução rápidas e fáceis de modos de medição automatizados com múltiplas amostras para verificar a espessura precisa de filmes finos em toda a superfície do wafer com repetibilidade superior. Esse monitoramento eficaz economiza tempo e dinheiro valiosos, aumentando a produtividade dos testes.
Casos de aplicação
Testes de Filmes Finos - Garantindo Altos Rendimentos
Na fabricação de semicondutores, o monitoramento rigoroso da uniformidade das taxas de deposição e corrosão, da tensão na película fina e da espessura da película fina de ITO em painéis touchscreen pode economizar tempo e dinheiro significativos. A não homogeneidade ou a tensão excessiva na película fina podem levar a baixos rendimentos e desempenho insatisfatório do produto final. O instrumento STEP permite a configuração e execução fáceis e rápidas de programas automatizados de teste multiponto para verificar a espessura precisa de películas finas em wafers, até o nível nanométrico. A alta reprodutibilidade do instrumento STEP fornece aos engenheiros testes precisos de espessura e tensão da película fina para ajustar com precisão a corrosão e a deposição, obtendo resultados ideais.
Inspeção de rugosidade superficial - Garantindo o desempenho
O instrumento Step é adequado para a avaliação rotineira da rugosidade superficial de peças usinadas de precisão em diversos setores, incluindo automotivo, aeroespacial e de dispositivos médicos. Por exemplo, a rugosidade do revestimento de hidroxiapatita na parte posterior de implantes ortopédicos pode afetar a adesão e a eficácia pós-implante. A análise rápida da rugosidade superficial com o instrumento Step permite determinar se a produção de cristais atende às expectativas e se os implantes atendem aos requisitos do produto. Utilizando os critérios de aprovação/reprovação do banco de dados Vision64, os departamentos de gestão da qualidade podem determinar facilmente se os implantes precisam ser retrabalhados ou se sua qualidade deve ser assegurada.
Análise da Linha de Rede Solar - Reduzindo os Custos de Fabricação
No mercado de energia solar, o instrumento Step é ideal para medir as dimensões críticas das linhas condutoras de prata em painéis solares de silício monocristalino e policristalino. A altura, a largura e a continuidade das linhas de prata estão intimamente relacionadas à condução de energia da célula solar. Idealmente, a produção deve utilizar a prata de forma adequada para obter melhor condutividade sem desperdiçar esse material caro. O instrumento Step consegue isso por meio de análise de software, que reporta as dimensões críticas das linhas de prata para determinar os componentes precisos necessários para a condutividade. Os métodos de análise de dados e os recursos de automação do Vision64 contribuem para automatizar esse processo de verificação.
Tecnologia de Microfluídica - Detectando Design e Desempenho
O instrumento Step é um perfilômetro de sonda capaz de medir materiais fotossensíveis com reprodutibilidade em nível de angstrom em uma ampla faixa vertical (até 1 mm). Pesquisadores nas indústrias de tecnologia MEMS e microfluídica podem usar o instrumento Step para testes de qualificação, garantindo que as peças atendam às especificações. A função de medição de baixa força NLite+ toca levemente o material fotossensível para medir degraus verticais e rugosidade.
Parâmetros técnicos
| Tecnologia de Medição | Tecnologia de perfilamento de sondas |
| Função de Medição | Medição de perfil de superfície 2D |
| Medição 3D opcional/ | |
| Visualização de exemplo | Ampliação selecionável, campo de visão de 1 a 4 mm. |
| Sensor de sonda | Sensor de baixa inércia (LIS3) |
| Pressão da sonda | Utilizando o sensor LIS3: 1 a 15 mg |
| Baixa força (opcional) | Utilizando o sensor de baixa força N-Lite+: 0,03 a 15 mg |
| Opções de sonda | Faixa de seleção do raio de curvatura da sonda: 50 nm a 25 μm; |
| Proporção altura-diâmetro (HAR) das pontas: 10μm*2μm e 200μm*20μm; | |
| Dicas personalizadas estão disponíveis mediante solicitação. | |
| Etapa de amostra X/Y | Translação manual XY: 100 mm (4 polegadas) |
| Translação motorizada XY: 150 mm (6 polegadas) | |
| Amostra de estágio rotativo | Manual, rotação de 360°; |
| Motorizado: rotação de 360°; | |
| Sistema de computador | Processador de linha multi-core de 64 bits, Windows* 7.0; Tela plana opcional de 23 polegadas |
| Software | Software de operação e análise Vision64; |
| Software de medição de tensão: Deflexão de viga em balanço; | |
| Software de sutura: software de digitalização 3D | |
| Dispositivo de amortecimento de vibração | Amortecimento de choque disponível |
| Intervalo de comprimento de varredura | 55 mm (2 polegadas) |
| Pontos de dados por varredura | Até 120.000 pontos de dados |
| Espessura máxima da amostra | 50 mm (2 polegadas) |
| Tamanho máximo do wafer | 200 mm (8 polegadas) |
| Reprodutibilidade da altura do degrau | <4A1σ em um degrau de 1 μm |
| Alcance vertical | 1 mm (0,039 polegadas) |
| Resolução vertical | Máximo 1A (na faixa vertical de 6,55μm) |
| Tensão de entrada | 100 - 240 VCA, 50 - 60 Hz |
| Faixa de temperatura | Faixa de operação: 20 a 25°C (68 a 77°F) |
| Faixa de umidade | ≤80%, Não condensante |
| Tamanho e peso do sistema | 455 mm de largura x 550 mm de profundidade x 370 mm de altura |
| (179 pol. L x 22,6 pol. P x 14,5 pol. A); | |
| 34 kg (75 libras); | |
| Acessórios: 550 mm C x 585 mm L x 445 mm A (216 pol. C x 23 pol. L x 175 pol. A); | |
| 217 kg (48 libras) |
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Perguntas frequentes
P1: Quem somos nós?
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Autenticação. Com centros de retificação de cinco eixos de alta tecnologia da SACCKE alemã, centro de inspeção de ferramentas de seis eixos da ZOLLER alemã, máquina PALMARY de Taiwan e outros equipamentos de fabricação avançados internacionalmente, estamos comprometidos em produzir ferramentas CNC de alta qualidade, profissionais e eficientes.
Q2: Vocês são uma empresa comercial ou fabricante?
A2: Somos uma fábrica de ferramentas de metal duro.
P3: Vocês podem enviar os produtos para o nosso agente de carga na China?
A3: Sim, se você tiver um agente de carga na China, teremos prazer em enviar os produtos para ele/ela.
Q4: Quais são as condições de pagamento aceitáveis?
A4: Normalmente aceitamos T/T.
Q5: Vocês aceitam encomendas OEM?
A5: Sim, oferecemos serviços de OEM e personalização, além de impressão de etiquetas.
Q6: Por que você deveria nos escolher?
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