고정밀 스타일러스 표면 프로파일러 | 반도체 나노미터 스텝 측정 장비

제품 장점:

안정적인 성능, 빠른 전송 속도, 자동 보정, 정확한 측정, 신속한 응답 및 실시간 모니터링.

안정적인 성능, 데스크톱 디자인.

혁신적인 데스크톱 디자인은 고성능, 사용 편의성 및 비용 효율성의 균형을 이루어냅니다.

컴팩트하고 안정적인 디자인

최적화된 하드웨어 구성, 컴팩트한 구조, 향상된 테스트 정확도 및 안정성, 그리고 높은 효율성을 제공합니다.

우수한 소재로 제작되어 내구성이 뛰어나고 오래갑니다.

정교한 제작 기술, 뛰어난 기술력, 높은 효율성, 그리고 긴 수명.

제품 정보

제품 개요: Step Instruments 프로브 프로파일로미터(스텝 분석기)는 혁신적인 탁상형 디자인을 특징으로 하며, 업계 최고의 기술과 디자인을 결합하여 고성능, 사용 편의성 및 비용 효율성의 균형을 이루고 연구 개발부터 품질 관리까지 향상된 공정 제어를 제공합니다.

이 장치는 4A(0.4nm)에서 탁월한 반복성을 달성하고 스캔 속도를 40% 향상시켜 마이크로일렉트로닉스, 반도체, 터치스크린, 태양 에너지, 고휘도 LED, 의료 및 재료 과학과 같은 산업 분야에서 나노 스케일 표면 지형 측정 기술을 지원합니다.

장비 특징

타의 추종을 불허하는 성능, 4A 미만의 계단 높이 재현성

혁신적인 설계, 포괄적인 액세서리, 최적화된 작동 및 분석 소프트웨어를 통해 Step 계측기는 향상된 성능과 탁월한 단차 높이 재현성을 구현합니다.

단일 아치형 디자인으로 획기적인 스캔 안정성 구현

단일 아치형 설계로 Step 기기는 더욱 견고해졌으며 주변 소음의 영향을 최소화했습니다. Step 기기의 스캐닝 프로브는 넓은 수직 범위와 낮은 힘으로 스캐닝을 동시에 가능하게 합니다.

측정 정확도와 안정성 향상을 위한 업그레이드된 "스마트 전자 장치"

Step Instrument의 업그레이드된 "스마트 일렉트로닉스"는 고급 프로세서를 사용하여 노이즈 수준을 낮추고 10nm 미만의 스텝 높이를 측정할 수 있는 더욱 강력한 시스템을 제공합니다.

최적화된 하드웨어 구성으로 데이터 수집 시간을 40% 단축했습니다.

독자적인 직접 구동 스캐닝 스테이지를 활용하여 업계 최고 수준의 성능을 유지하면서 측정 시간을 40% 단축했습니다. Step Instruments의 64비트 병렬 처리 기술인 Vision64는 대용량 3D 데이터 파일을 더 짧은 시간 안에 완료하고 처리합니다.

64비트 Vision64 동기식 데이터 처리 소프트웨어는 데이터 분석 속도를 10배 향상시킵니다.

Vision64는 Step Instruments의 64비트 병렬 처리 운영 및 분석 소프트웨어로, 3D 지형 데이터의 빠른 로딩과 필터 적용 및 다중 영역 데이터베이스 분석의 빠른 처리를 가능하게 합니다.

직관적인 Vision64 사용자 인터페이스로 더욱 편리하게 사용할 수 있습니다.

Vision64 소프트웨어는 직관적이고 간소화된 사용자 인터페이스를 제공하며, 지능형 아키텍처와 맞춤형 자동화 기능을 결합하여 신속하고 포괄적인 데이터 수집 및 분석을 지원합니다. Step Instruments의 Vision64는 운영 및 데이터 분석 과정을 크게 간소화하고 가속화합니다.

프로브 교체가 쉬운 자동 팁 정렬 시스템

Step Instrument의 자체 정렬 프로브 어셈블리는 사용자가 다양한 프로브 간에 빠르고 쉽게 교체할 수 있도록 하여 교체 과정에서 발생할 수 있는 잠재적 위험을 제거합니다.

다양한 프로브 모델

Step Instrument는 거의 모든 응용 분야의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 크기와 모양의 프로브를 제공합니다. Step Instrument는 더욱 빠르고 간편한 프로브 교체 프로세스를 특징으로 합니다.

단일 센서 설계

단일 평면에서 낮은 힘으로 넓은 스캔 범위를 제공합니다.

높은 처리량 테스트 보장

Step 계측기는 자동화된 다중 샘플 측정 모드를 빠르고 쉽게 설정하고 실행하여 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 박막의 정확한 두께를 탁월한 반복성으로 검증할 수 있도록 지원합니다. 이러한 효율적인 모니터링은 테스트 처리량을 증가시켜 귀중한 시간과 비용을 절감해 줍니다.

응용 사례

박막 테스트 - 높은 수율 확보

반도체 제조에서 증착 및 에칭 비율 균일성, 박막 응력, 터치스크린 패널의 ITO 박막 두께 측정에 대한 엄격한 모니터링은 상당한 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 박막의 불균일성 또는 과도한 응력은 수율 저하 및 완제품 성능 저하로 이어질 수 있습니다. Step 계측기는 자동화된 다지점 테스트 프로그램을 쉽고 빠르게 설정하고 실행하여 웨이퍼 박막의 정확한 두께를 나노미터 수준까지 검증할 수 있도록 지원합니다. Step 계측기의 뛰어난 재현성은 엔지니어에게 정확한 박막 두께 및 응력 테스트 결과를 제공하여 최적의 결과를 위해 에칭 및 증착 공정을 정밀하게 조정할 수 있도록 합니다.

표면 거칠기 검사 - 성능 보장

Step 계측기는 자동차, 항공우주, 의료기기 등 다양한 산업 분야에서 정밀 기계 부품의 표면 거칠기를 일상적으로 측정하는 데 적합합니다. 예를 들어, 정형외과 임플란트 뒷면의 하이드록시아파타이트 코팅 거칠기는 이식 후 접착력과 효능에 영향을 미칠 수 있습니다. Step 계측기를 이용한 신속한 표면 거칠기 분석을 통해 결정 생성 과정이 기대에 부합하는지, 임플란트가 제품 요구 사항을 충족하는지 여부를 확인할 수 있습니다. Vision64 데이터베이스의 합격/불합격 기준을 활용하면 품질 관리 부서에서 임플란트의 재작업 필요 여부 또는 품질 보증 여부를 쉽게 판단할 수 있습니다.

태양광 계통 연계 분석 - 제조 비용 절감

태양광 시장에서 Step 계측기는 단결정 및 다결정 실리콘 태양광 패널의 전도성 은 격자선의 중요 치수를 측정하는 데 이상적입니다. 은 격자선의 높이, 너비 및 연속성은 태양 전지의 에너지 전도도와 밀접한 관련이 있습니다. 이상적으로는 고가의 은을 낭비하지 않고 더 나은 전도도를 얻기 위해 은을 적절하게 사용해야 합니다. Step 계측기는 소프트웨어 분석을 통해 은 격자선의 중요 치수를 보고하여 전도도에 필요한 정확한 구성 요소를 파악함으로써 이를 실현합니다. Vision64의 데이터 분석 방법과 자동화 기능은 이러한 검증 프로세스를 자동화하는 데 기여합니다.

미세유체 기술 - 탐지, 설계 및 성능

Step Instrument는 최대 1mm의 넓은 수직 범위에서 옹스트롬 수준의 재현성으로 감광성 소재를 측정할 수 있는 프로브 프로파일로미터입니다. MEMS 및 미세유체 기술 분야의 연구원들은 Step Instrument를 사용하여 부품이 사양을 충족하는지 확인하는 품질 검사를 수행할 수 있습니다. 저력 측정 기능인 NLite+는 감광성 소재에 가볍게 접촉하여 수직 단차 및 표면 거칠기를 측정합니다.