Profilometro di superficie a stilo ad alta precisione | Strumento a passi nanometrici per semiconduttori
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Profilometro a stilo ad alta precisione: misurazione dell'altezza del gradino e della rugosità superficiale in nanometri.
Questo profilometro a contatto con stilo è uno strumento di metrologia di precisione progettato per la misurazione ad alta risoluzione di altezza dei gradini, rugosità superficiale e topografia 3D. Utilizzando uno stilo diamantato che scansiona delicatamente la superficie del campione, il sistema traccia con precisione picchi e avvallamenti microscopici per fornire dati affidabili e ripetibili per il controllo qualità, la ricerca e sviluppo e gli ambienti di produzione.
Come funziona
Il principio di misurazione si basa su un metodo di contatto con stilo. Quando lo stilo si muove sulla superficie, il suo spostamento verticale ne segue il profilo. Questo movimento viene convertito in un segnale elettrico tramite un ponte di misura, producendo un'uscita modulata in ampiezza proporzionale allo spostamento. Dopo amplificazione, rettificazione sensibile alla fase e filtraggio avanzato (inclusi filtri per rumore e ondulazioni), il sistema emette un segnale pulito e stabile, privo di interferenze esterne ed effetti di ondulazione, garantendo un'analisi di rugosità e altezza dei gradini ad alta precisione.
Applicazioni chiave
metrologia dei wafer di semiconduttori
MEMS e microstrutture
Spessore del film sottile e del rivestimento
Profilatura della superficie delle celle solari
Ottica di precisione e dispositivi medici
Vantaggi del prodotto:
Prestazioni stabili, trasmissione veloce, calibrazione automatica, misurazione accurata, risposta rapida e monitoraggio in tempo reale.
Prestazioni stabili, design da scrivania.
Il design rivoluzionario del computer desktop raggiunge un equilibrio tra prestazioni elevate, facilità d'uso e convenienza.
Design compatto e affidabile
Configurazione hardware ottimizzata, struttura compatta, maggiore precisione e stabilità nei test ed elevata efficienza.
Materiali di qualità superiore, resistenti e durevoli.
Lavorazione squisita, maestria artigianale, elevata efficienza e lunga durata.
Informazioni sul prodotto
Panoramica del prodotto: Il profilometro a sonda Step Instrument (analizzatore Step) presenta un design da banco rivoluzionario, che combina tecnologia e design all'avanguardia del settore per raggiungere un equilibrio tra elevate prestazioni, facilità d'uso ed economicità, con un controllo di processo migliorato, dalla ricerca e sviluppo al controllo qualità.
Il dispositivo raggiunge un'eccellente ripetibilità a 4A (0,4 nm) e un aumento del 40% nella velocità di scansione, supportando la tecnologia di misurazione della topografia superficiale su scala nanometrica in settori quali la microelettronica, i semiconduttori, i touchscreen, l'energia solare, i LED ad alta luminosità, il settore medico e la scienza dei materiali.
Caratteristiche dell'apparecchiatura
Prestazioni ineguagliabili, riproducibilità dell'altezza del gradino inferiore a 4A
Design innovativo, accessori completi e software di gestione e analisi ottimizzato consentono allo strumento Step di raggiungere prestazioni superiori e una riproducibilità ottimale dell'altezza del gradino.
Design ad arco singolo per una stabilità di scansione rivoluzionaria
Il design ad arco singolo rende lo strumento Step più robusto, riducendo al minimo l'impatto del rumore ambientale. Le sonde di scansione dello strumento Step consentono una scansione simultanea ad ampio raggio verticale e con forza minima.
Elettronica intelligente aggiornata per una maggiore precisione e stabilità delle misurazioni.
La tecnologia "Smart Electronics" aggiornata dello strumento Step, che impiega un processore avanzato, riduce i livelli di rumore, rendendolo un sistema più potente in grado di misurare altezze di gradino inferiori a 10 nm.
La configurazione hardware ottimizzata riduce del 40% i tempi di acquisizione dei dati.
Grazie a un esclusivo stadio di scansione a trasmissione diretta, i tempi di misurazione vengono ridotti del 40%, mantenendo al contempo prestazioni leader del settore. Il sistema di elaborazione parallela a 64 bit Vision64 di Step Instruments elabora file di dati 3D di grandi dimensioni in tempi ridotti.
Il software di elaborazione dati sincrona Vision64 a 64 bit decuplica la velocità di analisi dei dati.
Vision64 è il software di Step Instruments per l'elaborazione parallela a 64 bit e l'analisi dei dati, che consente un caricamento più rapido dei dati topografici 3D e un'applicazione più veloce dei filtri e dell'analisi di database multi-regione.
Interfaccia utente intuitiva Vision64 per un utilizzo più semplice.
Il software Vision64 offre un'interfaccia utente intuitiva e semplificata, combinando un'architettura intelligente e funzioni di automazione personalizzabili per una raccolta e un'analisi dei dati rapide e complete. Vision64 di Step Instruments semplifica e velocizza notevolmente le operazioni e l'analisi dei dati.
Sistema di allineamento automatico della punta per una facile sostituzione della sonda
Il sistema di sonde autoallineanti dello strumento Step consente agli utenti di cambiare sonda in modo rapido e semplice, eliminando potenziali rischi durante il processo di cambio.
Ampia gamma di modelli di sonde
Step Instrument offre una vasta gamma di sonde di diverse dimensioni e forme per soddisfare praticamente ogni esigenza applicativa. Step Instrument si distingue per un processo di cambio sonda più rapido e semplice.
Progettazione a sensore singolo
Offre una forza ridotta e un ampio campo di scansione su un singolo piano.
Garantire test ad alta produttività
Lo strumento Step consente una configurazione e un'esecuzione rapide e semplici di modalità di misurazione automatizzate multi-campione per verificare lo spessore preciso di film sottili sull'intera superficie del wafer con una ripetibilità superiore. Questo monitoraggio efficace consente di risparmiare tempo e denaro preziosi, aumentando la produttività dei test.
Casi applicativi
Test dei film sottili: garantire rese elevate
Nella produzione di semiconduttori, il monitoraggio rigoroso dell'uniformità del rapporto di deposizione e incisione, dello stress del film sottile e della misurazione dello spessore del film sottile di ITO sui pannelli touchscreen può far risparmiare tempo e denaro in modo significativo. L'eterogeneità o uno stress eccessivo nel film sottile possono portare a basse rese e a scarse prestazioni del prodotto finito. Step Instrument consente una configurazione e un'esecuzione facili e veloci di programmi di test multipunto automatizzati per verificare lo spessore preciso dei film sottili sui wafer fino al livello nanometrico. L'elevata riproducibilità di Step Instrument fornisce agli ingegneri test accurati sullo spessore e sullo stress del film sottile per regolare con precisione l'incisione e la deposizione per risultati ottimali.
Ispezione della rugosità superficiale: garanzia di prestazioni ottimali.
Lo strumento Step è adatto per la valutazione di routine della rugosità superficiale di componenti meccanici di precisione in molti settori, tra cui quello automobilistico, aerospaziale e dei dispositivi medici. Ad esempio, la rugosità del rivestimento di idrossiapatite sul retro degli impianti ortopedici può influire sull'adesione e sull'efficacia post-impianto. L'analisi rapida della rugosità superficiale con lo strumento Step consente di determinare se la produzione di cristalli soddisfa le aspettative e se gli impianti sono conformi ai requisiti del prodotto. Utilizzando i criteri di superamento/fallimento del database Vision64, i reparti di controllo qualità possono facilmente stabilire se gli impianti necessitano di essere rilavorati o se la loro qualità deve essere garantita.
Analisi della linea di alimentazione solare - Riduzione dei costi di produzione
Nel mercato del solare, Step Instrument è ideale per misurare le dimensioni critiche delle linee conduttive della griglia d'argento sui pannelli solari in silicio monocristallino e policristallino. L'altezza, la larghezza e la continuità delle linee d'argento sono strettamente correlate alla conduzione energetica della cella solare. Idealmente, la produzione dovrebbe utilizzare l'argento in modo appropriato per ottenere una migliore conduttività senza sprecare questo costoso materiale. Step Instrument raggiunge questo obiettivo attraverso un'analisi software, segnalando le dimensioni critiche delle linee della griglia d'argento per determinare i componenti precisi necessari per la conduttività. I metodi di analisi dei dati e le funzionalità di automazione di Vision64 contribuiscono ad automatizzare questo processo di verifica.
Tecnologia microfluidica: progettazione e prestazioni di rilevamento
Step Instrument è un profilometro a sonda in grado di misurare materiali fotosensibili con una riproducibilità a livello di angstrom su un ampio intervallo verticale (fino a 1 mm). I ricercatori nei settori delle tecnologie MEMS e microfluidica possono utilizzare Step Instrument per i test di qualificazione, al fine di garantire che i componenti soddisfino le specifiche. La funzione di misurazione a bassa forza NLite+ tocca leggermente il materiale fotosensibile per misurare dislivelli verticali e rugosità.
Parametri tecnici
| Tecnologia di misurazione | Tecnologia di profilatura della sonda |
| Funzione di misurazione | Misurazione del profilo superficiale 2D |
| Misurazione 3D opzionale/ | |
| Visualizzazione di esempio | Ingrandimento selezionabile, campo visivo da 1 a 4 mm |
| Sensore a sonda | Sensore a bassa inerzia (LIS3) |
| Pressione della sonda | Utilizzo del sensore LIS3: da 1 a 15 mg |
| Bassa forza (opzionale) | Utilizzo del sensore a bassa forza N-Lite+: da 0,03 a 15 mg |
| Opzioni di sonda | Intervallo di selezione del raggio di curvatura della sonda: da 50 nm a 25 μm; |
| Punte con rapporto altezza-diametro (HAR): 10μm*2μm e 200μm*20μm; | |
| Su richiesta sono disponibili mance personalizzate. | |
| Fase di campionamento X/Y | Traslazione manuale XY: 100 mm (4 pollici) |
| Traslazione motorizzata XY: 150 mm (6 pollici) | |
| Esempio di piattaforma rotante | Rotazione manuale a 360°; |
| Motorizzato: rotazione a 360°; | |
| Sistema informatico | Processore multicore a 64 bit, Windows* 7.0; Display a schermo piatto da 23 pollici opzionale |
| Software | Software di analisi e funzionamento Vision64; |
| Software per la misurazione delle sollecitazioni: deflessione del cantilever; | |
| Software per sutura: software di imaging per scansione 3D | |
| Dispositivo di smorzamento delle vibrazioni | smorzamento degli urti disponibile |
| Intervallo di lunghezza di scansione | 55 mm (2 pollici) |
| Punti dati per scansione | Fino a 120.000 punti dati |
| Spessore massimo del campione | 50 mm (2 pollici) |
| Dimensione massima del wafer | 200 mm (8 pollici) |
| Riproducibilità dell'altezza del gradino | <4A1σ su un passo di 1μm |
| Gamma verticale | 1 mm (0,039 pollici) |
| Risoluzione verticale | Corrente massima 1A (con intervallo verticale di 6,55 μm) |
| Tensione di ingresso | 100 - 240 V CA, 50 - 60 Hz |
| Intervallo di temperatura | Intervallo di funzionamento da 20 a 25 °C (da 68 a 77 °F) |
| Intervallo di umidità | ≤80%, senza condensa |
| Dimensioni e peso del sistema | 455 mm L x 550 mm P x 370 mm H |
| (452 cm L x 57 cm P x 37 cm H); | |
| 34 kg (75 libbre); | |
| Accessorio: 550 mm L x 585 mm P x 445 mm H (216 pollici L x 23 pollici P x 175 pollici H); | |
| 217 kg (48 libbre) |
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A1: Fondata nel 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd è cresciuta costantemente e ha ottenuto la certificazione Rheinland ISO 9001
Autenticazione. Grazie ai centri di rettifica a cinque assi di alta gamma SACCKE tedeschi, al centro di controllo utensili a sei assi ZOLLER tedesco, alla macchina PALMARY di Taiwan e ad altre attrezzature di produzione avanzate a livello internazionale, ci impegniamo a produrre utensili CNC di alta gamma, professionali ed efficienti.
D2: Siete una società commerciale o un produttore?
A2: Siamo la fabbrica di utensili in carburo.
D3: Potete spedire i prodotti al nostro spedizioniere in Cina?
A3: Sì, se avete uno spedizioniere in Cina, saremo lieti di inviargli i prodotti.
D4: Quali sono le modalità di pagamento accettabili?
A4: Normalmente accettiamo T/T.
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A5: Sì, sono disponibili servizi OEM e di personalizzazione, e offriamo anche un servizio di stampa di etichette.
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A6:1) Controllo dei costi - acquisto di prodotti di alta qualità a un prezzo adeguato.
2) Risposta rapida: entro 48 ore, il nostro personale qualificato vi fornirà un preventivo e risponderà alle vostre domande.
3) Alta qualità - L'azienda dimostra sempre con sincera intenzione che i prodotti che fornisce sono di altissima qualità.
4) Assistenza post-vendita e supporto tecnico - L'azienda fornisce assistenza post-vendita e supporto tecnico in base alle esigenze e ai requisiti del cliente.
