उच्च परिशुद्धता स्टाइलस सरफेस प्रोफाइलर | सेमीकंडक्टरों के लिए नैनोमीटर स्टेप उपकरण
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उच्च परिशुद्धता स्टाइलस सरफेस प्रोफाइलर – नैनोमीटर स्टेप हाइट और सतह खुरदरापन मापन
यह कॉन्टैक्ट-टाइप स्टाइलस सरफेस प्रोफाइलर एक सटीक मेट्रोलॉजी उपकरण है जिसे स्टेप हाइट, सतह की खुरदरापन और 3डी टोपोग्राफी के उच्च-रिज़ॉल्यूशन माप के लिए डिज़ाइन किया गया है। डायमंड स्टाइलस का उपयोग करके, जो नमूने की सतह को धीरे से स्कैन करता है, यह सिस्टम सूक्ष्म चोटियों और घाटियों को सटीक रूप से ट्रैक करता है, जिससे गुणवत्ता नियंत्रण, अनुसंधान एवं विकास और उत्पादन वातावरण के लिए विश्वसनीय और दोहराने योग्य डेटा प्राप्त होता है।
यह काम किस प्रकार करता है
मापन का सिद्धांत स्टाइलस-आधारित संपर्क विधि पर आधारित है। जैसे ही स्टाइलस सतह पर चलता है, उसका ऊर्ध्वाधर विस्थापन सतह की आकृति का अनुसरण करता है। इस गति को एक मापन ब्रिज के माध्यम से विद्युत संकेत में परिवर्तित किया जाता है, जिससे विस्थापन के समानुपाती आयाम-मॉड्यूलेटेड आउटपुट प्राप्त होता है। प्रवर्धन, चरण-संवेदनशील सुधार और उन्नत फ़िल्टरिंग (शोर और तरंगीयता फ़िल्टर सहित) के बाद, सिस्टम एक स्वच्छ, स्थिर संकेत आउटपुट करता है - जो बाहरी हस्तक्षेप और तरंगीयता प्रभावों से मुक्त होता है - जिससे उच्च-सटीकता के साथ खुरदरापन और चरण ऊंचाई विश्लेषण सुनिश्चित होता है।
मुख्य अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर वेफर मेट्रोलॉजी
एमईएमएस और सूक्ष्म संरचनाएं
पतली फिल्म और कोटिंग की मोटाई
सौर सेल सतह प्रोफाइलिंग
सटीक प्रकाशिकी और चिकित्सा उपकरण
उत्पाद के लाभ:
स्थिर प्रदर्शन, तीव्र संचरण, स्वचालित अंशांकन, सटीक माप, त्वरित प्रतिक्रिया और वास्तविक समय की निगरानी।
स्थिर प्रदर्शन, डेस्कटॉप डिज़ाइन।
इस क्रांतिकारी डेस्कटॉप डिजाइन में उच्च प्रदर्शन, उपयोग में आसानी और लागत-प्रभावशीलता का संतुलन हासिल किया गया है।
कॉम्पैक्ट और विश्वसनीय डिज़ाइन
बेहतर हार्डवेयर कॉन्फ़िगरेशन, कॉम्पैक्ट संरचना, बेहतर परीक्षण सटीकता और स्थिरता, और उच्च दक्षता।
बेहतरीन सामग्री, टिकाऊ और लंबे समय तक चलने वाला।
उत्कृष्ट कारीगरी, शिल्प कौशल, उच्च दक्षता और लंबी सेवा आयु।
उत्पाद की जानकारी
उत्पाद का संक्षिप्त विवरण: स्टेप इंस्ट्रूमेंट प्रोब प्रोफ़ाइलोमीटर (स्टेप एनालाइज़र) में एक क्रांतिकारी बेंचटॉप डिज़ाइन है, जो उच्च प्रदर्शन, उपयोग में आसानी और लागत-प्रभावशीलता के बीच संतुलन हासिल करने के लिए उद्योग-अग्रणी प्रौद्योगिकी और डिज़ाइन को जोड़ता है, साथ ही अनुसंधान एवं विकास से लेकर गुणवत्ता नियंत्रण तक बेहतर प्रक्रिया नियंत्रण प्रदान करता है।
यह उपकरण 4A (0.4nm) पर उत्कृष्ट दोहराव क्षमता और स्कैनिंग गति में 40% की वृद्धि हासिल करता है, जो माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स, सेमीकंडक्टर, टचस्क्रीन, सौर ऊर्जा, उच्च-चमक वाले एलईडी, चिकित्सा और सामग्री विज्ञान जैसे उद्योगों में नैनोस्केल सतह स्थलाकृति माप प्रौद्योगिकी का समर्थन करता है।
उपकरण की विशेषताएं
अद्वितीय प्रदर्शन, 4A से नीचे स्टेप हाइट की पुनरुत्पादकता
नवीन डिजाइन, व्यापक सहायक उपकरण और अनुकूलित संचालन एवं विश्लेषण सॉफ्टवेयर की बदौलत स्टेप इंस्ट्रूमेंट बेहतर प्रदर्शन और उत्कृष्ट स्टेप हाइट रिप्रोड्यूसिबिलिटी हासिल कर पाता है।
अभूतपूर्व स्कैन स्थिरता के लिए सिंगल-आर्क डिज़ाइन
सिंगल-आर्च डिज़ाइन स्टेप इंस्ट्रूमेंट को अधिक मजबूत बनाता है, जिससे परिवेशी शोर का प्रभाव कम से कम होता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट के स्कैनिंग प्रोब एक साथ बड़ी ऊर्ध्वाधर सीमा और कम बल के साथ स्कैनिंग करने में सक्षम बनाते हैं।
बेहतर माप सटीकता और स्थिरता के लिए उन्नत "स्मार्ट इलेक्ट्रॉनिक्स"
उन्नत प्रोसेसर का उपयोग करने वाले स्टेप इंस्ट्रूमेंट के उन्नत "स्मार्ट इलेक्ट्रॉनिक्स" से शोर का स्तर कम हो जाता है, जिससे यह 10nm से कम की स्टेप ऊंचाई को मापने में सक्षम एक अधिक शक्तिशाली प्रणाली बन जाती है।
अनुकूलित हार्डवेयर कॉन्फ़िगरेशन से डेटा अधिग्रहण का समय 40% तक कम हो जाता है।
एक अद्वितीय डायरेक्ट-ड्राइव स्कैनिंग स्टेज का उपयोग करके, उद्योग-अग्रणी प्रदर्शन को बनाए रखते हुए माप समय को 40% तक कम किया जा सकता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट की 64-बिट समानांतर प्रोसेसिंग विज़न64 बड़ी 3डी डेटा फ़ाइलों को कम समय में पूरा और संसाधित करती है।
64-बिट विजन64 सिंक्रोनस डेटा प्रोसेसिंग सॉफ्टवेयर डेटा विश्लेषण की गति को दस गुना बढ़ा देता है।
Vision64, Step इंस्ट्रूमेंट का 64-बिट समानांतर प्रसंस्करण संचालन और विश्लेषण सॉफ्टवेयर है, जो 3D स्थलाकृति डेटा को तेजी से लोड करने और फिल्टर तथा बहु-क्षेत्रीय डेटाबेस विश्लेषण को तेजी से लागू करने में सक्षम बनाता है।
उपयोग में आसान बनाने के लिए सहज Vision64 यूजर इंटरफेस।
Vision64 सॉफ्टवेयर एक सहज और सरलीकृत यूजर इंटरफेस प्रदान करता है, जो त्वरित और व्यापक डेटा संग्रह और विश्लेषण के लिए बुद्धिमान आर्किटेक्चर और अनुकूलन योग्य स्वचालन कार्यों को संयोजित करता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट्स का Vision64 संचालन और डेटा विश्लेषण को काफी सरल और तेज बनाता है।
प्रोब को आसानी से बदलने के लिए स्वचालित टिप संरेखण प्रणाली
स्टेप इंस्ट्रूमेंट की सेल्फ-अलाइनिंग प्रोब असेंबली उपयोगकर्ताओं को विभिन्न प्रोबों के बीच जल्दी और आसानी से बदलने की अनुमति देती है, जिससे बदलाव की प्रक्रिया के दौरान संभावित जोखिम समाप्त हो जाते हैं।
प्रोब मॉडल की विस्तृत श्रृंखला
स्टेप इंस्ट्रूमेंट लगभग हर तरह की एप्लीकेशन की ज़रूरतों को पूरा करने के लिए विभिन्न साइज़ और आकार के प्रोब उपलब्ध कराता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट में प्रोब बदलने की प्रक्रिया तेज़ और सरल है।
एकल सेंसर डिजाइन
यह एक ही तल पर कम बल और विस्तृत स्कैन रेंज प्रदान करता है।
उच्च थ्रूपुट परीक्षण सुनिश्चित करना
स्टेप इंस्ट्रूमेंट स्वचालित मल्टी-सैंपल मापन मोड की त्वरित और आसान स्थापना और निष्पादन को सक्षम बनाता है, जिससे संपूर्ण वेफर सतह पर पतली फिल्मों की सटीक मोटाई को बेहतर पुनरावृत्ति के साथ सत्यापित किया जा सकता है। यह प्रभावी निगरानी परीक्षण की तीव्रता बढ़ाकर बहुमूल्य समय और धन की बचत करती है।
आवेदन के मामले
पतली फिल्म का परीक्षण - उच्च उत्पादन सुनिश्चित करना
सेमीकंडक्टर निर्माण में, डिपोजिशन और एचिंग अनुपात की एकरूपता, थिन फिल्म स्ट्रेस और टचस्क्रीन पैनल पर आईटीओ थिन फिल्म की मोटाई के मापन की कड़ी निगरानी से समय और धन की काफी बचत हो सकती है। थिन फिल्म में असमानता या अत्यधिक तनाव कम उत्पादन और खराब अंतिम उत्पाद प्रदर्शन का कारण बन सकता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट नैनोमीटर स्तर तक वेफर थिन फिल्मों की सटीक मोटाई को सत्यापित करने के लिए स्वचालित मल्टी-पॉइंट परीक्षण कार्यक्रमों की आसान और त्वरित स्थापना और निष्पादन की सुविधा प्रदान करता है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट की उच्च पुनरुत्पादकता इंजीनियरों को सटीक थिन फिल्म मोटाई और स्ट्रेस परीक्षण प्रदान करती है, जिससे वे इष्टतम परिणामों के लिए एचिंग और डिपोजिशन को सटीक रूप से समायोजित कर सकते हैं।
सतह की खुरदरापन की जांच - प्रदर्शन सुनिश्चित करना
स्टेप इंस्ट्रूमेंट ऑटोमोटिव, एयरोस्पेस और मेडिकल डिवाइस सहित कई उद्योगों में सटीक मशीनी पुर्जों की सतह की खुरदरापन का नियमित आकलन करने के लिए उपयुक्त है। उदाहरण के लिए, ऑर्थोपेडिक इम्प्लांट्स के पीछे की हाइड्रोक्सीएपेटाइट कोटिंग की खुरदरापन इम्प्लांट के बाद के आसंजन और प्रभावशीलता को प्रभावित कर सकती है। स्टेप इंस्ट्रूमेंट का उपयोग करके सतह की खुरदरापन का त्वरित विश्लेषण यह निर्धारित कर सकता है कि क्रिस्टल उत्पादन अपेक्षाओं के अनुरूप है या नहीं और इम्प्लांट्स उत्पाद आवश्यकताओं को पूरा करते हैं या नहीं। विज़न64 डेटाबेस के पास/फेल मानदंडों का उपयोग करके, गुणवत्ता प्रबंधन विभाग आसानी से यह निर्धारित कर सकते हैं कि इम्प्लांट्स को फिर से बनाने या उनकी गुणवत्ता सुनिश्चित करने की आवश्यकता है या नहीं।
सौर ग्रिड लाइन विश्लेषण - विनिर्माण लागत में कमी
सौर ऊर्जा बाजार में, स्टेप इंस्ट्रूमेंट मोनोक्रिस्टलाइन और पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सौर पैनलों पर चालक चांदी की ग्रिड लाइनों के महत्वपूर्ण आयामों को मापने के लिए आदर्श है। चांदी की लाइनों की ऊंचाई, चौड़ाई और निरंतरता सौर सेल की ऊर्जा संवहन क्षमता से घनिष्ठ रूप से संबंधित हैं। आदर्श रूप से, उत्पादन में चांदी का उचित उपयोग किया जाना चाहिए ताकि महंगी चांदी को बर्बाद किए बिना बेहतर चालकता प्राप्त की जा सके। स्टेप इंस्ट्रूमेंट सॉफ्टवेयर विश्लेषण के माध्यम से इसे हासिल करता है, चालकता के लिए आवश्यक सटीक घटकों को निर्धारित करने के लिए चांदी की ग्रिड लाइनों के महत्वपूर्ण आयामों की रिपोर्ट करता है। विजन64 की डेटा विश्लेषण विधियां और स्वचालन सुविधाएँ इस सत्यापन प्रक्रिया को स्वचालित बनाने में योगदान करती हैं।
माइक्रोफ्लुइडिक्स प्रौद्योगिकी - डिजाइन और प्रदर्शन का पता लगाना
स्टेप इंस्ट्रूमेंट एक प्रोब प्रोफ़ाइलोमीटर है जो 1 मिमी तक की बड़ी ऊर्ध्वाधर सीमा में एंगस्ट्रॉम स्तर की पुनरुत्पादकता के साथ प्रकाश संवेदनशील सामग्रियों को मापने में सक्षम है। एमईएमएस और माइक्रोफ्लुइडिक्स प्रौद्योगिकी उद्योगों के शोधकर्ता यह सुनिश्चित करने के लिए स्टेप इंस्ट्रूमेंट का उपयोग योग्यता परीक्षण के लिए कर सकते हैं कि पुर्जे विनिर्देशों के अनुरूप हैं। कम बल मापन फ़ंक्शन NLite+ प्रकाश संवेदनशील सामग्री को हल्के से स्पर्श करके ऊर्ध्वाधर चरणों और खुरदरेपन को मापता है।
तकनीकी मापदंड
| मापन प्रौद्योगिकी | जांच प्रोफाइलिंग प्रौद्योगिकी |
| मापन फ़ंक्शन | 2डी सतह प्रोफ़ाइल माप |
| वैकल्पिक 3डी माप/ | |
| नमूना दृश्य | चयन योग्य आवर्धन, 1 से 4 मिमी एफओवी |
| जांच सेंसर | कम जड़त्व सेंसर (LIS3) |
| जांच दबाव | LIS3 सेंसर का उपयोग करते हुए: 1 से 15 मिलीग्राम |
| कम बल (वैकल्पिक) | एन-लाइट+ लो फोर्स सेंसर का उपयोग: 0.03 से 15 मिलीग्राम |
| जांच विकल्प | जांच वक्रता त्रिज्या चयन योग्य सीमा: 50 एनएम से 25 μm; |
| ऊंचाई-से-व्यास अनुपात (HAR) के सुझाव: 10μm*2μm और 200μm*20μm; | |
| अनुरोध करने पर कस्टम टिप्स उपलब्ध कराए जाते हैं। | |
| नमूना X/Y चरण | मैनुअल XY ट्रांसलेशन: 100 मिमी (4 इंच) |
| मोटरयुक्त XY ट्रांसलेशन: 150 मिमी (6 इंच) | |
| नमूना रोटरी स्टेज | मैनुअल, 360° रोटेशन; |
| मोटरयुक्त: 360 डिग्री घूर्णन; | |
| कंप्यूटर प्रणाली | 64-बिट मल्टी-कोर लाइन प्रोसेसर, विंडोज* 7.0; वैकल्पिक 23-इंच फ्लैट पैनल डिस्प्ले |
| सॉफ़्टवेयर | विजन64 संचालन और विश्लेषण सॉफ्टवेयर; |
| तनाव मापन सॉफ्टवेयर: कैंटिलीवर विक्षेपण; | |
| टांके लगाने का सॉफ्टवेयर: 3डी स्कैनिंग इमेजिंग सॉफ्टवेयर | |
| कंपन कम करने वाला उपकरण | शॉक डैम्पिंग उपलब्ध है |
| स्कैन लंबाई सीमा | 55 मिमी (2 इंच) |
| प्रति स्कैन डेटा बिंदु | अधिकतम 120,000 डेटा पॉइंट |
| नमूने की अधिकतम मोटाई | 50 मिमी (2 इंच) |
| अधिकतम वेफर आकार | 200 मिमी (8 इंच) |
| चरण ऊंचाई की पुनरुत्पादकता | 1μm चरण पर <4A1σ |
| ऊर्ध्वाधर सीमा | 1 मिमी (0.039 इंच) |
| ऊर्ध्वाधर संकल्प | अधिकतम 1A (6.55μm ऊर्ध्वाधर सीमा पर) |
| इनपुट वोल्टेज | 100 - 240 VAC, 50 - 60Hz |
| तापमान की रेंज | परिचालन तापमान सीमा 20 से 25°C (68 से 77°F) |
| आर्द्रता सीमा | ≤80%, गैर-संघनन |
| सिस्टम का आकार और वजन | 455 मिमी चौड़ाई x 550 मिमी गहराई x 370 मिमी ऊंचाई |
| (179 इंच चौड़ाई x 22.6 इंच गहराई x 14.5 इंच ऊंचाई); | |
| 34 किलोग्राम (75 पाउंड); | |
| संलग्नक: 550 मिमी लंबाई x 585 मिमी चौड़ाई x 445 मिमी ऊंचाई (216 इंच लंबाई x 23 इंच चौड़ाई x 175 इंच ऊंचाई); | |
| 217 किलोग्राम (48 पाउंड) |
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4) बिक्री के बाद सेवा और तकनीकी मार्गदर्शन - कंपनी ग्राहकों की आवश्यकताओं और जरूरतों के अनुसार बिक्री के बाद सेवा और तकनीकी मार्गदर्शन प्रदान करती है।
