پروفیلسنج سطح قلم با دقت بالا | ابزار گام نانومتری برای نیمهرساناها
دستورالعمل سفارش
با توجه به ماهیت خاص محصول، قیمت نشان داده شده در صفحه، قیمت پیشپرداخت است و قیمت واقعی نیست. لطفاً برای دریافت قیمت با خدمات مشتریان تماس بگیرید.
سفارشهایی که مستقیماً و بدون تماس قبلی ثبت شوند، قابل ارسال نیستند! از همکاری شما متشکریم! برای اطلاعات بیشتر در مورد محصول، لطفاً با خدمات مشتریان تماس بگیرید تا بروشورهای محصول را دریافت کنید.
پروفیلسنج سطح با دقت بالا - اندازهگیری ارتفاع گام و زبری سطح در مقیاس نانومتر
این دستگاه اندازهگیری سطح با قلم تماسی، یک ابزار اندازهگیری دقیق است که برای اندازهگیری با وضوح بالا از ارتفاع پله، زبری سطح و توپوگرافی سهبعدی طراحی شده است. این سیستم با استفاده از یک قلم الماسی که به آرامی سطح نمونه را اسکن میکند، قلهها و درههای میکروسکوپی را به طور دقیق ردیابی میکند تا دادههای قابل اعتماد و تکرارپذیری را برای کنترل کیفیت، تحقیق و توسعه و محیطهای تولید ارائه دهد.
چگونه کار میکند؟
اصل اندازهگیری بر اساس روش تماسی مبتنی بر قلم است. با حرکت قلم روی سطح، جابجایی عمودی آن از پروفیل سطح پیروی میکند. این حرکت از طریق یک پل اندازهگیری به یک سیگنال الکتریکی تبدیل میشود و یک خروجی مدوله شده با دامنه متناسب با جابجایی تولید میکند. پس از تقویت، اصلاح حساس به فاز و فیلتر پیشرفته (از جمله فیلترهای نویز و موج)، سیستم یک سیگنال تمیز و پایدار - عاری از تداخل خارجی و اثرات موج - تولید میکند که تجزیه و تحلیل زبری و ارتفاع پله را با دقت بالا تضمین میکند.
کاربردهای کلیدی
مترولوژی ویفر نیمههادی
MEMS و ریزساختارها
ضخامت لایه نازک و پوشش
پروفایلینگ سطح سلول خورشیدی
اپتیک دقیق و دستگاههای پزشکی
مزایای محصول:
عملکرد پایدار، انتقال سریع، کالیبراسیون خودکار، اندازهگیری دقیق، پاسخ سریع و نظارت بر زمان واقعی.
عملکرد پایدار، طراحی رومیزی.
طراحی انقلابی دسکتاپ، تعادلی بین عملکرد بالا، سهولت استفاده و مقرون به صرفه بودن را برقرار میکند.
طراحی جمع و جور و قابل اعتماد
پیکربندی سختافزاری بهینهشده، ساختار جمعوجور، دقت و پایداری آزمایش بهبودیافته و راندمان بالا.
مواد اولیه مرغوب، بادوام و ماندگار.
کیفیت ساخت عالی، دقت بالا، راندمان بالا و عمر طولانی.
اطلاعات محصول
بررسی اجمالی محصول: دستگاه پروفیلسنج پروبی (آنالایزر پلهای) ساخت شرکت Step Instrument، دارای طراحی رومیزی انقلابی است که فناوری و طراحی پیشرو در صنعت را با هم ترکیب میکند تا به تعادلی از عملکرد بالا، سهولت استفاده و مقرونبهصرفه بودن، با کنترل فرآیند بهبود یافته از تحقیق و توسعه تا کنترل کیفیت، دست یابد.
این دستگاه با تکرارپذیری عالی در 4A (0.4nm) و افزایش 40 درصدی سرعت اسکن، از فناوری اندازهگیری توپوگرافی سطح در مقیاس نانو در صنایعی مانند میکروالکترونیک، نیمههادیها، صفحات لمسی، انرژی خورشیدی، LEDهای با روشنایی بالا، پزشکی و علوم مواد پشتیبانی میکند.
ویژگیهای تجهیزات
عملکرد بینظیر، تکرارپذیری ارتفاع پله زیر ۴ آمپر
طراحی نوآورانه، لوازم جانبی جامع و نرمافزار عملیاتی و تحلیلی بهینه، دستگاه Step را قادر میسازد تا به عملکرد بهبود یافته و تکرارپذیری برتر در ارتفاع پله دست یابد.
طراحی تک قوسی برای پایداری اسکن پیشرفته
طراحی تک قوسی، دستگاه Step را مقاومتر میکند و تأثیر نویز محیط را به حداقل میرساند. پروبهای اسکن دستگاه Step امکان اسکن همزمان با برد عمودی بزرگ و نیروی کم را فراهم میکنند.
«الکترونیک هوشمند» ارتقا یافته برای بهبود دقت اندازهگیری و پایداری
«الکترونیک هوشمند» ارتقا یافتهی دستگاه Step Instrument با استفاده از یک پردازندهی پیشرفته، سطح نویز را کاهش میدهد و آن را به سیستمی قدرتمندتر تبدیل میکند که قادر به اندازهگیری ارتفاع پله کمتر از 10 نانومتر است.
پیکربندی سختافزار بهینهشده، زمان جمعآوری دادهها را تا ۴۰٪ کاهش میدهد
با استفاده از یک مرحله اسکن منحصر به فرد با درایو مستقیم، زمان اندازهگیری ۴۰٪ تسریع میشود و در عین حال عملکرد پیشرو در صنعت را حفظ میکند. پردازش موازی ۶۴ بیتی Vision64 دستگاه Step، فایلهای داده سهبعدی بزرگ را در زمان کمتری تکمیل و پردازش میکند.
نرمافزار پردازش همزمان دادههای Vision64 با معماری ۶۴ بیتی، سرعت تحلیل دادهها را ده برابر افزایش میدهد.
Vision64 نرمافزار پردازش موازی و تحلیل ۶۴ بیتی Step Instrument است که امکان بارگذاری سریعتر دادههای توپوگرافی سهبعدی و اعمال سریعتر فیلترها و تحلیل پایگاه داده چند منطقهای را فراهم میکند.
رابط کاربری بصری Vision64 برای استفاده آسانتر.
نرمافزار Vision64 یک رابط کاربری بصری و ساده ارائه میدهد که معماری هوشمند و عملکردهای اتوماسیون قابل تنظیم را برای جمعآوری و تجزیه و تحلیل سریع و جامع دادهها ترکیب میکند. Vision64 شرکت Step Instruments به طور قابل توجهی عملیات و تجزیه و تحلیل دادهها را ساده و تسریع میکند.
سیستم تنظیم خودکار نوک برای تعویض آسان پروب
مجموعه پراب خودتنظیم Step Instrument به کاربران این امکان را میدهد که به سرعت و به راحتی پرابهای مختلف را تعویض کنند و خطرات احتمالی را در طول فرآیند تعویض از بین ببرند.
طیف گستردهای از مدلهای پروب
دستگاه Step Instrument طیف گستردهای از اندازهها و شکلهای پراب را برای برآورده کردن تقریباً هر نیاز کاربردی ارائه میدهد. دستگاه Step Instrument فرآیند تعویض پراب سریعتر و سادهتری را ارائه میدهد.
طراحی تک حسگر
نیروی کم و محدوده اسکن وسیعی را در یک صفحه فراهم میکند.
تضمین تست با توان عملیاتی بالا
ابزار Step امکان راهاندازی و اجرای سریع و آسان حالتهای اندازهگیری خودکار چند نمونهای را برای تأیید ضخامت دقیق لایههای نازک در کل سطح ویفر با تکرارپذیری عالی فراهم میکند. این نظارت مؤثر با افزایش توان عملیاتی آزمایش، در زمان و هزینه صرفهجویی میکند.
موارد کاربرد
آزمایش لایه نازک - تضمین بازده بالا
در تولید نیمههادیها، نظارت دقیق بر یکنواختی نسبت رسوبگذاری و اچینگ، تنش لایه نازک و اندازهگیری ضخامت لایه نازک ITO روی پنلهای لمسی میتواند در زمان و هزینه صرفهجویی قابل توجهی کند. ناهمگنی یا تنش بیش از حد در لایه نازک میتواند منجر به بازده پایین و عملکرد ضعیف محصول نهایی شود. دستگاه Step امکان راهاندازی و اجرای آسان و سریع برنامههای تست چند نقطهای خودکار را برای تأیید ضخامت دقیق لایههای نازک ویفر تا سطح نانومتر فراهم میکند. تکرارپذیری قوی دستگاه Step، ضخامت لایه نازک و تست تنش دقیقی را در اختیار مهندسان قرار میدهد تا اچینگ و رسوبگذاری را به طور دقیق تنظیم کنند و به نتایج بهینه برسند.
بازرسی زبری سطح - اطمینان از عملکرد
ابزار Step برای ارزیابی معمول زبری سطح قطعات ماشینآلات دقیق در بسیاری از صنایع، از جمله خودرو، هوافضا و تجهیزات پزشکی مناسب است. به عنوان مثال، زبری پوشش هیدروکسی آپاتیت در پشت ایمپلنتهای ارتوپدی میتواند بر چسبندگی و اثربخشی پس از ایمپلنت تأثیر بگذارد. تجزیه و تحلیل سریع زبری سطح با استفاده از ابزار Step میتواند تعیین کند که آیا تولید کریستال انتظارات را برآورده میکند و آیا ایمپلنتها الزامات محصول را برآورده میکنند یا خیر. با استفاده از معیارهای قبولی/ردی پایگاه داده Vision64، بخشهای مدیریت کیفیت میتوانند به راحتی تعیین کنند که آیا ایمپلنتها نیاز به بازسازی دارند یا کیفیت آنها تضمین شده است.
تحلیل خط شبکه خورشیدی - کاهش هزینههای تولید
در بازار انرژی خورشیدی، دستگاه Step برای اندازهگیری ابعاد بحرانی خطوط شبکه نقره رسانا در پنلهای خورشیدی سیلیکونی تکبلوری و چندبلوری ایدهآل است. ارتفاع، عرض و پیوستگی خطوط نقره ارتباط نزدیکی با رسانایی انرژی سلول خورشیدی دارد. در حالت ایدهآل، تولید باید از نقره به طور مناسب استفاده کند تا رسانایی بهتری بدون هدر دادن نقره گرانقیمت حاصل شود. دستگاه Step این کار را از طریق تجزیه و تحلیل نرمافزاری انجام میدهد و ابعاد بحرانی خطوط شبکه نقره را برای تعیین اجزای دقیق مورد نیاز برای رسانایی گزارش میدهد. روشهای تجزیه و تحلیل دادهها و ویژگیهای اتوماسیون Vision64 به خودکارسازی این فرآیند تأیید کمک میکند.
فناوری میکروفلوئیدیک - تشخیص طراحی و عملکرد
دستگاه Step Instrument یک پروفیلمتر پروبی است که قادر به اندازهگیری مواد حساس به نور با تکرارپذیری در سطح آنگستروم در یک محدوده عمودی بزرگ (تا 1 میلیمتر) میباشد. محققان در صنایع فناوری MEMS و میکروفلوئیدیک میتوانند از دستگاه Step Instrument برای آزمایش صلاحیت و اطمینان از مطابقت قطعات با مشخصات مورد نظر استفاده کنند. عملکرد اندازهگیری با نیروی کم NLite+ به آرامی ماده حساس به نور را لمس میکند تا گامهای عمودی و زبری را اندازهگیری کند.
پارامترهای فنی
| فناوری اندازهگیری | فناوری پروفایلینگ پروب |
| تابع اندازهگیری | اندازهگیری پروفیل سطح دوبعدی |
| اندازهگیری سهبعدی اختیاری/ | |
| نمای نمونه | بزرگنمایی قابل انتخاب، میدان دید ۱ تا ۴ میلیمتر |
| سنسور پروب | سنسور اینرسی کم (LIS3) |
| فشار پروب | با استفاده از سنسور LIS3: 1 تا 15 میلیگرم |
| نیروی کم (اختیاری) | با استفاده از حسگر نیروی کم N-Lite+: 0.03 تا 15 میلیگرم |
| گزینههای پروب | محدوده قابل انتخاب شعاع انحنای پروب: 50 نانومتر تا 25 میکرومتر؛ |
| نسبت ارتفاع به قطر (HAR) نوکها: 10μm*2μm و 200μm*20μm؛ | |
| نکات سفارشی بنا به درخواست در دسترس هستند. | |
| نمونه X/Y Stage | ترجمه دستی XY: 100 میلیمتر (4 اینچ) |
| انتقال موتوری XY: ۱۵۰ میلیمتر (۶ اینچ) | |
| نمونه مرحله چرخشی | دستی، چرخش ۳۶۰ درجه؛ |
| موتوری: چرخش ۳۶۰ درجه؛ | |
| سیستم کامپیوتری | پردازنده خطی چند هستهای ۶۴ بیتی، ویندوز* ۷.۰؛ نمایشگر تخت ۲۳ اینچی (اختیاری) |
| نرمافزار | نرمافزار عملیات و تحلیل Vision64؛ |
| نرمافزار اندازهگیری تنش: انحراف کانتیلور؛ | |
| نرمافزار بخیه زدن: نرمافزار تصویربرداری اسکن سهبعدی | |
| دستگاه میرایی ارتعاش | میرایی ضربه موجود است |
| محدوده طول اسکن | ۵۵ میلیمتر (۲ اینچ) |
| نقاط داده در هر اسکن | تا ۱۲۰،۰۰۰ نقطه داده |
| حداکثر ضخامت نمونه | ۵۰ میلیمتر (۲ اینچ) |
| حداکثر اندازه ویفر | ۲۰۰ میلیمتر (۸ اینچ) |
| تکرارپذیری ارتفاع پله | <4A1σ روی پله ۱ میکرومتر |
| محدوده عمودی | ۱ میلیمتر (۰.۰۳۹ اینچ) |
| وضوح عمودی | حداکثر ۱ آمپر (در محدوده عمودی ۶.۵۵ میکرومتر) |
| ولتاژ ورودی | ۱۰۰ تا ۲۴۰ ولت متناوب، ۵۰ تا ۶۰ هرتز |
| محدوده دما | محدوده عملیاتی ۲۰ تا ۲۵ درجه سانتیگراد (۶۸ تا ۷۷ درجه فارنهایت) |
| محدوده رطوبت | ≤80٪، غیر متراکم |
| اندازه و وزن سیستم | ۴۵۵ میلیمتر عرض × ۵۵۰ میلیمتر عمق × ۳۷۰ میلیمتر ارتفاع |
| (عرض ۱۷۹ اینچ × عمق ۲۲.۶ اینچ × ارتفاع ۱۴.۵ اینچ)؛ | |
| ۳۴ کیلوگرم (۷۵ پوند)؛ | |
| ضمیمه: ۵۵۰ میلیمتر طول × ۵۸۵ میلیمتر عرض × ۴۴۵ میلیمتر ارتفاع (۲۱۶ اینچ طول × ۲۳ اینچ عرض × ۱۷۵ اینچ ارتفاع)؛ | |
| ۲۱۷ کیلوگرم (۴۸ پوند) |
درباره ما
مشخصات کارخانه
چرا ما را انتخاب کنید
سوالات متداول
سوال ۱: ما که هستیم؟
A1: شرکت فناوری برش MSK (تیانجین) که در سال ۲۰۱۵ تأسیس شد، به طور مداوم رشد کرده و موفق به اخذ گواهینامه ISO 9001 از شرکت Rheinland شده است.
با مراکز سنگ زنی پنج محوره پیشرفته SACCKE آلمان، مرکز بازرسی ابزار شش محوره ZOLLER آلمان، دستگاه PALMARY تایوان و سایر تجهیزات تولیدی پیشرفته بین المللی، ما متعهد به تولید ابزار CNC پیشرفته، حرفه ای و کارآمد هستیم.
Q2: آیا شما شرکت تجاری هستید یا تولیدکننده؟
A2: ما کارخانه ابزارهای کاربیدی هستیم.
Q3: آیا میتوانید محصولات خود را به شرکت حمل و نقل ما در چین ارسال کنید؟
A3: بله، اگر در چین نماینده حمل و نقل دارید، خوشحال خواهیم شد که محصولات را برای او ارسال کنیم.
Q4: چه شرایط پرداختی قابل قبول است؟
A4: معمولاً T/T را میپذیریم.
Q5: آیا سفارشات OEM را قبول می کنید؟
A5: بله، OEM و سفارشی سازی در دسترس هستند، و ما همچنین خدمات چاپ برچسب ارائه می دهیم.
Q6: چرا باید ما را انتخاب کنید؟
A6۱) کنترل هزینه - خرید محصولات با کیفیت بالا و قیمت مناسب.
۲) پاسخ سریع - ظرف ۴۸ ساعت، پرسنل حرفهای به شما قیمت میدهند و به نگرانیهای شما رسیدگی میکنند.
۳) کیفیت بالا - این شرکت همیشه با نیت خالصانه ثابت میکند که محصولاتی که ارائه میدهد ۱۰۰٪ باکیفیت هستند.
۴) خدمات پس از فروش و راهنمایی فنی - این شرکت خدمات پس از فروش و راهنمایی فنی را با توجه به نیازها و الزامات مشتری ارائه میدهد.





