جهاز قياس ملامح السطح عالي الدقة | أداة قياس الخطوات النانومترية لأشباه الموصلات

مزايا المنتج:

أداء مستقر، نقل سريع، معايرة تلقائية، قياس دقيق، استجابة سريعة، ومراقبة في الوقت الحقيقي.

أداء مستقر، تصميم مناسب لأجهزة سطح المكتب.

يحقق تصميم سطح المكتب الثوري توازناً بين الأداء العالي وسهولة الاستخدام والفعالية من حيث التكلفة.

تصميم صغير الحجم وموثوق

تكوين أجهزة مُحسَّن، وهيكل مضغوط، ودقة واستقرار اختبار مُحسَّنين، وكفاءة عالية.

مواد فائقة الجودة، متينة وتدوم طويلاً.

صنعة متقنة، وحرفية عالية، وكفاءة فائقة، وعمر خدمة طويل.

معلومات المنتج

نظرة عامة على المنتج: يتميز جهاز قياس التضاريس المسباري Step (محلل الخطوات) بتصميم ثوري يوضع على سطح العمل، ويجمع بين التكنولوجيا والتصميم الرائدين في الصناعة لتحقيق توازن بين الأداء العالي وسهولة الاستخدام والفعالية من حيث التكلفة، مع تحسين التحكم في العملية من البحث والتطوير إلى مراقبة الجودة.

يحقق الجهاز قابلية تكرار ممتازة عند 4 أمبير (0.4 نانومتر) وزيادة بنسبة 40٪ في سرعة المسح، مما يدعم تقنية قياس تضاريس السطح النانوية في صناعات مثل الإلكترونيات الدقيقة، وأشباه الموصلات، وشاشات اللمس، والطاقة الشمسية، ومصابيح LED عالية السطوع، والطب، وعلوم المواد.

ميزات المعدات

أداء لا مثيل له، ودقة في تكرار ارتفاع الدرجة أقل من 4A

يُمكّن التصميم المبتكر والملحقات الشاملة وبرامج التشغيل والتحليل المُحسّنة جهاز Step من تحقيق أداء مُحسّن وإمكانية تكرار ارتفاع الخطوة بشكل فائق.

تصميم أحادي القوس لتحقيق ثبات فائق في المسح الضوئي

يُضفي تصميم القوس الواحد على جهاز Step مزيدًا من المتانة، مما يقلل من تأثير الضوضاء المحيطة. كما تُمكّن مجسات المسح الضوئي في جهاز Step من إجراء مسح ضوئي متزامن بنطاق رأسي واسع وبقوة منخفضة.

إلكترونيات ذكية مطورة لتحسين دقة القياس والاستقرار

تعمل "الإلكترونيات الذكية" المطورة لجهاز قياس الخطوات، والتي تستخدم معالجًا متطورًا، على تقليل مستويات الضوضاء، مما يجعله نظامًا أكثر قوة قادرًا على قياس ارتفاعات الخطوات <10 نانومتر.

يؤدي تحسين تكوين الأجهزة إلى تقليل وقت جمع البيانات بنسبة 40%

بفضل استخدام مرحلة مسح ضوئي فريدة ذات محرك مباشر، يتم تسريع وقت القياس بنسبة 40% مع الحفاظ على أداء رائد في هذا المجال. كما أن نظام المعالجة المتوازية Vision64 ذو 64 بت في جهاز Step يُنجز ويعالج ملفات البيانات ثلاثية الأبعاد الكبيرة في وقت أقل.

برنامج معالجة البيانات المتزامنة Vision64 ذو 64 بت يزيد من سرعة تحليل البيانات عشرة أضعاف.

Vision64 هو برنامج معالجة وتحليل متوازي 64 بت من Step instrument، مما يتيح تحميل بيانات التضاريس ثلاثية الأبعاد بشكل أسرع وتطبيق المرشحات وتحليل قواعد البيانات متعددة المناطق بشكل أسرع.

واجهة مستخدم Vision64 سهلة الاستخدام.

يوفر برنامج Vision64 واجهة مستخدم سهلة الاستخدام وبسيطة، تجمع بين بنية ذكية ووظائف أتمتة قابلة للتخصيص لجمع البيانات وتحليلها بسرعة وشمولية. يُبسّط برنامج Vision64 من Step Instruments عمليات التشغيل وتحليل البيانات ويُسرّعها بشكل ملحوظ.

نظام محاذاة تلقائي لرأس المجس لتسهيل تغيير المجسات

تتيح مجموعة المجسات ذاتية المحاذاة في جهاز Step للمستخدمين التبديل بسرعة وسهولة بين المجسات المختلفة، مما يزيل المخاطر المحتملة أثناء عملية التبديل.

مجموعة واسعة من نماذج المجسات

توفر أجهزة Step مجموعة واسعة من أحجام وأشكال المجسات لتلبية جميع احتياجات التطبيقات تقريبًا. كما تتميز هذه الأجهزة بعملية تغيير مجسات أسرع وأسهل.

تصميم مستشعر واحد

يوفر قوة منخفضة ونطاق مسح واسع على مستوى واحد.

ضمان إجراء اختبارات عالية الإنتاجية

يُتيح جهاز القياس المتدرج إعدادًا وتنفيذًا سريعًا وسهلًا لأنماط القياس الآلية متعددة العينات للتحقق من سُمك الأغشية الرقيقة بدقة عالية على كامل سطح الرقاقة، مع قابلية تكرار فائقة. يوفر هذا الرصد الفعال وقتًا ثمينًا وأموالًا طائلة من خلال زيادة إنتاجية الاختبار.

حالات التطبيق

اختبار الأغشية الرقيقة - ضمان إنتاجية عالية

في صناعة أشباه الموصلات، يُمكن للمراقبة الدقيقة لتجانس نسب الترسيب والحفر، وإجهاد الأغشية الرقيقة، وقياس سُمك طبقة أكسيد الإنديوم والقصدير (ITO) الرقيقة على شاشات اللمس، أن تُوفر وقتًا ومالًا كبيرين. إذ يُمكن أن يؤدي عدم التجانس أو الإجهاد الزائد في الأغشية الرقيقة إلى انخفاض الإنتاجية وضعف أداء المنتج النهائي. يُتيح جهاز Step إمكانية إعداد وتنفيذ برامج اختبار آلية متعددة النقاط بسهولة وسرعة للتحقق من السُمك الدقيق للأغشية الرقيقة على الرقاقات وصولًا إلى مستوى النانومتر. كما تُوفر قابلية التكرار العالية لجهاز Step للمهندسين اختبارات دقيقة لسُمك الأغشية الرقيقة وإجهادها، ما يُتيح لهم ضبط عمليات الحفر والترسيب بدقة للحصول على أفضل النتائج.

فحص خشونة السطح - ضمان الأداء

يُعد جهاز Step مناسبًا لتقييم خشونة سطح أجزاء الآلات الدقيقة بشكل روتيني في العديد من الصناعات، بما في ذلك صناعات السيارات والفضاء والأجهزة الطبية. على سبيل المثال، يمكن أن تؤثر خشونة طبقة هيدروكسيباتيت على ظهر غرسات العظام على التصاق الغرسات وفعاليتها بعد الزرع. يُمكن لتحليل خشونة السطح السريع باستخدام جهاز Step تحديد ما إذا كان إنتاج البلورات يفي بالتوقعات وما إذا كانت الغرسات تفي بمتطلبات المنتج. وباستخدام معايير النجاح/الفشل في قاعدة بيانات Vision64، يُمكن لأقسام إدارة الجودة تحديد ما إذا كانت الغرسات بحاجة إلى إعادة تصنيع أو ضمان جودتها بسهولة.

تحليل خطوط شبكة الطاقة الشمسية - خفض تكاليف التصنيع

في سوق الطاقة الشمسية، يُعد جهاز Step مثاليًا لقياس الأبعاد الحرجة لخطوط شبكة الفضة الموصلة على الألواح الشمسية المصنوعة من السيليكون أحادي البلورة ومتعدد البلورات. يرتبط ارتفاع وعرض واستمرارية خطوط الفضة ارتباطًا وثيقًا بتوصيل الطاقة في الخلية الشمسية. من الناحية المثالية، ينبغي أن تستخدم عملية الإنتاج الفضة بشكل مناسب لتحقيق توصيلية أفضل دون إهدار الفضة باهظة الثمن. يحقق جهاز Step ذلك من خلال تحليل البرمجيات، حيث يُبلغ عن الأبعاد الحرجة لخطوط شبكة الفضة لتحديد المكونات الدقيقة المطلوبة للتوصيلية. تساهم أساليب تحليل البيانات وميزات التشغيل الآلي في Vision64 في أتمتة عملية التحقق هذه.

تقنية الموائع الدقيقة - الكشف عن التصميم والأداء

جهاز Step هو مقياس تضاريس سطحي مزود بمسبار، قادر على قياس المواد الحساسة للضوء بدقة تصل إلى مستوى الأنجستروم ضمن نطاق رأسي واسع (يصل إلى 1 مم). يمكن للباحثين في صناعات تقنيات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) وتقنيات الموائع الدقيقة استخدام جهاز Step لإجراء اختبارات التحقق من الجودة لضمان مطابقة الأجزاء للمواصفات. تعتمد وظيفة القياس منخفضة القوة NLite+ على ملامسة خفيفة للمادة الحساسة للضوء لقياس الدرجات الرأسية والخشونة.