Profileur de surface à stylet haute précision | Instrument de mesure nanométrique pour semi-conducteurs
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Profileur de surface à stylet de haute précision – Mesure de la hauteur de marche et de la rugosité de surface au nanomètre près
Ce profilomètre de surface à stylet de contact est un instrument de métrologie de précision conçu pour la mesure haute résolution de la hauteur des marches, de la rugosité de surface et de la topographie 3D. Grâce à un stylet en diamant qui balaie délicatement la surface de l'échantillon, le système suit avec précision les micro-dénivellations afin de fournir des données fiables et reproductibles pour le contrôle qualité, la R&D et la production.
Comment ça marche
Le principe de mesure repose sur une méthode de contact par stylet. Lorsque le stylet se déplace sur la surface, son déplacement vertical épouse le profil de celle-ci. Ce mouvement est converti en un signal électrique par un pont de mesure, produisant un signal de sortie modulé en amplitude, proportionnel au déplacement. Après amplification, redressement sensible à la phase et filtrage avancé (incluant des filtres de bruit et d'ondulation), le système fournit un signal propre et stable, exempt d'interférences externes et d'ondulations, garantissant ainsi une analyse de haute précision de la rugosité et de la hauteur des marches.
Applications clés
Métrologie des plaquettes de semi-conducteurs
MEMS et microstructures
épaisseur des couches minces et des revêtements
Profilage de surface des cellules solaires
Optiques de précision et dispositifs médicaux
Avantages du produit :
Performances stables, transmission rapide, étalonnage automatique, mesure précise, réponse rapide et surveillance en temps réel.
Performances stables, format bureau.
Sa conception révolutionnaire pour ordinateur de bureau offre un équilibre parfait entre hautes performances, facilité d'utilisation et rentabilité.
Conception compacte et fiable
Configuration matérielle optimisée, structure compacte, précision et stabilité des tests améliorées, et haute efficacité.
Matériaux de qualité supérieure, durables et résistants.
Fabrication exquise, savoir-faire exceptionnel, haute efficacité et longue durée de vie.
Informations sur le produit
Présentation du produit : Le profilomètre à sonde Step (analyseur Step) présente une conception de table révolutionnaire, combinant une technologie et une conception de pointe pour atteindre un équilibre entre hautes performances, facilité d’utilisation et rentabilité, avec un contrôle des processus amélioré, de la R&D au contrôle qualité.
L'appareil atteint une excellente répétabilité à 4A (0,4 nm) et une augmentation de 40 % de la vitesse de balayage, prenant en charge la technologie de mesure de la topographie de surface à l'échelle nanométrique dans des secteurs tels que la microélectronique, les semi-conducteurs, les écrans tactiles, l'énergie solaire, les LED haute luminosité, le médical et la science des matériaux.
Caractéristiques de l'équipement
Performances inégalées, reproductibilité de la hauteur de marche inférieure à 4A
Grâce à sa conception innovante, à ses accessoires complets et à son logiciel d'exploitation et d'analyse optimisé, l'instrument Step offre des performances accrues et une reproductibilité supérieure de la hauteur des marches.
Conception à arche unique pour une stabilité de numérisation révolutionnaire
La conception à arche unique confère à l'instrument Step une plus grande robustesse et minimise l'impact du bruit ambiant. Les sondes de balayage de l'instrument Step permettent une large plage verticale et un balayage à faible force simultanément.
« Électronique intelligente » améliorée pour une précision et une stabilité de mesure accrues
L'instrument Step, grâce à sa « Smart Electronics » améliorée utilisant un processeur avancé, réduit les niveaux de bruit, ce qui en fait un système plus puissant capable de mesurer des hauteurs de marche inférieures à 10 nm.
Une configuration matérielle optimisée réduit le temps d'acquisition de données de 40 %.
Grâce à une platine de balayage à entraînement direct unique, le temps de mesure est réduit de 40 % tout en conservant des performances de pointe. Le processeur parallèle 64 bits Vision64 de Step Instruments permet de traiter rapidement les fichiers de données 3D volumineux.
Le logiciel de traitement de données synchrone Vision64 64 bits multiplie par dix la vitesse d'analyse des données.
Vision64 est le logiciel d'exploitation et d'analyse de traitement parallèle 64 bits de l'instrument Step, permettant un chargement plus rapide des données topographiques 3D et une application plus rapide des filtres et de l'analyse de bases de données multirégionales.
Interface utilisateur Vision64 intuitive pour une utilisation plus facile.
Le logiciel Vision64 offre une interface utilisateur intuitive et simplifiée, combinant une architecture intelligente et des fonctions d'automatisation personnalisables pour une collecte et une analyse de données rapides et complètes. Vision64 de Step Instruments simplifie et accélère considérablement les opérations et l'analyse des données.
Système d'alignement automatique des pointes pour faciliter le changement de sonde
Le système de sonde auto-alignante de l'instrument Step permet aux utilisateurs de passer rapidement et facilement d'une sonde à l'autre, éliminant ainsi les risques potentiels lors du processus de changement.
Large gamme de modèles de sondes
Step Instrument propose une vaste gamme de sondes de tailles et de formes variées pour répondre à pratiquement tous les besoins d'application. Step Instrument se distingue par un processus de changement de sonde plus rapide et plus simple.
Conception à capteur unique
Fournit une faible force et une large plage de balayage sur un seul plan.
Garantir des tests à haut débit
L'instrument Step permet une configuration et une exécution rapides et faciles des modes de mesure automatisés multi-échantillons afin de vérifier l'épaisseur précise des couches minces sur toute la surface de la plaquette avec une répétabilité supérieure. Ce contrôle efficace permet de réaliser des économies de temps et d'argent considérables en augmentant le débit des tests.
Cas d'application
Tests de couches minces - Garantir des rendements élevés
Dans la fabrication de semi-conducteurs, un contrôle rigoureux de l'uniformité des rapports de dépôt et de gravure, des contraintes des couches minces et de l'épaisseur des couches minces d'ITO sur les écrans tactiles permet de réaliser d'importantes économies de temps et d'argent. Une inhomogénéité ou des contraintes excessives dans la couche mince peuvent entraîner de faibles rendements et des performances médiocres du produit fini. L'instrument Step permet une configuration et une exécution simples et rapides de programmes de tests multipoints automatisés afin de vérifier l'épaisseur précise des couches minces sur les plaquettes, jusqu'à l'échelle nanométrique. La grande reproductibilité de l'instrument Step offre aux ingénieurs des mesures précises d'épaisseur et de contraintes des couches minces, leur permettant d'ajuster avec précision la gravure et le dépôt pour des résultats optimaux.
Inspection de la rugosité de surface - Garantir la performance
L'instrument Step est adapté à l'évaluation de routine de la rugosité de surface des pièces de précision dans de nombreux secteurs, notamment l'automobile, l'aérospatiale et les dispositifs médicaux. Par exemple, la rugosité du revêtement d'hydroxyapatite sur la face postérieure des implants orthopédiques peut affecter l'adhérence et l'efficacité post-implantatoires. L'analyse rapide de la rugosité de surface à l'aide de l'instrument Step permet de déterminer si la production de cristaux est conforme aux attentes et si les implants répondent aux exigences du produit. Grâce aux critères de réussite/échec de la base de données Vision64, les services de gestion de la qualité peuvent facilement déterminer si les implants doivent être retravaillés ou si leur qualité doit être vérifiée.
Analyse des lignes de réseau solaire - Réduction des coûts de fabrication
Sur le marché solaire, l'instrument Step est idéal pour mesurer les dimensions critiques des lignes de grille en argent conductrices sur les panneaux solaires en silicium monocristallin et polycristallin. La hauteur, la largeur et la continuité de ces lignes sont étroitement liées à la conduction énergétique de la cellule solaire. Idéalement, la production devrait utiliser l'argent de manière optimale afin d'obtenir une conductivité maximale sans gaspiller ce matériau coûteux. L'instrument Step y parvient grâce à une analyse logicielle qui fournit les dimensions critiques des lignes de grille en argent et détermine ainsi les composants précis nécessaires à la conductivité. Les méthodes d'analyse de données et les fonctionnalités d'automatisation de Vision64 contribuent à automatiser ce processus de vérification.
Technologie microfluidique - Conception et performances de détection
L'instrument Step est un profilomètre à sonde capable de mesurer les matériaux photosensibles avec une reproductibilité de l'ordre de l'angström sur une large plage verticale (jusqu'à 1 mm). Les chercheurs des secteurs des MEMS et de la microfluidique peuvent utiliser l'instrument Step pour les tests de qualification afin de garantir la conformité des pièces aux spécifications. La fonction de mesure à faible force NLite+ utilise un léger contact avec le matériau photosensible pour mesurer les variations verticales et la rugosité.
Paramètres techniques
| Technologie de mesure | Technologie de profilage par sonde |
| Fonction de mesure | mesure du profil de surface 2D |
| Mesure 3D optionnelle/ | |
| Vue d'exemple | Grossissement réglable, champ de vision de 1 à 4 mm |
| Sonde de détection | Capteur à faible inertie (LIS3) |
| Pression de la sonde | Utilisation du capteur LIS3 : 1 à 15 mg |
| Force faible (optionnel) | Utilisation du capteur de faible force N-Lite+ : 0,03 à 15 mg |
| Options de sonde | Plage de rayon de courbure de la sonde sélectionnable : de 50 nm à 25 µm ; |
| Pointes de rapport hauteur/diamètre (HAR) : 10 μm*2 μm et 200 μm*20 μm ; | |
| Des embouts personnalisés sont disponibles sur demande. | |
| Échantillon X/Y | Translation manuelle XY : 100 mm (4 pouces) |
| Translation XY motorisée : 150 mm (6 pouces) | |
| Étage rotatif d'échantillon | Rotation manuelle à 360° ; |
| Motorisé : rotation à 360° ; | |
| Système informatique | Processeur multicœur 64 bits, Windows* 7.0 ; écran plat 23 pouces en option |
| Logiciel | Logiciel d'exploitation et d'analyse Vision64 ; |
| Logiciel de mesure des contraintes : Déflexion en porte-à-faux ; | |
| Logiciel de suture : logiciel d’imagerie par numérisation 3D | |
| Dispositif d'amortissement des vibrations | Amortissement des chocs disponible |
| Plage de longueur de balayage | 55 mm (2 pouces) |
| Points de données par analyse | Jusqu'à 120 000 points de données |
| Épaisseur maximale de l'échantillon | 50 mm (2 pouces) |
| Taille maximale de la plaquette | 200 mm (8 pouces) |
| reproductibilité de la hauteur des marches | <4A1σ sur un pas de 1μm |
| Plage verticale | 1 mm (0,039 pouce) |
| Résolution verticale | Maximum 1A (à une portée verticale de 6,55 μm) |
| Tension d'entrée | 100-240 V CA, 50-60 Hz |
| Plage de température | Plage de fonctionnement : 20 à 25 °C (68 à 77 °F) |
| Plage d'humidité | ≤80 %, sans condensation |
| Taille et poids du système | 455 mm L x 550 mm P x 370 mm H |
| (179 po L x 22,6 po P x 14,5 po H); | |
| 34 kg (75 lbs); | |
| Dimensions de la fixation : 550 mm L x 585 mm l x 445 mm H (216 po L x 23 po l x 175 po H) ; | |
| 217 kg (48 lbs) |
À propos de nous
Profil de l'usine
Pourquoi nous choisir ?
FAQ
Q1 : Qui sommes-nous ?
A1 : Fondée en 2015, MSK (Tianjin) Cutting Technology CO.Ltd a connu une croissance continue et a obtenu la certification Rheinland ISO 9001.
Authentification. Grâce aux centres de rectification cinq axes haut de gamme SACCKE (Allemagne), au centre d'inspection d'outils six axes ZOLLER (Allemagne), à la machine PALMARY (Taïwan) et à d'autres équipements de fabrication de pointe internationaux, nous nous engageons à produire des outils CNC haut de gamme, professionnels et efficaces.
Q2 : Êtes-vous une société commerciale ou un fabricant ?
A2 : Nous sommes une usine d'outils en carbure.
Q3 : Pouvez-vous envoyer des produits à notre transitaire en Chine ?
A3 : Oui, si vous avez un transitaire en Chine, nous serons ravis de lui envoyer les produits.
Q4 : Quelles sont les modalités de paiement acceptables ?
A4 : Normalement, nous acceptons les virements bancaires.
Q5 : Acceptez-vous les commandes OEM ?
A5 : Oui, les services OEM et de personnalisation sont disponibles, et nous proposons également un service d’impression d’étiquettes.
Q6 : Pourquoi devriez-vous nous choisir ?
A61) Maîtrise des coûts - achat de produits de haute qualité à un prix approprié.
2) Réponse rapide - sous 48 heures, un personnel qualifié vous fournira un devis et répondra à vos questions.
3) Haute qualité - L'entreprise prouve toujours avec une intention sincère que les produits qu'elle fournit sont de haute qualité à 100%.
4) Service après-vente et assistance technique - La société fournit un service après-vente et une assistance technique en fonction des exigences et des besoins du client.
